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公開番号2024055833
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-18
出願番号2023173618
出願日2023-10-05
発明の名称表示装置の作製方法、表示装置
出願人株式会社半導体エネルギー研究所
代理人
主分類H10K 71/20 20230101AFI20240411BHJP()
要約【課題】利便性、有用性または信頼性に優れた表示装置の作製方法を提供する。
【解決手段】(1)第1の電極と、第2の電極と、第1の電極および第2の電極の間に挟まれる第1の間隙とを、絶縁膜上に形成し、(2)第1の電極および第2の電極上に第1の膜を形成し、(3)第1の電極と重なる第1の層を形成し、(4)第2の電極上から第1の膜を取り除き、第1の電極と重なる第1のユニットを形成し、(5)第2の電極の表面を取り除き、新たな表面を露出させ、(6)第1の層および第2の電極上に第2の膜を形成し、(7)第2の電極と重なる第2の層を形成し、(8)第2の電極と重なる第2のユニットおよび第1の間隙と重なる第2の間隙を形成し、(9)第1の電極上から第1の層を取り除き、第2の電極上から第2の層を取り除き、(10)第1のユニット上および第2のユニット上に、第3の層を形成し、(11)第3の層上に、導電膜を形成する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
第１のステップにおいて、第１の電極と、第２の電極と、前記第１の電極および前記第２の電極の間に挟まれる第１の間隙とを、絶縁膜上に形成し、
第２のステップにおいて、前記第１の電極および前記第２の電極上に第１の膜を形成し、
第３のステップにおいて、前記第１の電極と重なる第１の層を形成し、
第４のステップにおいて、前記第１の層およびエッチング法を用いて、前記第２の電極上から前記第１の膜を取り除き、前記第１の電極と重なる第１のユニットを形成し、
第５のステップにおいて、エッチング法を用いて、前記第２の電極の表面を取り除き、新たな表面を露出させ、
第６のステップにおいて、前記第１の層および前記第２の電極上に第２の膜を形成し、
第７のステップにおいて、前記第２の電極と重なる第２の層を形成し、
第８のステップにおいて、前記第２の層およびエッチング法を用いて、前記第１の層上および前記第１の間隙上から前記第２の膜を取り除き、前記第２の電極と重なる第２のユニットおよび前記第１の間隙と重なる第２の間隙を形成し、
第９のステップにおいて、エッチング法を用いて、前記第１の電極上から前記第１の層を取り除き、前記第２の電極上から前記第２の層を取り除き、
第１０のステップにおいて、前記第１のユニット上および前記第２のユニット上に、第３の層を形成し、
第１１のステップにおいて、前記第３の層上に、導電膜を形成する、表示装置の作製方法。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記第８のステップおよび前記第９のステップの間に、第１２のステップおよび第１３のステップを有し、
前記第１２のステップにおいて、原子層堆積法を用いて、前記第１の間隙において前記絶縁膜と接し、前記第１のユニットおよび前記第２のユニットを覆う、第４の層を形成し、
前記第１３のステップにおいて、前記第１の間隙および前記第２の間隙を充填し、前記第１の電極と重なる第１の開口部および前記第２の電極と重なる第２の開口部を備える第５の層を形成し、
前記第９のステップにおいて、前記第５の層およびエッチング法を用いて、前記第１の開口部と重なる前記第１の層および前記第４の層を取り除きかつ、前記第２の開口部と重なる前記第２の層および前記第４の層を取り除く、請求項１に記載の表示装置の作製方法。
【請求項３】
第１の発光デバイスと、
第２の発光デバイスと、
絶縁膜と、
第４の層と、を有し、
前記第１の発光デバイスは、第１の電極、第１のユニットおよび第３の電極を備え、
前記第１の電極は、前記第１のユニットおよび前記絶縁膜の間に挟まれ、
前記第１の電極は、第１の厚さを備え、
前記第１のユニットは、前記第１の電極および前記第３の電極の間に挟まれ、
前記第１のユニットは、第１の発光性の材料を含み、
前記第２の発光デバイスは、第２の電極、第２のユニットおよび第４の電極を備え、
前記第２の電極は、前記第２のユニットおよび前記絶縁膜の間に挟まれ、
前記第２の電極は、前記第１の電極との間に第１の間隙を備え、
前記第２の電極は、第２の厚さを備え、
前記第２の厚さは、前記第１の厚さより薄く、
前記第２のユニットは、前記第２の電極および前記第４の電極の間に挟まれ、
前記第２のユニットは、第２の発光性の材料を含み、
前記第２のユニットは、前記第１のユニットとの間に第２の間隙を備え、
前記第２の間隙は、前記第１の間隙と重なり、
前記第４の層は、前記第２の間隙において、前記第１のユニットおよび前記第２のユニットと接し、
前記第４の層は、前記第１の間隙において、前記絶縁膜と接する、表示装置。
【請求項４】
前記第１の発光デバイスは、第１の層および第６の層を備え、
前記第１の層は、前記第３の電極および前記第１のユニットの間に挟まれ、
前記第１の層は、第３の開口部を備え、
前記第３の開口部は、前記第１の電極と重なり、
前記第６の層は、前記第１の層および前記第１のユニットの間に挟まれ、
前記第６の層は、第４の開口部を備え、
前記第４の開口部は、前記第３の開口部と重なる、請求項３に記載の表示装置。
【請求項５】
前記第１の層は、酸素とアルミニウムを含み、
前記第６の層は、前記第１のユニットより高い水溶性を備える、請求項４に記載の表示装置。
【請求項６】
導電膜と、
第５の層と、を有し、
前記導電膜は、前記第３の電極を含み、
前記第５の層は、前記導電膜および前記第４の層の間に挟まれ、
前記第５の層は、第１の開口部を備え、
前記第４の層は、第５の開口部を備え、
前記第５の開口部は、前記第３の開口部、前記第４の開口部および前記第１の開口部と重なる、請求項４に記載の表示装置。
【請求項７】
前記第１の開口部は、前記第５の開口部、前記第３の開口部および前記第４の開口部と概略一致する端部を備える、請求項６に記載の表示装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の一態様は、表示装置の作製方法、表示装置または半導体装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【０００２】
なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の一態様の技術分野は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物（コンポジション・オブ・マター）に関するものである。そのため、より具体的に本明細書で開示する本発明の一態様の技術分野としては、半導体装置、表示装置、発光装置、蓄電装置、記憶装置、それらの駆動方法、または、それらの製造方法、を一例として挙げることができる。
【背景技術】
【０００３】
近年、ディスプレイパネルの高精細化が求められている。高精細なディスプレイパネルが要求される機器としては、例えばスマートフォン、タブレット端末、ノート型コンピュータなどがある。また、テレビジョン装置、モニタ装置などの据え置き型のディスプレイ装置においても、高解像度化に伴う高精細化が求められている。さらに、最も高精細度が要求される機器としては、例えば、仮想現実（ＶＲ：ＶｉｒｔｕａｌＲｅａｌｉｔｙ）、または拡張現実（ＡＲ：ＡｕｇｍｅｎｔｅｄＲｅａｌｉｔｙ）向けの機器がある。
【０００４】
また、ディスプレイパネルに適用可能な表示装置としては、代表的には液晶表示装置、有機ＥＬ（ＥｌｅｃｔｒｏＬｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）素子、発光ダイオード（ＬＥＤ：ＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｎｇＤｉｏｄｅ）等の発光素子を備える発光装置、及び電気泳動方式などにより表示を行う電子ペーパなどが挙げられる。
【０００５】
例えば、有機ＥＬ素子の基本的な構成は、一対の電極間に発光性の有機化合物を含む層を挟持したものである。この素子に電圧を印加することにより、発光性の有機化合物から発光を得ることができる。このような有機ＥＬ素子が適用された表示装置は、液晶表示装置等で必要であったバックライトが不要なため、薄型、軽量、高コントラストで且つ低消費電力な表示装置を実現できる。例えば、有機ＥＬ素子を用いた表示装置の一例が、特許文献１に記載されている。
【０００６】
特許文献２には、有機ＥＬデバイスを用いた、ＶＲ向けの表示装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２００２－３２４６７３号公報
国際公開第２０１８／０８７６２５号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の一態様は、利便性、有用性または信頼性に優れた新規な表示装置の作製方法を提供することを課題の一とする。または、利便性、有用性または信頼性に優れた新規な表示装置を提供することを課題の一とする。または、新規な表示装置の作製方法、新規な表示装置、または、新規な半導体装置を提供することを課題の一とする。
【０００９】
なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
（１）本発明の一態様は、以下のステップを有する表示装置の作製方法である。
（【００１１】以降は省略されています）

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