特許ウォッチ

公開番号2025176337
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-04
出願番号2024082411
出願日2024-05-21
発明の名称振動素子、振動子、及び発振器
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H03H 9/19 20060101AFI20251127BHJP(基本電子回路)
要約【課題】高周波で低CI値の振動素子、振動子、及び発振器を提供する。
【解決手段】振動素子1は、振動部11、及び振動部11よりも厚さが大きい支持部12を有する水晶基板10と、振動部11に配置された励振電極31,32と、を備え、発振周波数が300MHz以上であり、励振電極31,32の面積が、振動部11の面積の35%以下である。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
振動部、及び前記振動部よりも厚さが大きい支持部を有する水晶基板と、
前記振動部に配置された励振電極と、を備え、
発振周波数が３００ＭＨｚ以上であり、
前記励振電極の面積が、前記振動部の面積の３５％以下である、
振動素子。
続きを表示（約 880 文字）【請求項２】
前記励振電極の面積が、前記振動部の面積の２５％以下である、
請求項１に記載の振動素子。
【請求項３】
発振周波数が４９１ＭＨｚ以上、７００ＭＨｚ以下であり、
前記励振電極の面積が、前記振動部の面積の１７％以下である、
請求項１に記載の振動素子。
【請求項４】
前記支持部は、前記振動部の一方の面側において前記振動部よりも突出している、
請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の振動素子。
【請求項５】
前記支持部は、前記一方の面の裏側である他方の面側においても、前記振動部よりも突出している、
請求項４に記載の振動素子。
【請求項６】
前記支持部は、
前記振動部の一方の外縁に沿って配置された第１支持部と、
前記振動部に対して前記一方の外縁の反対側の外縁に配置された第２支持部と、を含み、
前記第１支持部は、前記振動部の一方の面側において前記振動部よりも突出しており、
前記第２支持部は、前記一方の面の裏側の他方の面側において、前記振動部よりも突出している、
請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の振動素子。
【請求項７】
前記振動部の外縁の一部は、前記水晶基板の外縁の一部を構成している、
請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の振動素子。
【請求項８】
前記支持部は、平面視で前記振動部を囲んでいる、
請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の振動素子。
【請求項９】
請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の振動素子と、
前記振動素子を収容する容器と、
を備える、
振動子。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項３の何れか一項に記載の振動素子と、
前記振動素子を励振させる発振回路と、
前記振動素子及び前記発振回路を収容する容器と、
を備える、
発振器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動素子、振動子、及び発振器に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ＣＩ値が小さく、近傍のスプリアスを抑圧した高周波の小型圧電振動素子を基本波で実現することを課題とし、矩形の振動部と、振動部と一体的に形成されたＬ字状の厚肉部と、厚肉部に配置されたスリットとを備えた振動素子が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－７６９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
通信機器は、更なる高速・大容量通信が求められており、振動素子への要求も高周波化が進んでいる。一方で、高周波化に伴ってＣＩ値が増大し易く、発振器の要求性能を満たせない事案が増えつつある。そこで、特許文献１の圧電振動素子のように振動部や厚肉部の配置を工夫するだけでは、更なる高周波化や低ＣＩ値を実現するには限界があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
振動素子は、振動部、及び前記振動部よりも厚さが大きい支持部を有する水晶基板と、前記振動部に配置された励振電極と、を備え、発振周波数が３００ＭＨｚ以上であり、前記励振電極の面積が、前記振動部の面積の３５％以下である。
【０００６】
振動子は、上記に記載の振動素子と、前記振動素子を収容する容器と、を備える。
【０００７】
発振器は、上記に記載の振動素子と、前記振動素子を励振させる発振回路と、前記振動素子及び前記発振回路を収容する容器と、を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態に係る振動素子の構成を示す斜視図。
ＡＴカット水晶基板と水晶の結晶軸との関係を説明する図。
図１に示す振動素子の平面図。
図３中のＡ１－Ａ１線における断面図。
面積比とＣＩ値比との関係を示す図。
第２実施形態に係る振動素子の構成を示す平面図。
図６中のＡ２－Ａ２線における断面図。
第３実施形態に係る振動素子の構成を示す平面図。
図８中のＡ３－Ａ３線における断面図。
第４実施形態に係る振動素子の構成を示す平面図。
図１０中のＡ４－Ａ４線における断面図。
第５実施形態に係る振動素子の構成を示す平面図。
図１２中のＡ５－Ａ５線における断面図。
第６実施形態に係る振動素子の構成を示す平面図。
図１４中のＡ６－Ａ６線における断面図。
第７実施形態に係る振動子の構成を示す平面図。
図１６中のＡ７－Ａ７線における断面図。
第８実施形態に係る発振器の構成を示す平面図。
図１８中のＡ８－Ａ８線における断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
１．第１実施形態
第１実施形態に係る振動素子１について、図１～図４を参照して説明する。
【００１０】
尚、説明の便宜上、図２、図５、図１８、及び図１９を除く以降の各図には、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ’軸、及びＺ’軸を図示している。また、振動素子１の長手方向をＸ軸に沿った方向として「Ｘ方向」、振動素子１の厚み方向をＹ’軸に沿った方向として「Ｙ’方向」、Ｘ軸及びＹ’軸に垂直な方向をＺ’軸に沿った方向として「Ｚ’方向」と言う。また、各軸の矢印側を「プラス側」、矢印と反対側を「マイナス側」とも言う。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許