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公開番号2025163534
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-29
出願番号2024066897
出願日2024-04-17
発明の名称液体吐出装置、吐出方法、インプリント装置、および物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類B41J 2/01 20060101AFI20251022BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】基板上に液滴を精度よく供給するために有利な技術を提供する。
【解決手段】基板を保持する基板ステージと、吐出面に複数の吐出口を有し、吐出口から基板ステージに保持された基板上に液体を供給する吐出ヘッドと、吐出口と液体が接触しつつ液体にメニスカスが形成されている状態で、基板ステージから液体までの距離、または液体の位置を測定する測定部と、測定部の測定結果に基づいて、基板ステージと吐出ヘッドの相対位置を制御する制御部と、を有することを特徴とする液体吐出装置。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板を保持する基板ステージと、
吐出面に複数の吐出口を有し、前記吐出口から前記基板ステージに保持された前記基板上に液体を供給する吐出ヘッドと、
前記吐出口と前記液体が接触しつつ前記液体にメニスカスが形成されている状態で、前記基板ステージから前記液体までの距離、または前記液体の位置を測定する測定部と、
前記測定部の測定結果に基づいて、前記基板ステージと前記吐出ヘッドの相対位置を制御する制御部と、を有することを特徴とする液体吐出装置。
続きを表示（約 880 文字）【請求項２】
前記測定部は、更に前記基板ステージから前記吐出面の平面部までの距離を測定することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項３】
前記吐出ヘッド内の圧力を制御して、前記吐出口から前記液体を吐出させる圧力制御部を有し、
前記測定部による測定は、前記圧力制御部の制御により前記吐出ヘッド内が加圧されて前記液体に凸型の前記メニスカスが形成された状態において行われることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項４】
前記測定部による測定は、前記液体の液滴の直径が前記吐出口の直径よりも大きくなった状態で行われることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項５】
前記測定部による測定は、前記液体の液滴の直径が隣接する吐出口間の距離以下である状態で行われることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出装置。
【請求項６】
前記制御部は、前記測定部の測定結果に基づいて、前記液体の液滴の前記吐出面からの高さを求め、前記液滴の中心位置を算出することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項７】
前記制御部は、前記液滴の前記中心位置と、前記基板ステージの位置とを対応付けて前記吐出ヘッドの位置を決定し、前記決定に基づいて前記基板上における前記液滴の位置を制御することを特徴とする請求項６に記載の液体吐出装置。
【請求項８】
前記圧力制御部は、前記測定部が測定を行っている間において、前記メニスカスが破壊されない圧力で加圧を行うことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出装置。
【請求項９】
前記測定部は、測距センサであって、前記基板ステージから前記液体および前記吐出面の平面部までの距離を測定することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
【請求項１０】
前記測定部は、前記基板ステージ上に配置されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、体吐出装置、吐出方法、インプリント装置、および物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
収容容器に収容された液体または液状の吐出材を吐出ヘッド(供給装置)から吐出する液体吐出装置がある。特許文献１には、吐出面に吐出口と吐出口とは別に設けた凹凸構造を有する吐出ヘッドと、基板ステージ上に配置され、凹凸構造までの距離を計測する測距センサとを有するインプリント装置が記載されている。特許文献１では、測距センサで吐出面の凹凸構造の高さを計測し、基板ステージ位置に対する吐出ヘッドの位置のずれ量を求めている。そして、求めたずれ量を補正量として吐出材の基板への供給位置情報に反映させて、吐出位置を制御する技術が記載されている。
【０００３】
これに対して、特許文献２には、基板に向けて吐出材を吐出口より吐出する吐出ヘッドと、吐出口位置計測の基準となる基準マークを設けた吐出口位置を計測する吐出口計測手段と、基板位置を計測する基板位置計測手段を備えている構成が記載されている。また、吐出口位置計測の基準マークで基板位置計測手段の位置を校正することで、基板上への吐出位置を制御するする技術が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第７２８９８９５号公報
特開２０１１－２４９１９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に開示されたインプリント装置では、供給装置の吐出口の位置ではなく吐出面内の凹凸構造の高さを測距センサで計測して、基板ステージ位置に対する供給装置の位置のずれ量を求めている。そのため、供給装置毎に吐出口位置と凹凸構造の位置関係情報を事前に取得しておく必要がある。
【０００６】
一方、特許文献２に開示された液体吐出装置は、供給装置の吐出口位置をアライメントカメラで計測している。高精度な吐出位置制御を要する液体吐出装置では、吐出口の直径は、１０～３０マイクロメートル程度であるため吐出口位置を直接計測するには、高精度な撮像装置が必要となる。
【０００７】
これらの点に鑑み、本発明は、基板上に液滴を精度よく供給するために有利な技術を提供することを例示的目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記目的を達成するために、本発明の一実施形態は、基板を保持する基板ステージと、吐出面に複数の吐出口を有し、前記吐出口から前記基板ステージに保持された前記基板上に液体を供給する吐出ヘッドと、前記吐出口と前記液体が接触しつつ前記液体にメニスカスが形成されている状態で、前記基板ステージから前記液体までの距離、または前記液体の位置を測定する測定部と、前記測定部の測定結果に基づいて、前記基板ステージと前記吐出ヘッドの相対位置を制御する制御部と、を有することを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、例えば、基板上に液滴を精度よく供給するために有利な技術を提供する技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
第１実施形態に係る液体吐出装置の一例を示す概略構成図である。
吐出ヘッドにおける吐出口近傍の拡大図である。
第１実施形態に係る吐出面の測定を説明する模式図である。
第１実施形態に係る吐出口の位置測定を説明する模式図である。
第１実施形態に係る吐出材表面の高さを測定する方法を説明する図である。
第１実施形態に係る供給位置補正処理動作の一例を示すフロー図である。
第１実施形態に係る供給処理動作の一例を示すフロー図である。
第２実施形態に係る吐出材表面測定を説明する模式図である。
吐出装置を構成したインプリント装置の一例を示す概略構成図である。
物品の製造方法を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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