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公開番号2025152618
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024054593
出願日2024-03-28
発明の名称再生パーフルオロ(共)重合体の製造方法および再生材の製造方法
出願人株式会社バルカー,国立研究開発法人産業技術総合研究所
代理人弁理士法人エスエス国際特許事務所
主分類C08J 11/12 20060101AFI20251002BHJP(有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物)
要約【課題】架橋した架橋パーフルオロ(共)重合体の架橋サイトを再生する再生パーフルオロ(共)重合体を製造する方法であって、該架橋サイトを再生する際のパーフルオロ(共)重合体の質量減少を抑制しつつ、簡便な方法で十分に架橋サイトを再生することができる、再生パーフルオロ(共)重合体の製造方法を提供すること。
【解決手段】架橋サイトを有するパーフルオロ(共)重合体が架橋した架橋パーフルオロ(共)重合体を、不活性ガス雰囲気下で熱処理することで、前記架橋サイトを再生する工程を含む、再生パーフルオロ(共)重合体の製造方法。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
架橋サイトを有するパーフルオロ（共）重合体が架橋した架橋パーフルオロ（共）重合体を、不活性ガス雰囲気下で熱処理することで、前記架橋サイトを再生する工程を含む、再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
前記架橋サイトがニトリル基である、請求項１に記載の再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法。
【請求項３】
前記不活性ガスが、窒素ガス、アルゴンガスおよびヘリウムガスから選ばれる少なくとも１種である、請求項１に記載の再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法。
【請求項４】
前記架橋サイトを有するパーフルオロ（共）重合体が、該（共）重合体の主鎖に炭素－水素結合を含まない（共）重合体である、請求項１に記載の再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法。
【請求項５】
請求項１～４のいずれか１項に記載の再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法で得られた再生パーフルオロ（共）重合体を含む再生材形成材料を架橋する工程を含む、再生材の製造方法。
【請求項６】
前記再生材形成材料が架橋剤をさらに含む、請求項５に記載の再生材の製造方法。
【請求項７】
前記再生材形成材料が、未架橋パーフルオロ（共）重合体をさらに含む、請求項５に記載の再生材の製造方法。
【請求項８】
前記再生材形成材料中の前記再生パーフルオロ（共）重合体の含有量が、未架橋パーフルオロ（共）重合体１００質量部に対し、０．５質量部以上である、請求項７に記載の再生材の製造方法。
【請求項９】
前記再生材がシール材である、請求項５に記載の再生材の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法および再生材の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来より、シール材は、各種用途に幅広く使用されており、これらの用途の中でも、シール材に最も負荷のかかるシール材の用途の一例として、半導体製造装置等に使用されるシール材が挙げられる。
【０００３】
このようなシール材としては、耐プラズマ性や耐ラジカル性に優れるシール材を得ることができることから、フルオロエラストマー（ＦＫＭ）や、パーフルオロエラストマー（ＦＦＫＭ）などの架橋性フルオロエラストマーが使用されており、特に高温や過酷な化学薬品が使用される場合等においては、ＦＦＫＭが使用されている。
【０００４】
前記のような架橋性フルオロエラストマー製のシール材は、通常、該架橋性フルオロエラストマーに、架橋剤や架橋助剤などの添加剤を配合して得られたエラストマー組成物を用い、このエラストマー組成物を成形、架橋することでシール材として使用されている。
【０００５】
前記シール材は、一般の成形品と同様に、成形時の屑（バリ）や不良品、使用済の成形品等の処理が必要になることがある。しかしながら、架橋したフルオロエラストマーは、その優れた特性がかえって化学的処理等の妨げとなり、また、燃焼させると腐食性分解物を生じ、サーマルリサイクルも容易ではないことから、これまでは埋め立て等により廃棄していた。
【０００６】
しかし、近年、埋め立て量の削減等による環境保護、資源の有効活用等に対する高意識化に伴い、従来廃棄していた架橋フルオロエラストマーを再利用する方法の開発が要求されている。
【０００７】
このような架橋フルオロエラストマーを再利用する方法として、例えば、特許文献１には、架橋された含フッ素ポリマーを、活性水素を有する化合物の超臨界流体または亜臨界流体中で脱架橋する方法が開示されている。
また、特許文献２には、加硫フッ素ゴムを空気中で加熱処理する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開２００７－６３３３４号公報
特開昭６１－６９８０５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
しかし、超臨界流体または亜臨界流体を用いる前記特許文献１に記載の方法は、処理が容易ではなく、簡便に実施することができないため改良の余地があった。
また、本発明者が鋭意検討した結果、前記特許文献２に記載の方法では、加硫フッ素ゴムの脱加硫（架橋サイトの再生）が十分に起こらず、また、前記加熱処理により加硫フッ素ゴムの分解等が起こり、加熱処理前後のフッ素ゴムの質量減少率が大きくなることが分かった。
【００１０】
本発明は以上のことに鑑みてなされた発明であり、架橋した架橋パーフルオロ（共）重合体の架橋サイトを再生する再生パーフルオロ（共）重合体を製造する方法であって、該架橋サイトを再生する際のパーフルオロ（共）重合体の質量減少を抑制しつつ、簡便な方法で十分に架橋サイトを再生することができる、再生パーフルオロ（共）重合体の製造方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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