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公開番号2025106805
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-16
出願番号2024228589
出願日2024-12-25
発明の名称マスク組立体およびそれを用いた有機発光素子の製造方法
出願人三星ディスプレイ株式會社,Samsung Display Co.,Ltd.
代理人個人
主分類C23C 14/04 20060101AFI20250709BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】マスク組立体およびそれを用いた有機発光素子の製造方法が提供される。
【解決手段】一実施形態によるマスク組立体は、マスクフレーム、前記マスクフレーム上に配置され、前記マスクフレームの短辺に沿った方向に配置される複数の短辺スティック、前記複数の短辺スティック上に配置され、前記マスクフレームの長辺に沿った方向に配置される複数の長辺スティック、および前記複数の長辺スティック上に配置される蒸着マスクを含み、前記複数の長辺スティックは前記マスクフレームの前記長辺と隣接するように配置された第1長辺スティック、および前記マスクフレームの前記長辺と離隔するように配置された第2長辺スティックを含み、前記第1長辺スティックは前記蒸着マスクの開口部の一部分をマスキングするように前記マスクフレームの短辺方向に延びた羽根部を含み、前記マスクフレームの長辺は前記羽根部が据え付けられる羽根溝を含む。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
マスク組立体において、
マスクフレーム；
前記マスクフレーム上に配置され、前記マスクフレームの短辺に沿った方向に配置される複数の短辺スティック；
前記複数の短辺スティック上に配置され、前記マスクフレームの長辺に沿った方向に配置される複数の長辺スティック；および
前記複数の長辺スティック上に配置される蒸着マスクを含み、
前記複数の長辺スティックは、前記マスクフレームの前記長辺と隣接するように配置された第１長辺スティック、および、前記マスクフレームの前記長辺と離隔するように配置された第２長辺スティックを含み、
前記第１長辺スティックは、前記蒸着マスクの開口部の一部分をマスキングするように前記マスクフレームの短辺への方向へと延びた羽根部を含み、
前記マスクフレームの長辺は、前記羽根部が据え付けられる羽根溝を含む、マスク組立体。
続きを表示（約 870 文字）【請求項２】
前記マスクフレームの短辺は、前記複数の長辺スティックのそれぞれの端部が据え付けられる長辺スティック溝を含み、
前記マスクフレームの長辺は、前記複数の短辺スティックのそれぞれの端部が据え付けられる短辺スティック溝を含む、請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項３】
前記羽根溝と前記短辺スティック溝とは、互いに重なるように配置される、請求項２に記載のマスク組立体。
【請求項４】
前記短辺スティック溝に、前記短辺スティックの端部が据え付けられ、
前記羽根部は、前記短辺スティック溝の上方に位置した前記羽根溝に据え付けられる、請求項３に記載のマスク組立体。
【請求項５】
前記羽根部は、前記羽根溝に据え付けられる第１羽根部、および、前記長辺スティックの延長方向を基準として前記第１羽根部と線対称に配置される第２羽根部を含む、請求項４に記載のマスク組立体。
【請求項６】
前記長辺スティック溝の高さは、前記羽根溝の高さと同じである、請求項２に記載のマスク組立体。
【請求項７】
前記羽根溝の幅は、前記短辺スティック溝の幅より大きい、請求項２に記載のマスク組立体。
【請求項８】
前記マスクフレームの内側の側面から延びる前記羽根溝の第１長さは、前記マスクフレームの内側の側面から延びる前記長辺スティック溝の第２長さより短い、請求項２に記載のマスク組立体。
【請求項９】
前記蒸着マスクは前記マスクフレームの短辺に沿った方向に配置される、請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項１０】
前記蒸着マスクは、
前記蒸着マスクの両端部に位置する固定部；
前記固定部の間に位置し、複数のパターン開口を含む少なくとも一つの蒸着パターン部；および
前記蒸着パターン部の周辺に位置するリブ部を含む、請求項１に記載のマスク組立体。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク組立体およびそれを用いた有機発光素子の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
有機発光表示装置は、自発光素子である有機発光素子が放出する光を用いて映像表示を実現する。対向する電極層の間に介在する発光層などを含む有機発光素子は正孔と電子が再結合して生成されたエキシトンが励起状態から基底状態に変化して光を放出することができる。
【０００３】
前記電極層および／または発光層などを製造する方法としては、蒸着マスクを用いる蒸着工程を例示することができる。例えば、形成しようとする層のパターンと実質的に同じ形状のパターン開口を有する蒸着マスクを基板上に整列し、蒸着用物質を、蒸着マスクの開口部を介して基板上に蒸着して、所望する形状のパターン層を形成することができる。蒸着マスクは、マスクフレームにより支持されて基板上に密着することができる。
【０００４】
一方、有機発光表示装置がますます高解像度化されるにつれて、有機発光素子の電極および発光層の大きさが小さくなり、そのため、より精密な蒸着方法が求められる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
韓国公開特許第2019-0142460号公報(KR2019-0142460A)
韓国公開特許第2017-0086160号公報(KR2017-0086160A)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、蒸着マスクを安定的に支持することによって、蒸着工程の精密度を高めることができるマスク組立体およびそれを用いた有機発光素子の製造方法を提供することにある。
【０００７】
本発明の課題は以上で言及した課題に制限されず、言及されていないまた他の技術的課題は以下の記載から当業者に明確に理解されるものである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
前記課題を解決するための一実施形態によるマスク組立体は、マスクフレーム、前記マスクフレーム上に配置され、前記マスクフレームの短辺に沿った方向に(延びるように)配置される複数の短辺スティック、前記複数の短辺スティック上に配置され、前記マスクフレームの長辺に沿った方向に(延びるように)配置される複数の長辺スティック、および、前記複数の長辺スティック上に配置される蒸着マスクを含み、前記複数の長辺スティックは前記マスクフレームの前記長辺と隣接するように配置された第１長辺スティック、および前記マスクフレームの前記長辺と離隔するように配置された第２長辺スティックを含み、前記第１長辺スティックは、前記蒸着マスクの開口部の一部分をマスキングするように、前記マスクフレームの短辺への方向へと延びた羽根部を含み、前記マスクフレームの長辺(長辺をなす部分)は、前記羽根部が据え付けられる羽根溝を含む。本願において、「溝」の語は、細長い線状のものに限らず、スティックの端部を組み付けるための凹部または穴を意味するものとする。
【０００９】
前記マスクフレームの短辺(長方形フレームの短辺部分)は、前記複数の長辺スティックのそれぞれの端部が据え付けられる長辺スティック溝を含み、前記マスクフレームの長辺(長方形フレームの長辺部分)は前記複数の短辺スティックのそれぞれの端部が据え付けられる短辺スティック溝を含む。
【００１０】
前記羽根溝と前記短辺スティック溝とは、互いに重なるように配置される。
（【００１１】以降は省略されています）

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