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公開番号2025102053
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-08
出願番号2023219249
出願日2023-12-26
発明の名称感光性樹脂組成物、硬化物および半導体装置
出願人住友ベークライト株式会社
代理人個人
主分類G03F 7/027 20060101AFI20250701BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】得られる半導体装置の信頼性を向上できる感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】側鎖に二重結合を有するポリイミド(A)と、イソシアヌル酸骨格を有する(メタ)アクリレート化合物を含む架橋剤(B)と、重合開始剤(C)と、を含む、感光性樹脂組成物。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
側鎖に二重結合を有するポリイミド（Ａ）と、
イソシアヌル酸骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を含む架橋剤（Ｂ）と、
重合開始剤（Ｃ）と、
を含む、感光性樹脂組成物。
続きを表示（約 3,000 文字）【請求項２】
前記架橋剤（Ｂ）が、下記一般式（１）で示される（メタ）アクリレート化合物を含む、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
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2025102053000026.tif
47
153
（前記一般式（１）中、Ｒ
１１
、Ｒ
１２
およびＲ
１３
は、それぞれ独立して、水素原子、ヒドロキシ基、または、（メタ）アクリロイルオキシ基、（メタ）アクリロイル基およびヒドロキシ基からなる群より選択される少なくとも１つの官能基と、炭素数１～１０のアルキレン基もしくは炭素数１～１０のオキシアルキレン基と、を含む有機基を示し、Ｒ
１１
、Ｒ
１２
およびＲ
１３
のうち少なくとも１つは、（メタ）アクリロイルオキシ基または（メタ）アクリロイル基を有する）
【請求項３】
前記一般式（１）におけるＲ
１１
、Ｒ
１２
およびＲ
１３
のうち少なくとも１つが、下記一般式（２）で示される基である、請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
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2025102053000027.tif
166
153
（前記一般式（２）中、Ｖは単結合または炭素数１～１０のアルキレン基もしくは炭素数１～１０のオキシアルキレン基を示し、Ｒ
２０
は水素原子またはメチル基を示し、Ｗは単結合または前記一般式（２ａ）で示される基、前記一般式（２ｂ）で示される基および前記一般式（２ｃ）で示される基からなる群より選択される一種または二種以上を含む官能基を示し、＊は結合手を示し、
前記一般式（２ａ）中、ａは１～１０の整数を示し、＊は結合手を示し、
前記一般式（２ｂ）中、ｂは１～１０の整数を示し、＊は結合手を示し、
前記一般式（２ｃ）中、ｃは１～１０の整数を示し、＊は結合手を示す）
【請求項４】
前記ポリイミド（Ａ）が、下記一般式（３）で示される構成単位を含む、請求項１～３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
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2025102053000028.tif
27
153
（前記一般式（３）中、Ｙは２価の有機基を示す）
【請求項５】
前記一般式（３）におけるＹが、下記一般式（３ａ）で示される基、下記一般式（３ｂ）で示される基および下記一般式（３ｃ）で示される基からなる群より選択される、請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
TIFF
2025102053000029.tif
82
153
（前記一般式（３ａ）中、Ｒ
１
およびＲ
２
は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１～３のアルキル基または炭素数１～３のアルコキシ基を示し、複数存在するＲ
１
同士、複数存在するＲ
２
同士は同一でも異なっていてもよく、Ｒ
３
は、水素原子、炭素数１～３のアルキル基または炭素数１～３のアルコキシ基を示し、複数存在するＲ
３
同士は同一でも異なっていてもよく、＊は結合手を示し、
前記一般式（３ｂ）中、Ｒ
４
およびＲ
５
は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１～３のアルキル基または炭素数１～３のアルコキシ基を示し、複数存在するＲ
４
同士、複数存在するＲ
５
同士は同一でも異なっていてもよく、＊は結合手を示し、
前記一般式（３ｃ）中、Ｚは炭素数１～５のアルキレン基または２価の芳香族基を示し、＊は結合手を示す）
【請求項６】
前記ポリイミド（Ａ）が、下記一般式（４）で示される構成単位を含む、請求項１～３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
TIFF
2025102053000030.tif
38
153
（前記一般式（４）中、ｍ１およびｍ２は、それぞれ独立して０～３の整数を示し、Ｑは、ｍ１またはｍ２が０のときは、水素原子、ヒドロキシ基または１価の炭素数１～１０の有機基を示し、ｍ１またはｍ２が１～３のときは、単結合または２価～４価の炭素数１～１０の有機基を示し、複数存在するＱは同一でも異なっていてもよく、Ｒは、水素原子、炭素数１～３のアルキル基または炭素数１～３のアルコキシ基を示し、複数存在するＲは同一でも異なっていてもよく、Ｘは単結合、－ＳＯ
２
－、－Ｃ（＝Ｏ）－、炭素数１～５の直鎖状ならびに分岐状のアルキレン基、または炭素数１～５の直鎖状ならびに分岐状のフルオロアルキレン基を示し、複数存在するＸは同一でも異なっていてもよい）
【請求項７】
前記ポリイミド（Ａ）が、下記一般式（５）で示される構成単位（ａ）を含む、請求項１～３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
TIFF
2025102053000031.tif
44
153
（前記一般式（５）中、ｍ１およびｍ２は、それぞれ独立して０～３の整数を示し、Ｑは、ｍ１またはｍ２が０のときは、水素原子、ヒドロキシ基または１価の炭素数１～１０の有機基を示し、ｍ１またはｍ２が１～３のときは、単結合または２価～４価の炭素数１～１０の有機基を示し、複数存在するＱは同一でも異なっていてもよく、Ｒは、水素原子、炭素数１～３のアルキル基または炭素数１～３のアルコキシ基を示し、複数存在するＲは同一でも異なっていてもよく、Ｘは単結合、－ＳＯ
２
－、－Ｃ（＝Ｏ）－、炭素数１～５の直鎖状ならびに分岐状のアルキレン基、または炭素数１～５の直鎖状ならびに分岐状のフルオロアルキレン基を示し、複数存在するＸは同一でも異なっていてもよく、Ｙは２価の有機基を示す）
【請求項８】
前記構成単位（ａ）が、前記一般式（５）で示され、ｍ１およびｍ２の少なくとも一方が１以上である構成単位（ａ
ｐ
）と、前記一般式（５）で示され、ｍ１およびｍ２がいずれも０である構成単位（ａ
ｑ
）とを含み、
前記構成単位（ａ）中の、前記構成単位（ａ
ｐ
）と前記構成単位（ａ
ｑ
）の合計含有量を１００モル％としたとき、前記構成単位（ａ
ｐ
）の含有量が１５モル％以上である、請求項７に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項９】
前記ポリイミド（Ａ）の含有量を１００質量部としたとき、前記架橋剤（Ｂ）の含有量が１質量部以上８０質量部以下である、請求項１～３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記ポリイミド（Ａ）の含有量を１００質量部としたとき、前記重合開始剤（Ｃ）の含有量が１質量部以上３０質量部以下である、請求項１～３のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、硬化物および半導体装置に関する。
続きを表示（約 3,100 文字）【背景技術】
【０００２】
ポリイミドは、例えば、液晶表示素子や半導体における保護材料、絶縁材料、カラーフィルタ等の電子材料用薄膜として用いられている。
【０００３】
特許文献１には、露光前はアルカリ現像液に容易に溶解し、露光するとアルカリ現像液に不溶となり、キュアによる膜の収縮が小さく高矩形のキュア後パターンを得ることができる樹脂組成物を提供することを目的として、（Ａ）ポリイミド樹脂を含有する樹脂組成物であって、前記（Ａ）ポリイミド樹脂が特定の構造を有する有機基を有することを特徴とする樹脂組成物が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１８－０７０８２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、得られる半導体装置の信頼性を向上できる感光性樹脂組成物および硬化物、並びに、信頼性が向上した半導体装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた。その結果、側鎖に二重結合を有するポリイミド（Ａ）と、イソシアヌル酸骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を含む架橋剤（Ｂ）と、重合開始剤（Ｃ）と、を含む、感光性樹脂組成物が半導体装置の信頼性を向上できることを見出し、本発明を完成させた。
【０００７】
本発明によれば、以下に示す感光性樹脂組成物、硬化物および半導体装置が提供される。
【０００８】
［１］
側鎖に二重結合を有するポリイミド（Ａ）と、
イソシアヌル酸骨格を有する（メタ）アクリレート化合物を含む架橋剤（Ｂ）と、
重合開始剤（Ｃ）と、
を含む、感光性樹脂組成物。
［２］
前記架橋剤（Ｂ）が、下記一般式（１）で示される（メタ）アクリレート化合物を含む、［１］に記載の感光性樹脂組成物。
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2025102053000001.tif
47
153
（前記一般式（１）中、Ｒ
１１
、Ｒ
１２
およびＲ
１３
は、それぞれ独立して、水素原子、ヒドロキシ基、または、（メタ）アクリロイルオキシ基、（メタ）アクリロイル基およびヒドロキシ基からなる群より選択される少なくとも１つの官能基と、炭素数１～１０のアルキレン基もしくは炭素数１～１０のオキシアルキレン基と、を含む有機基を示し、Ｒ
１１
、Ｒ
１２
およびＲ
１３
のうち少なくとも１つは、（メタ）アクリロイルオキシ基または（メタ）アクリロイル基を有する）
［３］
前記一般式（１）におけるＲ
１１
、Ｒ
１２
およびＲ
１３
のうち少なくとも１つが、下記一般式（２）で示される基である、［２］に記載の感光性樹脂組成物。
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2025102053000002.tif
166
153
（前記一般式（２）中、Ｖは単結合または炭素数１～１０のアルキレン基もしくは炭素数１～１０のオキシアルキレン基を示し、Ｒ
２０
は水素原子またはメチル基を示し、Ｗは単結合または前記一般式（２ａ）で示される基、前記一般式（２ｂ）で示される基および前記一般式（２ｃ）で示される基からなる群より選択される一種または二種以上を含む官能基を示し、＊は結合手を示し、
前記一般式（２ａ）中、ａは１～１０の整数を示し、＊は結合手を示し、
前記一般式（２ｂ）中、ｂは１～１０の整数を示し、＊は結合手を示し、
前記一般式（２ｃ）中、ｃは１～１０の整数を示し、＊は結合手を示す）
［４］
前記ポリイミド（Ａ）が、下記一般式（３）で示される構成単位を含む、［１］～［３］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
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2025102053000003.tif
27
153
（前記一般式（３）中、Ｙは２価の有機基を示す）
［５］
前記一般式（３）におけるＹが、下記一般式（３ａ）で示される基、下記一般式（３ｂ）で示される基および下記一般式（３ｃ）で示される基からなる群より選択される、［４］に記載の感光性樹脂組成物。
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2025102053000004.tif
82
153
（前記一般式（３ａ）中、Ｒ
１
およびＲ
２
は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１～３のアルキル基または炭素数１～３のアルコキシ基を示し、複数存在するＲ
１
同士、複数存在するＲ
２
同士は同一でも異なっていてもよく、Ｒ
３
は、水素原子、炭素数１～３のアルキル基または炭素数１～３のアルコキシ基を示し、複数存在するＲ
３
同士は同一でも異なっていてもよく、＊は結合手を示し、
前記一般式（３ｂ）中、Ｒ
４
およびＲ
５
は、それぞれ独立して、水素原子、炭素数１～３のアルキル基または炭素数１～３のアルコキシ基を示し、複数存在するＲ
４
同士、複数存在するＲ
５
同士は同一でも異なっていてもよく、＊は結合手を示し、
前記一般式（３ｃ）中、Ｚは炭素数１～５のアルキレン基または２価の芳香族基を示し、＊は結合手を示す）
［６］
前記ポリイミド（Ａ）が、下記一般式（４）で示される構成単位を含む、［１］～［５］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
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2025102053000005.tif
38
153
（前記一般式（４）中、ｍ１およびｍ２は、それぞれ独立して０～３の整数を示し、Ｑは、ｍ１またはｍ２が０のときは、水素原子、ヒドロキシ基または１価の炭素数１～１０の有機基を示し、ｍ１またはｍ２が１～３のときは、単結合または２価～４価の炭素数１～１０の有機基を示し、複数存在するＱは同一でも異なっていてもよく、Ｒは、水素原子、炭素数１～３のアルキル基または炭素数１～３のアルコキシ基を示し、複数存在するＲは同一でも異なっていてもよく、Ｘは単結合、－ＳＯ
２
－、－Ｃ（＝Ｏ）－、炭素数１～５の直鎖状ならびに分岐状のアルキレン基、または炭素数１～５の直鎖状ならびに分岐状のフルオロアルキレン基を示し、複数存在するＸは同一でも異なっていてもよい）
［７］
前記ポリイミド（Ａ）が、下記一般式（５）で示される構成単位（ａ）を含む、［１］～［６］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、得られる半導体装置の信頼性を向上できる感光性樹脂組成物および硬化物、並びに、信頼性が向上した半導体装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
半導体装置の構造の一例を模式的に示す概略断面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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