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公開番号2025101179
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-07
出願番号2023217830
出願日2023-12-25
発明の名称ベルヌーイグリッパ
出願人SMC株式会社
代理人弁理士法人桐朋
主分類B25J 15/06 20060101AFI20250630BHJP(手工具;可搬型動力工具;手工具用の柄;作業場設備;マニプレータ)
要約【課題】ワークを良好に保持し得るベルヌーイグリッパを提供する。
【解決手段】ベルヌーイグリッパ10は、柱状の本体12と、本体12に取り付けられたカバー体14とを備える。本体12は、本体12の先端に形成される吸着部の凹部130から側壁134にかけて滑らかに湾曲する周縁部132を有する。カバー体14は、凹部130の中央に応じた部位に位置する中央部140と、中央部140から互いに間隔をあけて本体12の径方向D2に延び、周縁部132を経て側壁134に達する複数の枝部142と、を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
柱状の本体と、
前記本体の先端に形成され、中央に凹部を有する吸着部と、
前記本体の径方向に沿って前記凹部にエアを吹き出すノズルと、
前記吸着部の一部と前記本体の側壁の一部とを覆うように前記本体に取り付けられたカバー体と、
を備え、
前記本体は、
前記凹部から前記側壁にかけて滑らかに湾曲する周縁部を有し、
前記カバー体は、
前記凹部の中央に応じた部位に位置する中央部と、
前記中央部から互いに間隔をあけて前記径方向に延び、前記周縁部を経て前記側壁に達する複数の枝部と、
を有する、ベルヌーイグリッパ。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
請求項１に記載のベルヌーイグリッパであって、
前記中央部には、前記本体に向かって突出する突起が形成され、
前記本体には、前記突起が嵌合する嵌合部が形成されている、ベルヌーイグリッパ。
【請求項３】
請求項１に記載のベルヌーイグリッパであって、
前記ノズルとは別個に前記本体に形成されている流路を介して前記吸着部にエアを供給するための負圧破壊ポートを更に備える、ベルヌーイグリッパ。
【請求項４】
請求項１に記載のベルヌーイグリッパであって、
前記カバー体は、弾性体である、ベルヌーイグリッパ。
【請求項５】
請求項１に記載のベルヌーイグリッパであって、
前記カバー体は、着脱自在である、ベルヌーイグリッパ。
【請求項６】
請求項１に記載のベルヌーイグリッパであって、
前記カバー体は、前記枝部の弾性によって前記本体に取り付けられる、ベルヌーイグリッパ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ベルヌーイグリッパに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
下記の特許文献１には、基板を保持するチャック部を備えた基板保持装置（ベルヌーイグリッパ）が開示されている。このベルヌーイグリッパは、円柱状の本体（アウターチャック部）と、吸着部（インナーチャック部）とを備える。吸着部は、本体の先端に形成され、中央に凹みを有する。本体の先端では、本体の径方向に気体が放出されることで発生する負圧によって吸着部に基板が引き寄せられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－１２６１７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ワークを良好に保持し得るベルヌーイグリッパが待望されている。
【０００５】
本発明は、上述した課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の態様は、柱状の本体と、前記本体の先端に形成され、中央に凹部を有する吸着部と、前記本体の径方向に沿って前記凹部にエアを吹き出すノズルと、前記吸着部の一部と前記本体の側壁の一部とを覆うように前記本体に取り付けられたカバー体と、を備え、前記本体は、前記凹部から前記側壁にかけて滑らかに湾曲する周縁部を有し、前記カバー体は、前記凹部の中央に応じた部位に位置する中央部と、前記中央部から互いに間隔をあけて前記径方向に延び、前記周縁部を経て前記側壁に達する複数の枝部と、を有する、ベルヌーイグリッパである。
【発明の効果】
【０００７】
上記の態様によれば、ワークを良好に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、第１実施形態におけるベルヌーイグリッパの斜視図である。
図２は、第１実施形態におけるベルヌーイグリッパの側面図である。
図３は、図２のＩＩＩ－ＩＩＩ線に沿ったベルヌーイグリッパの断面図である。
図４は、第２実施形態におけるベルヌーイグリッパの斜視図である。
図５は、第２実施形態におけるベルヌーイグリッパの側面図である。
図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線に沿ったベルヌーイグリッパの断面図である。
図７は、軸方向に沿ってベルヌーイグリッパの先端側を見た図である。
図８は、変形例１におけるカバー体の斜視図である。
図９は、変形例２におけるベルヌーイグリッパの断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
半導体チップ等の比較的小さい複数のワークのうちの１つを、ベルヌーイグリッパによって保持する場合がある。この場合、ベルヌーイグリッパの本体の先端から当該本体の径方向に放出される気体によって、保持対象のワークの周囲に位置する他のワークが吹き飛ぶ虜がある。
【００１０】
また、フィルム等の比較的薄いワークをベルヌーイグリッパによって保持する場合がある。この場合、ベルヌーイグリッパの本体の先端から当該本体の径方向に放出される気体によって、当該ベルヌーイグリッパの吸引部に引き寄せられたワークが振動する虜がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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