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公開番号2025107789
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-22
出願番号2024001222
出願日2024-01-09
発明の名称吸着パッド用マグネットダンパ
出願人SMC株式会社
代理人弁理士法人桐朋
主分類F16F 15/03 20060101AFI20250714BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【解決手段】ボデイ12に取り付けられた固定マグネット18の外周面18aおよび内周面18bは、一様な径を有する円筒面からなり、可動部22を構成する可動マグネット34の外周面34aは、一様な径を有する円筒面からなり、可動マグネットの内周面34bは、円錐状の曲面からなる。固定マグネットおよび可動マグネットは、軸方向に着磁され、固定マグネットの軸方向の極性は、可動マグネットの軸方向の極性と同じである。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
筒状のボデイと、前記ボデイの軸方向に変位可能に前記ボデイに支持される可動部とを含み、前記ボデイに取り付けられた筒状の固定マグネットと前記可動部を構成する筒状の可動マグネットとの間で作用する磁力によって吸着パッドがワークに接触するときの圧力を緩和する吸着パッド用マグネットダンパであって、
前記固定マグネットの外周面および内周面は、一様な径を有する円筒面からなり、前記可動マグネットの外周面は、一様な径を有する円筒面からなり、前記可動マグネットの内周面は、円錐状の曲面からなり、前記固定マグネットおよび前記可動マグネットは、軸方向に着磁され、前記固定マグネットの軸方向の極性は、前記可動マグネットの軸方向の極性と同じである吸着パッド用マグネットダンパ。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
前記可動部の変位に関わらず、前記固定マグネットと前記可動マグネットとの間で軸方向に作用する磁力が一定である吸着パッド用マグネットダンパ。
【請求項３】
請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
前記可動部が前記ボデイの軸心回りに回動するのを抑制する機械的回り止め機構を備える吸着パッド用マグネットダンパ。
【請求項４】
請求項３記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
前記可動部は、フランジ部を有するピストンを含み、前記フランジ部の断面は多角形状であり、前記ボデイのピストンガイド面は、前記フランジ部の多角形状断面の各頂点に対応する凸部を受け容れる凹部を有し、前記機械的回り止め機構は、前記フランジ部および前記ピストンガイド面から構成される吸着パッド用マグネットダンパ。
【請求項５】
請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
前記可動部は、ピストンとパッドアダプタとを含み、前記パッドアダプタは前記ボデイから突出し、前記パッドアダプタの突出量が増加する向きの前記可動部の変位は、前記ピストンが前記ボデイに装着されたストッパに当接することによって規制される吸着パッド用マグネットダンパ。
【請求項６】
請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
前記可動部は、ピストンとパッドアダプタとピストンチューブとを含み、前記可動マグネットおよび前記パッドアダプタは、前記ピストンチューブを介して前記ピストンに連結され、真空通路が前記可動部の内側に形成される吸着パッド用マグネットダンパ。
【請求項７】
請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
前記可動部は、ピストンを含み、前記ボデイに配管アダプタが取り付けられ、前記配管アダプタは、配管が取り付けられる本体部と、前記ピストンの孔部にＯリングを介して挿通される真空導入部とを備える吸着パッド用マグネットダンパ。
【請求項８】
請求項７記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
前記配管アダプタは、前記ボデイと前記配管アダプタと前記ピストンとで区画される背圧室の圧力を逃がす溝部を有する吸着パッド用マグネットダンパ。
【請求項９】
請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
前記可動部は、ピストンを含み、前記ボデイにガイドブッシュが取り付けられ、前記ピストンは、配管が接続される軸部を備え、前記軸部は、前記ガイドブッシュに挿通される吸着パッド用マグネットダンパ。
【請求項１０】
請求項１記載の吸着パッド用マグネットダンパにおいて、
前記可動部はピストンを含み、前記ピストンは、有底状の縦孔と、前記ピストンの側面に開口する横孔とを有し、前記縦孔は前記横孔に接続され、前記ボデイは真空導入孔を有し、前記横孔は前記真空導入孔に連通する吸着パッド用マグネットダンパ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着パッドがワークに接触するときの圧力を緩和する吸着パッド用マグネットダンパに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
一般に、ワークを吸着する工程において、吸着パッドをワークに押し付ける動作が必要である。このときワークに加わる圧力を緩和するため、マグネットダンパを備えた吸着装置が従来から知られている。
【０００３】
例えば、特許文献１には、円筒状の固定軸と、固定軸の内部に挿入された円柱状の可動軸とを備え、可動軸の外周面および固定軸の内周面にマグネットが配置された吸着パッドホルダが記載されている。可動軸のマグネットおよび固定軸のマグネットは、それぞれ周方向に分割され、異なる磁極同士が向かい合うように配置されている。
【０００４】
特許文献１によれば、可動軸のマグネットと固定軸のマグネットが軸方向にずれた場合、両マグネットの軸方向重なり部分で生じる磁力線は、軸方向に力を及ぼさず、両マグネットの端部に発生する斜めの磁力線の軸方向分力のみが軸方向に力を及ぼす。このため、吸着パッドをワークに押し付けるときのストロークにバラつきが生じても、一定の力で押し付けることができるとされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００２－５４６７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、可動軸のマグネットと固定軸のマグネットの端部に発生する斜めの磁力線の軸方向分力がほぼ一定であるとみなせるのは、きわめて限定されたストローク範囲と考えられる。
【０００７】
特許文献１の吸着パッドホルダのように、周方向に分割されたマグネットを用いれば、可動軸のマグネットと固定軸のマグネットとの回転方向のずれを抑制することができる。過大な力が作用しても回転することを阻止するためには、機械的な回り止め機構を設ける必要がある。特許文献１の吸着パッドホルダに機械的な回り止め機構を設けた場合は、回転方向に接触圧が加わった状態で可動軸が軸方向に移動するため、大きな摺動抵抗が発生するおそれがある。
【０００８】
本発明は、上述した課題を解決することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明に係る吸着パッド用マグネットダンパは、筒状のボデイと、ボデイの軸方向に変位可能にボデイに支持される可動部とを含み、ボデイに取り付けられた筒状の固定マグネットと可動部を構成する筒状の可動マグネットとの間で作用する磁力によって吸着パッドがワークに接触するときの圧力を緩和する。固定マグネットの外周面および内周面は、一様な径を有する円筒面からなり、可動マグネットの外周面は、一様な径を有する円筒面からなり、可動マグネットの内周面は、円錐状の曲面からなる。固定マグネットおよび可動マグネットは、軸方向に着磁され、固定マグネットの軸方向の極性は、可動マグネットの軸方向の極性と同じである。
【発明の効果】
【００１０】
上記吸着パッド用マグネットダンパによれば、外周面および内周面が一様な径を有する円筒面からなり、かつ、軸方向に着磁された固定マグネットと、外周面が一様な径を有する円筒面からなり、内周面が円錐状の曲面からなり、かつ、軸方向に着磁された可動マグネットとが組み合わされる。このため、可動部の変位量にかかわらず、固定マグネットと可動マグネットとの間で作用する軸方向の磁力を一定の値にすることができる。しかも、固定マグネットと可動マグネットとの間で周方向の磁力は作用しないので、可動部の摺動抵抗を増加させることなく、ボデイと可動部との間に機械的回り止め機構を設けることができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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