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公開番号2025097715
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-01
出願番号2023214067
出願日2023-12-19
発明の名称搬送システム、搬送装置、制御方法及びプログラム
出願人パナソニックIPマネジメント株式会社
代理人弁理士法人北斗特許事務所
主分類H05K 13/00 20060101AFI20250624BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】搬送装置が誤った搬送対象を搬送する可能性を低減する。
【解決手段】搬送システム100は、記憶部25と、接続部と、取得部194と、判定部322と、を備える。記憶部25は、搬送対象2に関する搬送対象情報I1を記憶する。搬送対象2は、搬送装置1によって搬送され、基板を作業対象とする基板処理装置4に接続された状態で、基板処理装置4への部品の供給を行う。接続部は、搬送対象2が有する被接続部と接続される。取得部194は、接続部が被接続部に接続された状態で、記憶部25から搬送対象情報I1を取得する。判定部322は、取得部194が取得する搬送対象情報I1に基づいて、搬送対象2が、搬送装置1が搬送するべき対象であるか否かを判定する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項1】
搬送装置によって搬送され、基板を作業対象とする基板処理装置に接続された状態で、前記基板処理装置への部品の供給を行う搬送対象に関する搬送対象情報を記憶する記憶部と、
前記搬送対象が有する被接続部と接続される接続部と、
前記接続部が前記被接続部に接続された状態で、前記記憶部から前記搬送対象情報を取得する取得部と、
前記取得部が取得する前記搬送対象情報に基づいて、前記搬送対象が、前記搬送装置が搬送するべき対象であるか否かを判定する判定部と、を備える、
搬送システム。
続きを表示(約 870 文字)【請求項2】
前記搬送装置と通信可能に設けられる管理装置を更に備え、
前記管理装置は、前記判定部を有する、
請求項1に記載の搬送システム。
【請求項3】
前記搬送装置を更に備え、
前記搬送装置は、前記判定部を有する、
請求項1に記載の搬送システム。
【請求項4】
前記搬送対象を更に備え、
前記搬送対象は、前記記憶部を有する、
請求項1~3のいずれか1項に記載の搬送システム。
【請求項5】
前記基板処理装置を更に備え、
前記基板処理装置は、前記記憶部を有する、
請求項1~3のいずれか1項に記載の搬送システム。
【請求項6】
前記取得部は、前記接続部が前記被接続部に接続され、かつ、前記搬送対象が前記基板処理装置に接続された状態で、前記記憶部から前記搬送対象を介して前記搬送対象情報を取得する、
請求項5に記載の搬送システム。
【請求項7】
前記接続部は、前記被接続部と機械的に接続される、
請求項1~3のいずれか1項に記載の搬送システム。
【請求項8】
前記接続部は、前記被接続部と電気的に接続される、
請求項7に記載の搬送システム。
【請求項9】
通知部を更に備え、
前記通知部は、前記判定部が前記搬送対象は前記搬送装置が搬送するべき対象ではないと判定すると、判定結果を通知する、
請求項1~3のいずれか1項に記載の搬送システム。
【請求項10】
前記搬送装置の移動を制御する移動制御部を更に有し、
前記移動制御部は、前記判定部が前記搬送対象は前記搬送装置が搬送するべき対象ではないと判定すると、前記接続部と前記被接続部との接続が解除された状態で、前記搬送装置を基準位置まで移動させる、
請求項1~3のいずれか1項に記載の搬送システム。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本開示は、搬送システム、搬送装置、制御方法及びプログラムに関し、より詳細には、基板を作業対象とする基板処理装置に対して用いられる搬送システム、搬送装置、制御方法及びプログラムに関する。
続きを表示(約 1,300 文字)【背景技術】
【0002】
従来より、搬送対象を把持及び搬送する搬送装置が知られている(特許文献1参照)。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0003】
国際公開第2021/235049号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
特許文献1に記載されているような搬送装置を備える搬送システムにおいて、搬送装置が、誤った搬送対象を搬送するおそれがある。
【0005】
本開示は上記事由に鑑みてなされ、搬送装置が誤った搬送対象を搬送する可能性を低減することができる搬送システム、搬送装置、制御方法及びプログラムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0006】
本開示の一態様に係る搬送システムは、記憶部と、接続部と、取得部と、判定部と、を備える。前記記憶部は、搬送装置によって搬送され、基板を作業対象とする基板処理装置に接続された状態で、前記基板処理装置への部品の供給を行う搬送対象に関する搬送対象情報を記憶する。前記接続部は、前記搬送対象が有する被接続部と接続される。前記取得部は、前記接続部が前記被接続部に接続された状態で、前記記憶部から前記搬送対象情報を取得する。前記判定部は、前記取得部が取得する前記搬送対象情報に基づいて、前記搬送対象が、前記搬送装置が搬送するべき対象であるか否かを判定する。
【0007】
本開示の一態様に係る搬送装置は、接続部と、取得部と、判定部と、を備える。前記接続部は、基板を作業対象とする基板処理装置に接続された状態で、前記基板処理装置への部品の供給を行う搬送対象が有する被接続部と接続される。前記取得部は、前記接続部が前記被接続部に接続された状態で、前記搬送対象に関する搬送対象情報を取得する。前記判定部は、前記取得部が取得する前記搬送対象情報に基づいて、前記搬送対象が搬送するべき対象であるか否かを判定する。
【0008】
本開示の一態様に係る制御方法は、記憶ステップと、取得ステップと、判定ステップと、を含む。記憶ステップでは、搬送対象に関する搬送対象情報を記憶する。前記搬送対象は、搬送装置によって搬送され、基板を作業対象とする基板処理装置に接続された状態で、前記基板処理装置への部品の供給を行う。前記取得ステップでは、前記搬送対象が有する被接続部と接続される接続部が前記被接続部に接続された状態で、前記記憶ステップにおいて記憶される前記搬送対象情報を取得する。前記判定ステップでは、前記取得ステップにおいて取得される前記搬送対象情報に基づいて、前記搬送対象が、前記搬送装置が搬送するべき対象であるか否かを判定する。
【0009】
本開示の一態様に係るプログラムは、前記制御方法を、1以上のプロセッサに実行させるためのプログラムである。
【発明の効果】
【0010】
本開示によれば、搬送装置が誤った搬送対象を搬送する可能性を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
(【0011】以降は省略されています)

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