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公開番号2025097113
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-30
出願番号2023213212
出願日2023-12-18
発明の名称研磨パッド用粘着剤、研磨パッド用両面粘着シート、複層型の研磨パッド、および単層型の研磨パッド
出願人artience株式会社
代理人個人,個人
主分類C09J 133/00 20060101AFI20250623BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】本発明の目的は、室温付近(例えば、23℃)で貼着した場合でも、貼着後短時間で高い粘着力が発現でき、酸性水溶液やアルカリ性水溶液に浸漬しても、粘着力を高レベルで維持できる両面粘着シートを提供することにある。
【解決手段】アクリル系共重合体(A)と、合成ゴム(B)と、硬化剤(C)とを含む研磨パッド用粘着剤。前記アクリル系共重合体(A)100質量部に対して、合成ゴム(B)を0.05～20質量部含むことが好ましい。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
アクリル系共重合体（Ａ）と、合成ゴム（Ｂ）と、硬化剤（Ｃ）とを含む研磨パッド用粘着剤。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
前記アクリル系共重合体（Ａ）１００質量部に対して、合成ゴム（Ｂ）を０．０５～２０質量部含む、請求項１項に記載の研磨パッド用粘着剤。
【請求項３】
さらに粘着付与樹脂を含む、請求項１または２記載の研磨パッド用粘着剤。
【請求項４】
基材シートと、前記基材シートの一方の面に位置する第１粘着層と、前記基材シートの他方の面に位置する第２粘着層とを具備する研磨パッド用両面粘着シートであって、
前記第１粘着層は、請求項１または２記載の研磨パッド用粘着剤から形成される粘着層であり、
下記（１）または（２）の研磨パッド用両面粘着シートであり、
（１）トップパッドをクッション層に固定するための研磨パッド用両面粘着シート
（２）トップパッドを定盤に固定するための研磨パッド用両面粘着シート
前記（１）の場合、第１粘着層がトップパッドに接し、前記第２粘着層がクッション層に接し、
前記（２）の場合、第１粘着層がトップパッドに接し、前記第２粘着層が定盤に接する、
研磨パッド用両面粘着シート。
【請求項５】
基材シートと、前記基材シートの一方の面に位置する第１粘着層と、前記基材シートの他方の面に位置する第２粘着層とを具備する研磨パッド用両面粘着シートであって、
前記第１粘着層は、請求項３記載の研磨パッド用粘着剤から形成される粘着層であり、
下記（１）または（２）の研磨パッド用両面粘着シートであり、
（１）トップパッドをクッション層に固定するための研磨パッド用両面粘着シート
（２）トップパッドを定盤に固定するための研磨パッド用両面粘着シート
前記（１）の場合、第１粘着層がトップパッドに接し、前記第２粘着層がクッション層に接し、
前記（２）の場合、第１粘着層がトップパッドに接し、前記第２粘着層が定盤に接する、
研磨パッド用両面粘着シート。
【請求項６】
トップパッドの一方の面に、研磨パッド用両面粘着シートの第１粘着層が接し、
クッション層の一方の面に、研磨パッド用両面粘着シートの第２粘着層が接している複層型の研磨パッドであって、
前記研磨パッド用両面粘着シートは、基材シートと、前記基材シートの一方の面に位置する第１粘着層と、前記基材シートの他方の面に位置する第２粘着層とを具備する研磨パッド用両面粘着シートであり、
前記第１粘着層は、請求項１または２記載の研磨パッド用粘着剤から形成された粘着層である、複層型の研磨パッド。
【請求項７】
トップパッドの一方の面に、研磨パッド用両面粘着シートの第１粘着層が接し、
クッション層の一方の面に、研磨パッド用両面粘着シートの第２粘着層が接している複層型の研磨パッドであって、
前記研磨パッド用両面粘着シートは、基材シートと、前記基材シートの一方の面に位置する第１粘着層と、前記基材シートの他方の面に位置する第２粘着層とを具備する研磨パッド用両面粘着シートであり、
前記第１粘着層は、請求項３記載の研磨パッド用粘着剤から形成された粘着層である、複層型の研磨パッド。
【請求項８】
トップパッドの一方の面に、研磨パッド用両面粘着シートの第１粘着層が接している単層型の研磨パッドであって、
前記研磨パッド用両面粘着シートは、基材シートと、前記基材シートの一方の面に位置する第１粘着層と、前記基材シートの他方の面に位置する第２粘着層とを具備する研磨パッド用両面粘着シートであり、
前記第１粘着層は、請求項１または２記載の研磨パッド用粘着剤から形成された粘着層である、単層型の研磨パッド。
【請求項９】
トップパッドの一方の面に、研磨パッド用両面粘着シートの第１粘着層が接している単層型の研磨パッドであって、
前記研磨パッド用両面粘着シートは、基材シートと、前記基材シートの一方の面に位置する第１粘着層と、前記基材シートの他方の面に位置する第２粘着層とを具備する研磨パッド用両面粘着シートであり、
前記第１粘着層は、請求項３記載の研磨パッド用粘着剤から形成された粘着層である、単層型の研磨パッド。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シリコンウエハ、ガラス（液晶用、強化）、ハードディスク等の研磨対象を研磨する際に用いられる研磨パッド用両面粘着シートに関する。また、本発明は、前記研磨パッド用両面粘着シートを形成するための研磨パッド用粘着剤に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来より、液晶ディスプレイ用ガラス、ハードディスク用基板、光学レンズ、シリコンウェハや集積回路等は、研磨パッド等を用いて研磨されている。研磨パッドには、複層のタイプのものと単層タイプのものとがある。複層のタイプの研磨パッドは、トップパッドとクッション層とが研磨パッド形成用の両面粘着シートや両面接着シートによって貼り合わされたものである。複層のタイプの研磨パッドや単層タイプの研磨パッド、すなわちトップパッドは、研磨パッド固定用の両面粘着シートや両面接着シートによって、定盤に固定される。
複層のタイプの研磨パッド形成用の両面粘着シートや両面接着シートには、研磨中にトップパッドがクッション層から剥がれないことが求められる。研磨パッドを定盤に固定するための研磨パッド固定用の両面粘着シートや両面接着シートには、研磨中に研磨パッドが定盤から剥がれないことが求められる。また、研磨工程では酸性やアルカリ性のスラリーを用いるため、いずれの粘着シートや接着シートにも耐酸性や耐アルカリ性が求められる。
【０００３】
特許文献１には、研磨部材固定用の両面接着シートとして、基材の一方の面に熱接着剤層、他方の面に粘着剤層を備える両面接着テープが記載され、前記熱接着剤層は加熱溶融した後、冷却固化して接着するタイプ（熱溶融型接着剤）で構成されることが好ましいと記載されている。具体的には、熱溶融型接着剤を用いて形成した研磨部材用熱接着剤層を被着体に５０℃で熱圧着し、２３℃の環境下に３０分間放置した後、粘着力を測定した旨記載されている。
また、特許文献２には、熱ラミネートや熱プレスせずに粘着シートを研磨パッドに貼り合せるための粘着シートとして、アクリル系共重合体（Ａ）と、液状キシレン系樹脂（Ｂ）と、イソシアネート硬化剤（Ｃ）とを含む粘着剤の利用が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１３－２１３１９２号公報
特開２０１６－１８３２１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
特許文献１に記載されるような熱溶融型接着剤は、加熱溶融し、被着体を重ねた後、加熱源を取り去れば速やかに固化して貼着が短時間で完了するという点、そして比較的大きな接着力（即ち、剥離力）を発現し易いという点では好ましい。
しかし、被着体である研磨パッドに両面接着シートを貼着する際、高温で貼着すると研磨パッドに反りやうねりが生じ、その結果研磨精度が低下するという問題があった。高温での貼着は、環境負荷増大やコスト増加の原因ともなる。そこで、特許文献１記載の発明当時は、５０℃での貼着を目指した。しかし、近年はより低温での貼着が望まれる。
【０００６】
特許文献２記載の粘着シートは、熱ラミネートや熱プレスせずに粘着シートを研磨パッドに貼り合せた場合にも、大きな粘着力を発現でき、酸性水溶液やアルカリ性水溶液に浸漬しても、粘着力を高レベルで維持できるという点で優れるものではある。
しかし、安定して大きな粘着力を発現するためには、貼着後２４時間程度時間を要していた。貼着後の品質検査、出荷判断を迅速に進めるためには、貼り合わせたあとできるだけ早く安定して粘着力が発現する研磨パッド用粘着剤が求められている。
【０００７】
本発明はこうした課題に対して鑑みてなされたものであり、その目的は、室温付近（例えば、２３℃）で貼着した場合でも、貼着後短時間で高い粘着力が発現でき、酸性水溶液やアルカリ性水溶液に浸漬しても、粘着力を高レベルで維持できる両面粘着シートを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
［１］本発明は、アクリル系共重合体（Ａ）と、合成ゴム（Ｂ）と、硬化剤（Ｃ）とを含む研磨パッド用粘着剤に関する。
前記アクリル系共重合体（Ａ）１００質量部に対して、合成ゴム（Ｂ）を０．０５～２０質量部含むことが好ましい。
本発明は、さらに粘着付与樹脂を含むことが好ましい。
【０００９】
［２］本発明は、基材シートと、前記基材シートの一方の面に位置する第１粘着層と、前記基材シートの他方の面に位置する第２粘着層とを具備する研磨パッド用両面粘着シートに関する発明であって、
前記第１粘着層は、［１］記載の研磨パッド用粘着剤から形成される粘着層であり、
下記（１）または（２）の研磨パッド用両面粘着シートであり、
（１）トップパッドをクッション層に固定するための研磨パッド用両面粘着シート
（２）トップパッドを定盤に固定するための研磨パッド用両面粘着シート
前記（１）の場合、第１粘着層がトップパッドに接し、前記第２粘着層がクッション層に接し、
前記（２）の場合、第１粘着層がトップパッドに接し、前記第２粘着層が定盤に接する、
研磨パッド用両面粘着シートに関する。
【００１０】
［３］本発明は、トップパッドの一方の面に、研磨パッド用両面粘着シートの第１粘着層が接し、
クッション層の一方の面に、研磨パッド用両面粘着シートの第２粘着層が接している複層型の研磨パッドに関する発明であって、
前記研磨パッド用両面粘着シートは、基材シートと、前記基材シートの一方の面に位置する第１粘着層と、前記基材シートの他方の面に位置する第２粘着層とを具備する研磨パッド用両面粘着シートであり、
前記第１粘着層は、［１］記載の研磨パッド用粘着剤から形成された粘着層である、複層型の研磨パッドに関する。
（【００１１】以降は省略されています）

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