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公開番号2025096158
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-26
出願番号2024192688
出願日2024-11-01
発明の名称通気弁及びそのような通気弁を装着した真空ポンプ
出願人プファイファー・ヴァキューム・テクノロジー・アクチエンゲゼルシャフト
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類F04D 19/04 20060101AFI20250619BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】従来技術の問題を考慮した真空ポンプ用の通気弁を提供する。
【解決手段】真空ポンプ111のハウジングにおける通気開口を開閉する通気弁10において、弁ハウジング12と弁要素14とを備え、弁ハウジングを貫通孔16が貫通し、貫通孔は、弁ハウジングの第1の軸方向の端面17から第2の軸方向の端面18へ延在するとともに雌ねじ山20を有し、弁要素は、雄ねじ山を持つねじ胴部22を有し、雄ねじ山によって、弁要素は、貫通開口の雌ねじ山にねじ込まれていて、ねじ胴部は、第1の端部25に、弁要素を作動させる回動駆動装置28を有し、かつ第1の端部とは反対側の第2の端部26に、弁プレート30を有し、弁プレートは、弁要素の第1の軸方向位置で、貫通孔を封止するために弁ハウジングの第2の端面に当接し、弁プレートは、弁要素の第2の軸方向位置で、第2の端面に対して間隔Aを有する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
真空ポンプ（１１１）、特にターボ分子真空ポンプ（１１１）のハウジング（１１９）における通気開口を開閉する通気弁（１０）において、
真空ポンプ（１１１）の通気開口に収容される弁ハウジング（１２）と、
前記弁ハウジング（１２）によって収容される弁要素（１４）と、
を備え、
前記弁ハウジング（１２）を貫通孔（１６）が貫通していて、前記貫通孔（１６）は、前記弁ハウジング（１２）の第１の軸方向の端面（１７）から第２の軸方向の端面（１８）へ延在するとともに雌ねじ山（２０）を有し、前記弁要素（１４）は、雄ねじ山（２４）を持つねじ胴部（２２）を有し、前記雄ねじ山（２４）によって、前記弁要素（１４）は、前記貫通孔（１６）の前記雌ねじ山（２０）にねじ込まれていて、前記ねじ胴部（２２）は、第１の端部（２５）に、前記弁ハウジング（１２）に対する前記弁要素（１４）の軸方向位置を変化させるために前記弁要素（１４）を作動させる回動駆動装置（２８）を有し、かつ前記第１の端部（２５）とは反対側の第２の端部（２６）に、弁プレート（３０）を有し、前記弁プレート（３０）は、前記弁要素（１４）の第１の軸方向位置で、前記貫通孔（１６）を封止するために前記弁ハウジング（１２）の第２の端面（１８）に当接し、前記弁プレート（３０）は、前記弁要素（１４）の第２の軸方向位置で、前記第２の端面（１８）に対して間隔（Ａ）を有する、通気弁（１０）。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記ねじ胴部（２２）は、軸方向チャネル（３２）を有し、前記軸方向チャネル（３２）は、第２の軸方向位置でのみ真空ポンプを通気するための、前記ねじ胴部（２２）を通る流体接続を実現する、請求項１に記載の通気弁（１０）。
【請求項３】
前記軸方向チャネル（３２）は、前記ねじ胴部（２２）の前記第１の端部（２５）に形成された開いた端部（３４）と閉じた端部（３６）とを具備する袋穴（３２）を有する、請求項１又は２に記載の通気弁（１０）。
【請求項４】
前記ねじ胴部（２２）には、略半径方向に向けられた少なくとも１つの半径方向孔（３８、４０）が形成されていて、前記半径方向孔（３８、４０）は、前記袋穴（３２）から分岐するとともに、前記第２の端部（２６）で、前記ねじ胴部（２２）から退出する、請求項３に記載の通気弁（１０）。
【請求項５】
前記ねじ胴部（２２）に、略半径方向に向けられた第１の半径方向孔（３８）と、略半径方向に向けられた少なくとも１つの第２の半径方向孔（４０）とが形成されていて、前記第１の半径方向孔（３８）は、その全体が、前記第２の半径方向孔（４０）よりも前記弁プレート（３０）の近くに位置する、請求項３又は４に記載の通気弁（１０）。
【請求項６】
前記第２の半径方向孔（４０）の孔直径は、前記第１の半径方向孔（３８）の孔直径よりも大きく、好ましくは、前記第２の半径方向孔（４０）の孔直径は、前記袋穴（３２）の孔直径以下である、請求項５に記載の通気弁（１０）。
【請求項７】
前記貫通孔（１６）は、円錐凹部（４２）を介して前記第２の軸方向の端面（１８）へ移行し、前記弁プレート（３０）は、前記第２の軸方向の端面（１８）に向いた側で、前記円錐凹部（４２）に対して補完的に形成された円錐台状の部分（４４）を有し、前記円錐台状の部分（４４）は、前記弁要素（１４）の第１の軸方向位置で、前記円錐凹部（４２）によって収容される、請求項１から６のいずれか一項に記載の通気弁（１０）。
【請求項８】
弁プレート（３０）は、前記第２の軸方向の端面（１８）に向いた側で、前記円錐台状の部分（４４）の半径方向外側で、リングシール（４６）を支持し、特に、前記リングシール（４６）は、前記リングシール（４６）に対して同心の鋼製の支持リング（４７）に加硫処理されている、請求項７に記載の通気弁（１０）。
【請求項９】
前記ねじ胴部（２２）は、前記第２の端部（２５）において前記弁プレート（３０）に隣接して周回する溝（４８）を有し、前記溝（４８）は、前記ねじ胴部（２２）の雄ねじ山（２４）のねじ山高さに一致する又は前記ねじ胴部（２２）の雄ねじ山（２４）のねじ山高さよりも大きい溝深さを有する、請求項１から８のいずれか一項に記載の通気弁（１０）。
【請求項１０】
前記ねじ胴部（２２）の前記雄ねじ山（２４）及び前記弁ハウジング（１２）の雌ねじ山（２０）は、左ねじのねじ山として形成されている、請求項１から９のいずれか一項に記載の通気弁（１０）。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプ、特にターボ分子真空ポンプのハウジングに形成された通気開口を選択的に開閉できる通気弁に関する。さらに本発明は、そのような通気弁が装着された真空ポンプに関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばターボ分子真空ポンプ等の真空ポンプは、通気開口を有することが多く、通気開口を通って、ポンプ又はポンプハウジング内に存在するポンプ段を雰囲気から到来する空気で通気できる。これにより、例えばポンプ段のロータの回転速度に的確に影響を及ぼすことができる。
【０００３】
現在使用されている真空ポンプでは、通気開口は、通常、シンプルな通気ねじによって閉じられる。通気ねじは、ねじ頭部の形態の回動駆動装置を介して手作業で緩めることができ、そうして通気開口が開放される。しかもその際、通気ねじは、通気開口から完全にねじ外され、その際、場合によってはポンプ運用者の設備内に落下する危険性がある。最悪の場合、通気ねじがもはや見つからず、その結果、新しい通気ねじが提供されるまで設備が停止する。
【０００４】
別の問題は、通気ねじが再び通気開口にねじ込む際に傾く可能性があり、このことが場合によっては通気開口のねじ山の損傷につながり得ることにある。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
したがって、本発明の根底をなす課題は、前述の問題を考慮した真空ポンプ、特にターボ分子真空ポンプ用の通気弁を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この課題は、真空ポンプ、特にターボ分子真空ポンプの通気開口を開閉するための通気弁によって解消され、この場合、通気弁は、請求項１の特徴において優れている。
【０００７】
従来慣用の通気ねじとは異なり、この通気弁は、主に２つの構成要素、すなわち弁ハウジングと弁要素とから構成されている。この場合、弁要素は、弁ハウジングによって紛失不能に収容され、これに対して弁ハウジング自体は、真空ポンプの通気開口に収容されるように構成されている。この場合、具体的には、弁ハウジングを貫通孔が貫通している。貫通孔は、弁ハウジングの、互いに反対に位置する２つの端面、すなわち第１の軸方向の端面と、第１の軸方向の端面とは反対側の第２の軸方向の端面とを互いに接続する。弁要素は、雄ねじ山を有するねじ胴部であり、雄ねじ山を介して、弁要素は、弁ハウジングの貫通孔内に形成された雌ねじ山にねじ込まれている。したがって、弁要素を回動させることによって、弁ハウジングに対する弁要素の軸方向位置を変化できる。
【０００８】
従来慣用の通気ねじと同様に、ねじ胴部にも、第１の端部に、例えばねじ頭部の形態の回動駆動装置を有し、回動駆動装置を介して、弁要素は手作業で回動でき、そうするとこれにより弁ハウジングに対する弁要素の軸方向位置を変化できる。その一方、別の端部で、ねじ胴部は、ねじ胴部と一体に形成された弁プレートを有する。弁プレートは、弁要素の第１の軸方向位置で、ハウジングの第２の軸方向の端面に、少なくとも間接的に当接し、これにより、そうして貫通孔が緊密に閉じられる。これに対して、弁要素の第２の軸方向位置では、弁プレートは、第２の端面に対して間隔を置いている。したがって、第２の軸方向位置では、貫通孔は、弁プレートによって閉じられていないので、貫通孔の雌ねじ山とねじ胴部の雄ねじ山との間の隙間に基づいて、雰囲気から到来する空気は、通気弁を通ってポンプの内部に流れることができる。
【０００９】
弁プレートが、弁プレートの、ねじ胴部の回動駆動装置とは反対側に位置する端部で、したがって真空ポンプの通気開口に組み込まれた状態で、真空ポンプ内に位置することによって、弁要素は、不意に弁ハウジングからねじ外れ、ひいてはポンプ運用者の設備内に落下することはない。むしろ、弁要素が「ねじ外される」と、その際、弁プレートは、弁要素の第１の軸方向位置で、弁ハウジングの第２の軸方向の端面に当接し、このことは、弁ハウジングから弁要素がさらにねじ外されるのを阻止する。
【００１０】
以下、本発明の好適な実施形態について説明する。別の実施形態は、従属請求項、図面の説明及び図面自体からも明らかであってよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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