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公開番号2025095365
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-26
出願番号2023211310
出願日2023-12-14
発明の名称情報処理方法、プログラム、情報処理装置及び情報処理システム
出願人東京エレクトロンデバイス株式会社
代理人個人,個人
主分類G05B 19/418 20060101AFI20250619BHJP(制御;調整)
要約【課題】各工程後の状態データに応じて工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定し、決定後の制御量により実行された工程後の状態に応じて当該制御量を調整することが可能な情報処理方法等を提供すること。
【解決手段】一つの側面に係る情報処理方法は、複数の工程中の工程後の状態を検出するセンサを介して状態データを取得し、取得した状態データに応じて、前記工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定し、決定後の制御量により実行された工程後の状態に応じて前記制御量を調整する処理を実行させることを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
複数の工程中の工程後の状態を検出するセンサを介して状態データを取得し、
取得した状態データに応じて、前記工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定し、
決定後の制御量により実行された工程後の状態に応じて前記制御量を調整する
情報処理方法。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
撮像装置により前記工程後の対象物の画像データを取得し、
取得した画像データに基づき、複数種類の状態から前記対象物の状態を特定し、
特定した状態に応じた状態量を特定し、
特定した状態及び状態量を含む状態データに応じて、前記工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定する
請求項１に記載の情報処理方法。
【請求項３】
前記状態データが閾値を超えた場合に、前記状態データ及び該状態データに対応する工程と、決定した制御量とを管理者に通知する
請求項１又は２に記載の情報処理方法。
【請求項４】
複数の前記状態データを時系列で取得し、
取得した時系列の複数の状態データに応じて、前記工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定する
請求項１又は２に記載の情報処理方法。
【請求項５】
前記時系列の複数の状態データが閾値を超えた場合に、前記時系列の複数の状態データ及び該時系列の複数の状態データに対応する工程と、決定した制御量とを管理者に通知する
請求項４に記載の情報処理方法。
【請求項６】
取得した状態データを入力した場合に、工程前の複数の制御項目に対する制御量を出力するよう学習された強化学習モデルに、取得した状態データを入力することにより、前記工程前の複数の制御項目に対する制御量を出力し、
出力された制御量により実行された前記工程後の状態データに応じた報酬に基づき、前記強化学習モデルをトレーニングする
請求項１又は２に記載の情報処理方法。
【請求項７】
取得した時系列の複数の状態データを入力した場合に、工程前の複数の制御項目に対する制御量を出力するよう学習された強化学習モデルに、取得した時系列の複数の状態データを入力することにより、前記工程前の複数の制御項目に対する制御量を出力し、
出力された制御量により実行された工程後の状態データに応じた報酬に基づき、前記強化学習モデルをトレーニングする
請求項１又は２に記載の情報処理方法。
【請求項８】
第１工程後の第１状態を検出するセンサを介して第１状態データを取得し、
第２工程後の第２状態を検出するセンサを介して第２状態データを取得し、
取得した第１状態データを入力した場合に、第１工程前の複数の制御項目に対する第１制御量を出力するよう学習された第１強化学習モデルに、取得した第１状態データを入力することにより、前記第１工程前の複数の制御項目に対する第１制御量を出力し、
取得した第２状態データを入力した場合に、第２工程前の複数の制御項目に対する第２制御量を出力するよう学習された第２強化学習モデルに、取得した第２状態データを入力することにより、前記第２工程前の複数の制御項目に対する第２制御量を出力する
請求項１又は２に記載の情報処理方法。
【請求項９】
出力した第１制御量により実行された前記第１工程後の第１状態データ、及び、出力した第２制御量により実行された前記第２工程後の第２状態データに応じた報酬に基づき、前記第１強化学習モデルをトレーニングする
請求項８に記載の情報処理方法。
【請求項１０】
複数の工程中の工程後の状態を検出するセンサを介して状態データを取得し、
取得した状態データに応じて、前記工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定し、
決定後の制御量により実行された工程後の状態に応じて前記制御量を調整する
処理をコンピュータに実行させるプログラム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、情報処理方法、プログラム、情報処理装置及び情報処理システムに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、製造または生産等を最適化する技術の開発が盛んに進められている。例えば特許文献１には、原材料から生産物を生産する複数の生産工程のうちの対象とする対象生産工程における操業データ（生産要素に関するデータ）及び品質データ（下流生産物の品質に基づき対象生産工程における生産要素を評価するフィードバックデータ）を解析した解析結果に基づき、当該対象生産工程における生産要素を制御する制御情報を決定する生産管理システムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－０４６３６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に係る発明は、生産要素を制御する制御情報（制御量）を決定するために、対象生産工程における生産要素を評価する品質データ（フィードバックデータ）を下流生産物の品質から収集することが必要となる。よって、各工程後（工程の直後）の状態データに応じて工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定し、決定後の制御量により実行された工程後の状態に応じて当該制御量を調整することができないという問題がある。
【０００５】
一つの側面では、各工程後の状態データに応じて工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定し、決定後の制御量により実行された工程後の状態に応じて当該制御量を調整することが可能な情報処理方法等を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一つの側面に係る情報処理方法は、複数の工程中の工程後の状態を検出するセンサを介して状態データを取得し、取得した状態データに応じて、前記工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定し、決定後の制御量により実行された工程後の状態に応じて前記制御量を調整する処理を実行させることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
一つの側面では、各工程後の状態データに応じて工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定し、決定後の制御量により実行された工程後の状態に応じて当該制御量を調整することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
自動化運転システムの概要を示す説明図である。
制御装置の構成例を示すブロック図である。
状態データＤＢのレコードレイアウトの一例を示す説明図である。
制御量参照ＤＢのレコードレイアウトの一例を示す説明図である。
閾値ＤＢのレコードレイアウトの一例を示す説明図である。
管理者端末の構成例を示すブロック図である。
チョコレートの製造ライン（製造過程）の一例を示す説明図である。
因果ダイアグラムの作成方法を説明するための模式図である。
制御項目に対する制御量の調整画面の一例を示す説明図である。
制御項目に対して制御量を調整する説明図である。
工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定する際の処理手順を示すフローチャートである。
状態データを取得する処理のサブルーチンの処理手順を示すフローチャートである。
工程後の状態に応じて制御量を調整する際の処理手順を示すフローチャートである。
変形例１における工程前の複数の制御項目に対する制御量を決定する際の処理手順を示すフローチャートである。
実施形態２における制御部の構成例を示すブロック図である。
制御量決定モデルの構成の一例を示す模式図である。
行動の一例を示す説明図である。
制御量決定モデルの強化学習を行う際の処理手順を示すフローチャートである。
変形例２における制御量決定モデルの構成の一例を示す模式図である。
変形例２における制御量決定モデルの強化学習を行う際の処理手順を示すフローチャートである。
工程別に制御量を調整する処理を説明する説明図である。
第１工程及び第２工程における制御量を決定する際の処理手順を示すフローチャートである。
第１制御量決定モデルの強化学習を行う際の処理手順を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明をその実施形態を示す図面に基づいて詳述する。
【００１０】
（実施形態１）
実施形態１は、複数の工程中の工程後（工程が実行された後）の状態データに応じて、工程前（工程が実行される前）の複数の制御項目に対する制御量を決定し、決定後の制御量により実行された工程後の状態に応じて当該制御量を調整する形態に関する。
（【００１１】以降は省略されています）

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