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公開番号2025088281
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-11
出願番号2023202885
出願日2023-11-30
発明の名称真空ポンプ
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類F04C 29/00 20060101AFI20250604BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】機械損失を低減でき、かつ低コストである真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、吸込口と吐出口を有するケーシングと、前記ケーシング内に配置され、モータの回転軸に取り付けられたロータと、前記モータと前記ロータとの間に配置され、前記回転軸を回転可能に支持する第1軸受と、前記ロータに対して前記モータとは逆側に配置され、前記回転軸を回転可能に支持する第2軸受と、を備える。前記第1軸受は、永久磁石形磁気軸受である。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
吸込口と吐出口を有するケーシングと、
前記ケーシング内に配置され、モータの回転軸に取り付けられたロータと、
前記モータと前記ロータとの間に配置され、前記回転軸を回転可能に支持する第１軸受と、
前記ロータに対して前記モータとは逆側に配置され、前記回転軸を回転可能に支持する第２軸受と、
を備え、
前記第１軸受は、永久磁石形磁気軸受である
ことを特徴とする真空ポンプ。
続きを表示（約 580 文字）【請求項２】
前記モータは、ラジアルギャップ型モータである、
請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項３】
前記モータは、アキシャルギャップ型モータである、
請求項１に記載の真空ポンプ。
【請求項４】
前記第１軸受は、前記回転軸に固定された内側磁石と、前記内側磁石に対して半径方向外側に配置され、前記ケーシングに固定された外側磁石とを有し、
前記内側磁石は前記外側磁石に対して前記第２軸受側にずれて配置されており、前記内側磁石と前記外側磁石との間の軸方向の反発力により前記回転軸は前記第２軸受側に向かって付勢されている、
ことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項５】
前記モータに対して前記ロータとは逆側に配置され、前記回転軸を回転可能に支持する第３軸受をさらに備える、
ことを特徴とする請求項２に記載の真空ポンプ。
【請求項６】
前記内側磁石および外側磁石は、それぞれ、軸方向に積層された複数の単位磁石を有する
ことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の真空ポンプ。
【請求項７】
前記第２軸受は、永久磁石形磁気軸受である
ことを特徴とする請求項１～３のいずれかに記載の真空ポンプ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、真空ポンプに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、真空ポンプは、たとえば半導体製造装置が配置される真空チャンバ内のプロセスガスを排気するために使用されている。一般に、半導体製造工程では、真空チャンバ内が清浄な雰囲気であることが要求される。そのため、真空ポンプとして、ポンプ内部のガス流路に油を使用しないドライ真空ポンプが用いられている。このようなドライ真空ポンプとして、たとえば２軸ルーツ型の容積式ドライ真空ポンプなどが知られている。
【０００３】
２軸ルーツ型の容積式ドライ真空ポンプは、対向する一対のルーツ型のロータをケーシング内に備え、これらのロータ間およびロータとケーシングとの隙間が微小になるようにクリアランスが設けられる。そして、この一対のロータが同期反転することにより、吸気口から入ったプロセスガスがロータとケーシングとの間に形成された空間に閉じ込められて排気口側に移送される。
【０００４】
特許文献１には、ロータの回転軸を支持する軸受としてセラミックボール軸受を採用したドライ真空ポンプが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１０－１２７１５７公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、高速で回転する回転体をボール軸受で支持する場合、軸受の径が大きくなるため、機械損失が大きくなり、回転数に制限がかかる。
【０００７】
本発明は、以上のような点を考慮してなされたものでる。本発明の目的は、機械損失を低減でき、かつ低コストである真空ポンプを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様に係る真空ポンプは、
吸込口と吐出口を有するケーシングと、
前記ケーシング内に配置され、モータの回転軸に取り付けられたロータと、
前記モータと前記ロータとの間に配置され、前記回転軸を回転可能に支持する第１軸受と、
前記ロータに対して前記モータとは逆側に配置され、前記回転軸を回転可能に支持する第２軸受と、
を備え、
前記第１軸受は、永久磁石形磁気軸受（ＰｅｒｍａｎｅｎｔＭａｇｎｅｔｉｃＢｅａｒｉｎｇ；ＰＭＢ）である。
【０００９】
このような態様によれば、第１軸受が永久磁石形磁気軸受であるため、機械式軸受の場合に比べて、機械損失を低減でき、ロータを高速回転させることが可能である。また、制御形磁気軸受の場合に比べて、軸受の制御が不要であり、低コストである。
【００１０】
本発明の第２の態様に係る真空ポンプは、第１の態様に係る真空ポンプであって、
前記モータは、ラジアルギャップ型モータである。
（【００１１】以降は省略されています）

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