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公開番号2025088073
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-11
出願番号2023202523
出願日2023-11-30
発明の名称振動片及び振動デバイス
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H03H 9/19 20060101AFI20250604BHJP(基本電子回路)
要約【課題】G感度特性とエージング特性に優れた振動片及び振動デバイスを提供する。
【解決手段】振動片3は、Y’’軸に直交した面を有するSCカット水晶基板からなり、スリット34の第1部分35の励振電極38側の外縁からSCカット水晶基板の第1方向における他方の端部までの長さをLx、第2部分36の第1方向における長さをL1としたとき、0.85≦L1/Lx≦0.97の関係を満たす。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のＸ軸の回りに所定角度回転し、この回転により得られた新たな直交座標系（Ｘ，Ｙ’，Ｚ’）のＺ’軸の回りに所定角度回転した直交座標系（Ｘ’，Ｙ’’，Ｚ’）のＹ’’軸に直交した面を有するＳＣカット水晶基板からなり、
表裏関係にある第１面及び第２面を含み、
平面視で、第１方向における一方の端部側に設けられ、前記第１面側が容器に取り付けられる支持部と、
平面視で、前記支持部と前記第１方向に沿って並んでおり、励振電極が配置された励振部と、
スリットと、を含み、
前記第２面側からの平面視において、前記第１方向における一方の端部が向かって左側、前記第１方向における他方の端部が向かって右側となるよう配置したとき、
前記スリットは、
前記支持部と前記励振電極との間に設けられ、前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って延びた第１部分と、
前記第１部分の前記第２方向における上側の端に接続し、前記励振電極の前記第２方向における上側の外縁側に配置され、前記第１方向に沿って延びた第２部分と、を含み、
前記スリットの前記第１部分の前記励振電極側の外縁から前記ＳＣカット水晶基板の前記第１方向における他方の端部までの長さをＬｘ、前記第２部分の前記第１方向における長さをＬ１としたとき、
０．８５≦Ｌ１／Ｌｘ≦０．９７
の関係を満たす、
振動片。
続きを表示（約 2,400 文字）【請求項２】
直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のＸ軸の回りに所定角度回転し、この回転により得られた新たな直交座標系（Ｘ，Ｙ’，Ｚ’）のＺ’軸の回りに所定角度回転した直交座標系（Ｘ’，Ｙ’’，Ｚ’）のＹ’’軸に直交した面を有するＳＣカット水晶基板からなり、
表裏関係にある第１面及び第２面を含み、
平面視で、第１方向における一方の端部側に設けられ、前記第１面側が容器に取り付けられる支持部と、
平面視で、前記支持部と前記第１方向に沿って並んでおり、励振電極が配置された励振部と、
スリットと、を含み、
前記第２面側からの平面視において、前記第１方向における一方の端部が向かって左側、前記第１方向における他方の端部が向かって右側となるよう配置したとき、
前記スリットは、
前記支持部と前記励振電極との間に設けられ、前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って延びた第１部分と、
前記第１部分の前記第２方向における下側の端に接続し、前記励振電極の前記第２方向における下側の外縁側に配置され、前記第１方向に沿って延びた第３部分と、を含み、
前記スリットの前記第１部分の前記励振電極側の外縁から前記ＳＣカット水晶基板の前記第１方向における他方の端部までの長さをＬｘ、前記第３部分の前記第１方向における長さをＬ２としたとき、
０．３８≦Ｌ２／Ｌｘ≦０．８２
の関係を満たす、
振動片。
【請求項３】
請求項２において、
０．４８≦Ｌ２／Ｌｘ≦０．７４
の関係を満たす、
振動片。
【請求項４】
直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のＸ軸の回りに所定角度回転し、この回転により得られた新たな直交座標系（Ｘ，Ｙ’，Ｚ’）のＹ’軸に直交した面を有するＡＴカット水晶基板からなり、
表裏関係にある第１面及び第２面を含み、
平面視で、第１方向における一方の端部側に設けられ、前記第１面側が容器に取り付けられる支持部と、
平面視で、前記支持部と前記第１方向に沿って並んでおり、励振電極が配置された励振部と、
スリットと、を含み、
前記第２面側からの平面視において、前記第１方向における一方の端部が向かって左側、前記第１方向における他方の端部が向かって右側となるよう配置したとき、
前記スリットは、
前記支持部と前記励振電極との間に設けられ、前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って延びた第１部分と、
前記第１部分の前記第２方向における上側の端に接続し、前記励振電極の前記第２方向における上側の外縁側に配置され、前記第１方向に沿って延びた第２部分と、を含み、
前記スリットの前記第１部分の前記励振電極側の外縁から前記ＡＴカット水晶基板の前記第１方向における他方の端部までの長さをＬｘ、前記第２部分の前記第１方向における長さをＬ３としたとき、
０．２７≦Ｌ３／Ｌｘ≦０．９５
の関係を満たす、
振動片。
【請求項５】
直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のＸ軸の回りに所定角度回転し、この回転により得られた新たな直交座標系（Ｘ，Ｙ’，Ｚ’）のＹ’軸に直交した面を有するＡＴカット水晶基板からなり、
表裏関係にある第１面及び第２面を含み、
平面視で、第１方向における一方の端部側に設けられ、前記第１面側が容器に取り付けられる支持部と、
平面視で、前記支持部と前記第１方向に沿って並んでおり、励振電極が配置された励振部と、
スリットと、を含み、
前記第２面側からの平面視において、前記第１方向における一方の端部が向かって左側、前記第１方向における他方の端部が向かって右側となるよう配置したとき、
前記スリットは、
前記支持部と前記励振電極との間に設けられ、前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って延びた第１部分と、
前記第１部分の前記第２方向における下側の端に接続し、前記励振電極の前記第２方向における下側の外縁側に配置され、前記第１方向に沿って延びた第３部分と、を含み、
前記スリットの前記第１部分の前記励振電極側の外縁から前記ＡＴカット水晶基板の前記第１方向における他方の端部までの長さをＬｘ、前記第３部分の前記第１方向における長さをＬ４としたとき、
０．２７≦Ｌ４／Ｌｘ≦０．９５
の関係を満たす、
振動片。
【請求項６】
請求項４において、
０．６０≦Ｌ３／Ｌｘ≦０．８８
の関係を満たす、
振動片。
【請求項７】
請求項５において、
０．６１≦Ｌ４／Ｌｘ≦０．８８
の関係を満たす、
振動片。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７の何れかにおいて、
前記スリットは、前記第１面から、前記第２面まで貫通している、
振動片。
【請求項９】
請求項１乃至請求項７の何れかにおいて、
前記支持部は、
前記振動片の前記第１面に配置された第１接続電極及び第２接続電極を含み、
前記第１接続電極と前記第２接続電極とは、前記振動片の一辺に沿って並んで配置されている、
振動片。
【請求項１０】
請求項１乃至請求項７の何れかにおいて、
前記支持部は、
前記振動片の前記第１面に配置された第１接続電極と、前記第２面に配置された第２接続電極と、を含み、
前記第１接続電極と前記第２接続電極とは、平面視で重なる部分を有する、
振動片。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片及び振動デバイスに関する。
続きを表示（約 2,800 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１には、環状の支持腕部と、支持腕部の内周の一部から延出した振動部と、支持腕部の一部と向かい合う他部側に配置された固定部と、振動部の先端部と支持腕部とを繋ぐ連結部と、を備えた振動片が開示されている。また、振動部と支持腕部との隙間がＬ字状となり、振動部と固定部との間に隙間を配置した振動片も開示されている。この構成により、固定部における周囲の温度変化に伴う熱応力が振動部に伝達され難くなり、温度ヒステリシス特性が改善する効果が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１２－１３４８２４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の振動片は、固定部からの熱応力の影響を低減しているが、Ｇ感度特性については何ら考慮されていないという課題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
振動片は、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のＸ軸の回りに所定角度回転し、この回転により得られた新たな直交座標系（Ｘ，Ｙ’，Ｚ’）のＺ’軸の回りに所定角度回転した直交座標系（Ｘ’，Ｙ’’，Ｚ’）のＹ’’軸に直交した面を有するＳＣカット水晶基板からなり、表裏関係にある第１面及び第２面を含み、平面視で、第１方向における一方の端部側に設けられ、前記第１面側が容器に取り付けられる支持部と、平面視で、前記支持部と前記第１方向に沿って並んでおり、励振電極が配置された励振部と、スリットと、を含み、前記第２面側からの平面視において、前記第１方向における一方の端部が向かって左側、前記第１方向における他方の端部が向かって右側となるよう配置したとき、前記スリットは、前記支持部と前記励振電極との間に設けられ、前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って延びた第１部分と、前記第１部分の前記第２方向における上側の端に接続し、前記励振電極の前記第２方向における上側の外縁側に配置され、前記第１方向に沿って延びた第２部分と、を含み、前記スリットの前記第１部分の前記励振電極側の外縁から前記ＳＣカット水晶基板の前記第１方向における他方の端部までの長さをＬｘ、前記第２部分の前記第１方向における長さをＬ１としたとき、０．８５≦Ｌ１／Ｌｘ≦０．９７の関係を満たす。
【０００６】
振動片は、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のＸ軸の回りに所定角度回転し、この回転により得られた新たな直交座標系（Ｘ，Ｙ’，Ｚ’）のＺ’軸の回りに所定角度回転した直交座標系（Ｘ’，Ｙ’’，Ｚ’）のＹ’’軸に直交した面を有するＳＣカット水晶基板からなり、表裏関係にある第１面及び第２面を含み、平面視で、第１方向における一方の端部側に設けられ、前記第１面側が容器に取り付けられる支持部と、平面視で、前記支持部と前記第１方向に沿って並んでおり、励振電極が配置された励振部と、スリットと、を含み、前記第２面側からの平面視において、前記第１方向における一方の端部が向かって左側、前記第１方向における他方の端部が向かって右側となるよう配置したとき、前記スリットは、前記支持部と前記励振電極との間に設けられ、前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って延びた第１部分と、前記第１部分の前記第２方向における下側の端に接続し、前記励振電極の前記第２方向における下側の外縁側に配置され、前記第１方向に沿って延びた第３部分と、を含み、前記スリットの前記第１部分の前記励振電極側の外縁から前記ＳＣカット水晶基板の前記第１方向における他方の端部までの長さをＬｘ、前記第３部分の前記第１方向における長さをＬ２としたとき、０．３８≦Ｌ２／Ｌｘ≦０．８２の関係を満たす。
【０００７】
振動片は、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のＸ軸の回りに所定角度回転し、この回転により得られた新たな直交座標系（Ｘ，Ｙ’，Ｚ’）のＹ’軸に直交した面を有するＡＴカット水晶基板からなり、表裏関係にある第１面及び第２面を含み、平面視で、第１方向における一方の端部側に設けられ、前記第１面側が容器に取り付けられる支持部と、平面視で、前記支持部と前記第１方向に沿って並んでおり、励振電極が配置された励振部と、スリットと、を含み、前記第２面側からの平面視において、前記第１方向における一方の端部が向かって左側、前記第１方向における他方の端部が向かって右側となるよう配置したとき、前記スリットは、前記支持部と前記励振電極との間に設けられ、前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って延びた第１部分と、前記第１部分の前記第２方向における上側の端に接続し、前記励振電極の前記第２方向における上側の外縁側に配置され、前記第１方向に沿って延びた第２部分と、を含み、前記スリットの前記第１部分の前記励振電極側の外縁から前記ＡＴカット水晶基板の前記第１方向における他方の端部までの長さをＬｘ、前記第２部分の前記第１方向における長さをＬ３としたとき、０．２７≦Ｌ３／Ｌｘ≦０．９５の関係を満たす。
【０００８】
振動片は、直交座標系（Ｘ，Ｙ，Ｚ）のＸ軸の回りに所定角度回転し、この回転により得られた新たな直交座標系（Ｘ，Ｙ’，Ｚ’）のＹ’軸に直交した面を有するＡＴカット水晶基板からなり、表裏関係にある第１面及び第２面を含み、平面視で、第１方向における一方の端部側に設けられ、前記第１面側が容器に取り付けられる支持部と、平面視で、前記支持部と前記第１方向に沿って並んでおり、励振電極が配置された励振部と、スリットと、を含み、前記第２面側からの平面視において、前記第１方向における一方の端部が向かって左側、前記第１方向における他方の端部が向かって右側となるよう配置したとき、前記スリットは、前記支持部と前記励振電極との間に設けられ、前記第１方向に対して交差する第２方向に沿って延びた第１部分と、前記第１部分の前記第２方向における下側の端に接続し、前記励振電極の前記第２方向における下側の外縁側に配置され、前記第１方向に沿って延びた第３部分と、を含み、前記スリットの前記第１部分の前記励振電極側の外縁から前記ＡＴカット水晶基板の前記第１方向における他方の端部までの長さをＬｘ、前記第３部分の前記第１方向における長さをＬ４としたとき、０．２７≦Ｌ４／Ｌｘ≦０．９５の関係を満たす。
【０００９】
振動デバイスは、上記に記載のＳＣカット水晶基板からなる振動片と、前記振動片の前記支持部が取り付けられた容器と、を備えている。
【００１０】
振動デバイスは、上記に記載のＡＴカット水晶基板からなる振動片と、前記振動片の前記支持部が取り付けられた容器と、を備えている。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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