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公開番号2025083693
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-02
出願番号2023197220
出願日2023-11-21
発明の名称弾性波装置
出願人株式会社村田製作所
代理人弁理士法人大阪フロント特許事務所
主分類H03H 9/145 20060101AFI20250526BHJP(基本電子回路)
要約【課題】メインモード以外の特性の変化を招かずして、比帯域を容易に調整することができ、かつ小型化を進めることができる、弾性波装置を提供する。
【解決手段】本発明の弾性波装置1は、圧電体層4と、圧電体層4上に設けられており、複数の電極指(複数の第1の電極指18及び複数の第2の電極指)を有するIDT電極5と、圧電体層4上に、IDT電極5を覆うように設けられている誘電体膜6とを備える。複数の電極指が延びる方向と直交する方向から見たときに、隣り合う電極指同士が重なり合っている領域が交叉領域である。弾性波装置1は、少なくとも一部が誘電体膜6に埋め込まれており、平面視において、少なくとも一部が交叉領域と重なっており、平面視において、全体が複数の電極指と重なっておらず、密度が誘電体膜6の密度よりも高く、厚みが複数の電極指の厚みよりも薄い、薄膜層7をさらに備える。誘電体膜6の厚み方向における互いに異なる位置に、複数の電極指及び薄膜層7が位置している。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
圧電体層と、
前記圧電体層上に設けられており、複数の電極指を有するＩＤＴ電極と、
前記圧電体層上に、前記ＩＤＴ電極を覆うように設けられている誘電体膜と、
を備え、
前記複数の電極指が延びる方向と直交する方向から見たときに、隣り合う前記電極指同士が重なり合っている領域が交叉領域であり、
少なくとも一部が前記誘電体膜に埋め込まれており、平面視において、少なくとも一部が前記交叉領域と重なっており、平面視において、全体が前記複数の電極指と重なっておらず、密度が前記誘電体膜の密度よりも高く、厚みが前記複数の電極指の厚みよりも薄い、薄膜層をさらに備え、
前記誘電体膜の厚み方向における互いに異なる位置に、前記複数の電極指及び前記薄膜層が位置している、弾性波装置。
続きを表示（約 410 文字）【請求項２】
前記誘電体膜が、前記圧電体層上に設けられている第１の誘電体膜と、前記第１の誘電体膜上に設けられている第２の誘電体膜と、を有し、
前記第１の誘電体膜の材料と前記第２の誘電体膜の材料とが互いに異なる、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記薄膜層の全体が前記誘電体膜に埋め込まれている、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記薄膜層の材料と、前記電極指の少なくとも一部の材料とが同じである、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記電極指が複数の金属層を有し、
前記薄膜層の材料と、前記複数の金属層のうちいずれかの金属層の材料とが同じである、請求項４に記載の弾性波装置。
【請求項６】
支持基板をさらに備え、
前記支持基板上に前記圧電体層が設けられている、請求項１に記載の弾性波装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、弾性波装置は、携帯電話機のフィルタなどに広く用いられている。下記の特許文献１においては、弾性波装置としての弾性境界波デバイスの一例が開示されている。この弾性波装置においては、圧電基板上に絶縁層が設けられている。圧電基板及び絶縁層の境界面に、櫛形電極が設けられている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００９－２１８７６１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された弾性波装置などにおいて、小型化や比帯域の調整を行う場合には、加工の条件や櫛形電極の設計を変更する必要がある。しかしながら、加工の条件や櫛形電極の設計の変更を行うと、メインモード以外の特性も変化しがちである。
【０００５】
例えば、櫛形電極において、デューティ比を大きくすることによって弾性波装置の小型化を図る場合、メインモードが生じる周波数及び不要波が生じる周波数の差も変化する。あるいは、櫛形電極の厚みを厚くすることにより、弾性波の音速を低くし、弾性波装置の小型化を図る場合、櫛形電極の加工のばらつきが大きくなり、歩留りが低くなるおそれがある。他にも、加工の条件や櫛形電極の設計の変更を行う場合、高次モードなどの不要波が生じる周波数や、ストップバンドの周波数が変化することがある。そのため、弾性波装置をフィルタ装置などに用いた場合、フィルタ装置などの通過帯域内における特性が劣化するおそれがある。
【０００６】
本発明の目的は、メインモード以外の特性の変化を招かずして、比帯域を容易に調整することができ、かつ小型化を進めることができる、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明に係る弾性波装置は、圧電体層と、前記圧電体層上に設けられており、複数の電極指を有するＩＤＴ電極と、前記圧電体層上に、前記ＩＤＴ電極を覆うように設けられている誘電体膜とを備え、前記複数の電極指が延びる方向と直交する方向から見たときに、隣り合う前記電極指同士が重なり合っている領域が交叉領域であり、少なくとも一部が前記誘電体膜に埋め込まれており、平面視において、少なくとも一部が前記交叉領域と重なっており、平面視において、全体が前記複数の電極指と重なっておらず、密度が前記誘電体膜の密度よりも高く、厚みが前記複数の電極指の厚みよりも薄い、薄膜層をさらに備え、前記誘電体膜の厚み方向における互いに異なる位置に、前記複数の電極指及び前記薄膜層が位置している。
【発明の効果】
【０００８】
本発明に係る弾性波装置によれば、メインモード以外の特性の変化を招かずして、比帯域を容易に調整することができ、かつ小型化を進めることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。
本発明の第１の実施形態におけるＩＤＴ電極の構成を説明するための、圧電体層における第１の主面上の電極構成を示す模式的平面図である。
図１中のＩ－Ｉ線に沿う、１本の電極指付近を示す模式的断面図である。
本発明の第１の実施形態及び比較例におけるインピーダンス周波数特性を示す図である。
本発明の第１の実施形態の第１の変形例におけるＩＤＴ電極及び薄膜層の模式的斜視図である。
本発明の第１の実施形態の第２の変形例におけるＩＤＴ電極及び薄膜層の模式的斜視図である。
本発明の第１の実施形態の第３の変形例に係る弾性波装置の模式的平面図である。
本発明の第１の実施形態の第４の変形例における、１本の電極指付近を示す模式的正面断面図である。
本発明の第１の実施形態の第５の変形例における、１本の電極指付近を示す模式的正面断面図である。
本発明の第２の実施形態における、１本の電極指付近を示す模式的正面断面図である。
本発明の第２の実施形態の変形例における、１本の電極指付近を示す模式的正面断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
（【００１１】以降は省略されています）

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