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公開番号2025087784
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2025032878,2022516540
出願日2025-03-03,2020-04-22
発明の名称加工システム
出願人株式会社ニコン
代理人個人
主分類B23K 26/064 20140101AFI20250603BHJP(工作機械;他に分類されない金属加工)
要約【課題】加工対象となっている物体を適切に加工可能な加工システムを提供する。
【解決手段】加工システムは、エネルギビームを用いて物体を加工する加工システムであって、集光光学系を有し、集光光学系の瞳面に入射するエネルギビームを集光して物体に照射する照射光学系と、物体からの光を含む物体光を、集光光学系を介して検出する検出装置とを備え、集光光学系内での物体光の経路の少なくとも一部は、集光光学系内でのエネルギビームの経路の少なくとも一部と異なる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
エネルギビームを用いて物体を加工する加工システムであって、
集光光学系を有し、前記集光光学系の瞳面に入射するエネルギビームを集光して前記物体に照射する照射光学系と、
前記物体からの光を含む物体光を、前記集光光学系を介して検出する検出装置と
を備え、
前記集光光学系内での前記物体光の経路の少なくとも一部は、前記集光光学系内での前記エネルギビームの経路の少なくとも一部と異なる
加工システム。
続きを表示（約 870 文字）【請求項２】
前記集光光学系内での前記物体光の前記経路と、前記集光光学系内での前記エネルギビームの前記経路とは重畳しない
請求項１に記載の加工システム。
【請求項３】
前記瞳面上で前記エネルギビームが通過する領域と、前記瞳面上で前記物体光が通過する領域とは異なる
請求項１又は２に記載の加工システム。
【請求項４】
前記瞳面上において、前記エネルギビームが通過する前記領域と、前記物体光が通過する前記領域とは重畳しない
請求項３に記載の加工システム。
【請求項５】
前記集光光学系は、前記物体に対して異なる方向から複数のエネルギビームを照射する
請求項１から４のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項６】
前記複数のエネルギビームは、前記集光光学系の光軸を中心とする回転方向において異なる位置から前記物体に照射される
請求項５に記載の加工システム。
【請求項７】
前記複数のエネルギビームのうち第１エネルギビームと前記集光光学系の光軸とのなす第１角度と、前記複数のエネルギビームのうち第２エネルギビームと前記光軸とのなす第２角度とは互いに異なる
請求項５又は６に記載の加工システム。
【請求項８】
前記検出装置は、前記物体と前記集光光学系との間で前記複数のエネルギビームが通過する光路とは異なる光路を進行する前記物体光を受光する
請求項１から７のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項９】
前記検出装置は、前記集光光学系を介して前記物体に照明光を照射する照明装置をさらに備える
請求項１から８のいずれか一項に記載の加工システム。
【請求項１０】
前記照明光が照射される前記物体上の領域は、前記エネルギビームが照射される前記物体上の領域を含む
請求項９に記載の加工システム。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、例えば、物体を加工する加工システムの技術分野に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
物体を加工する加工システムの一例が、特許文献１に記載されている。具体的には、特許文献１には、物体の一例であるワークに材料粉末を供給すると共にレーザ光を照射することにより、ワークに付加加工を行う加工システムが記載されている。このような加工システムが有する技術的課題の一つとして、加工対象となっている物体を適切に加工することがあげられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
米国特許出願公開第２０１９／２７０２４６号明細書
【発明の概要】
【０００４】
第１の態様によれば、エネルギビームを用いて物体を加工する加工システムであって、集光光学系を有し、前記集光光学系の瞳面に入射するエネルギビームを集光して前記物体に照射する照射光学系と、前記物体からの光を含む物体光を、前記集光光学系を介して検出する検出装置とを備え、前記集光光学系内での前記物体光の経路の少なくとも一部は、前記集光光学系内での前記エネルギビームの経路の少なくとも一部と異なる加工システムが提供される。
【０００５】
第２の態様によれば、エネルギビームを用いて物体を加工する加工システムであって、前記エネルギビームとして、複数のエネルギビームを前記物体に照射する照射光学系と、前記複数のエネルギビームのうち少なくとも一つの特性を個別に変更するビーム特性変更装置とを備える加工システムが提供される。
【０００６】
第３の態様によれば、エネルギビームを用いて物体を加工する加工システムであって、前記エネルギビームとして、複数のエネルギビームを前記物体に照射する照射光学系と、前記複数のエネルギビームのうち少なくとも一つの特性を変更するビーム特性変更装置とを備え、前記複数のエネルギビームのうちの第１エネルギビームの特性は、前記複数のエネルギビームのうちの第２エネルギビームの特性と異なる加工システムが提供される。
【０００７】
第４の態様によれば、エネルギビームを用いて物体を加工する加工システムであって、前記エネルギビームとして、複数のエネルギビームを前記物体に照射する照射光学系と、前記複数のエネルギビームのうち少なくとも一つの特性を変更するビーム特性変更装置とを備え、前記ビーム特性変更装置は、前記複数のエネルギビームのうちの第１エネルギビームの特性を、第２エネルギビームの特性と異なるように設定可能である加工システムが提供される。
【０００８】
第５の態様によれば、エネルギビームを用いて物体を加工する加工システムであって、前記エネルギビームとして、複数のエネルギビームを前記物体に照射する照射光学系と、前記複数のエネルギビームのうちの第１エネルギビームの特性を、前記複数のエネルギビームのうちの第２エネルギビームの特性と異なるように設定可能であるビーム特性設定装置とを備える加工システムが提供される。
【０００９】
第６の態様によれば、エネルギビームを用いて物体を加工する加工システムであって、前記エネルギビームとして、複数のエネルギビームを前記物体に照射する照射光学系と、前記複数のエネルギビームが重畳される面と前記物体の表面との距離を変更して前記物体の前記表面での前記エネルギビームの分布を変更する距離変更装置とを備える加工システムが提供される。
【００１０】
本発明の作用及び他の利得は次に説明する実施するための形態から明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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