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公開番号2025087461
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2023202138
出願日2023-11-29
発明の名称吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法
出願人キヤノントッキ株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類H01L 21/68 20060101AFI20250603BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】被吸着体を良好に静電チャックに吸着させること。
【解決手段】吸着装置は、第1の主面と、該第1の主面とは反対側の第2の主面と、を有する被吸着体の、前記第1の主面の周縁部を支持する支持ユニットと、前記被吸着体の前記第2の主面側から前記被吸着体を吸着する吸着手段と、吸着手段に設けられており、前記被吸着体を前記被吸着体の前記第2の主面側から押圧するための複数の押圧部材とを、有し、前記複数の押圧部材は、前記被吸着体の前記第2の主面が有する複数の角部のうちの少なくとも2つの角部に対応する位置にそれぞれ配置されていることを特徴とする。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１の主面と、該第１の主面とは反対側の第２の主面と、を有する被吸着体の、前記第１の主面の周縁部を支持する支持ユニットと、
前記被吸着体の前記第２の主面側から前記被吸着体を吸着する吸着手段と、
前記吸着手段に設けられており、前記被吸着体を前記被吸着体の前記第２の主面側から押圧するための複数の押圧部材と、を有し、
前記複数の押圧部材は、前記被吸着体の前記第２の主面が有する複数の角部のうちの少なくとも２つの角部に対応する位置にそれぞれ配置されている
ことを特徴とする吸着装置。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
第１の主面と、該第１の主面とは反対側の第２の主面と、を有する被吸着体の、前記第１の主面の周縁部を支持する支持ユニットと、
前記被吸着体の前記第２の主面側から前記被吸着体を吸着する吸着手段と、
前記吸着手段に設けられており、前記吸着手段が前記被吸着体を吸着する前に、前記被吸着体を前記被吸着体の前記第２の主面側から押圧するための押圧部材と、を有し、
前記支持ユニットが前記被吸着体を支持する前記第１の主面上の領域である支持領域と、前記押圧部材が前記被吸着体を押圧する前記第２の主面上の領域である押圧領域は、前記第１の主面または前記第２の主面に垂直な方向から見たとき、重畳せず、
前記押圧部材は、前記被吸着体の前記第２の主面が有する角部に対応する位置に配置されている
ことを特徴とする吸着装置。
【請求項３】
前記吸着手段は、
前記押圧部材を鉛直方向に移動させるための回転を生成する駆動源と、前記回転を伝達する伝達機構と、前記伝達機構により伝達された前記回転を並進方向の移動に変換する変換部と、前記押圧部材とを有する被吸着体押圧機構を備え、
前記押圧部材は、前記変換部により変換された並進方向の移動に基づいて、前記鉛直方向に移動することを特徴とする請求項１または２に記載の吸着装置。
【請求項４】
前記駆動源は、前記押圧部材を鉛直下方に移動させるための第１方向の回転を生成し、
前記押圧部材が、前記伝達機構により伝達された前記第１方向の回転に基づいて前記鉛直下方に移動することにより、当該押圧部材の端部は、前記被吸着体の前記第２の主面側を吸着する前記吸着手段の吸着面から突出することを特徴とする請求項３に記載の吸着装置。
【請求項５】
前記駆動源は、前記押圧部材を鉛直上方に移動させるための第２方向の回転を生成し、
前記押圧部材が、前記伝達機構により伝達された前記第２方向の回転に基づいて前記鉛直上方に移動することにより、前記吸着手段の前記吸着面から突出している前記押圧部材の端部は、前記吸着手段の前記吸着面から退避することを特徴とする請求項４に記載の吸着装置。
【請求項６】
前記押圧部材の端部に設けられており、前記被吸着体の前記第２の主面との接触を検出する検出手段と、
前記検出手段により検出された検出情報に基づいて、前記駆動源の回転数、及び回転方向を制御する制御手段と、を更に備え、
前記制御手段は、
前記回転数を制御することにより、前記押圧部材の鉛直方向の移動量を制御し、
前記回転方向を制御することにより、鉛直上方または鉛直下方への、前記押圧部材の移動を制御することを特徴とする請求項３に記載の吸着装置。
【請求項７】
前記支持ユニットにより支持された前記被吸着体を前記吸着手段に向けて上昇させて、当該支持ユニットに支持されている前記被吸着体と前記吸着手段との距離を調整する距離調整手段を更に備え、
前記押圧部材は、前記距離調整手段により調整された前記被吸着体の前記第２の主面を押圧することを特徴とする請求項１または２に記載の吸着装置。
【請求項８】
前記制御手段は、前記被吸着体を前記吸着手段に吸着する際には、第１の移動量の範囲で前記押圧部材を前記鉛直方向に移動させ、
前記被吸着体を前記吸着手段から剥離する際には、前記第１の移動量の範囲よりも広い第２の移動量の範囲で前記押圧部材を前記鉛直方向に移動させることを特徴とする請求項６に記載の吸着装置。
【請求項９】
前記押圧部材は、前記被吸着体の前記角部すべてに対応する位置に配置されていることを特徴とする請求項１または２に記載の吸着装置。
【請求項１０】
前記被吸着体は矩形状であることを特徴とする請求項１または２に記載の吸着装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、吸着装置、成膜装置、吸着方法、成膜方法及び電子デバイスの製造方法に関するものである。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、真空容器の上側壁に設置されて、下方に伸びるように固定されている押圧部材を有する成膜装置が開示されている。この装置構成では、基板支持ユニットによって支持されている基板が上昇するにつれ、基板の上面が押圧部材と接触することになり、基板は、下方に押圧される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１４１３１２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、真空形成により生じる真空容器の歪により静電チャック等に傾きが発生し得る。大気中において、押圧部材の突出量を調整しても、真空形成により真空容器に歪が生じると、真空容器の上側壁に設置されている押圧部材の突出量は変動し得る。このため、大気中で基板姿勢の傾きを調整した結果を真空環境における傾き調整に適用する場合には、真空形成による傾きの影響により、押圧部材の突出量がアンバランスになり貼着不良の要因になり得る。
【０００５】
本発明は、真空形成により生じる真空容器の歪の影響を受けることなく、被吸着体を良好に静電チャックに吸着させることが可能な技術の提供を目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一の態様による吸着装置は、第１の主面と、該第１の主面とは反対側の第２の主面と、を有する被吸着体の、前記第１の主面の周縁部を支持する支持ユニットと、
前記被吸着体の前記第２の主面側から前記被吸着体を吸着する吸着手段と、
前記吸着手段に設けられており、前記被吸着体を前記被吸着体の前記第２の主面側から押圧するための複数の押圧部材と、を有し、
前記複数の押圧部材は、前記被吸着体の前記第２の主面が有する複数の角部のうちの少なくとも２つの角部に対応する位置にそれぞれ配置されている。
【０００７】
本発明の他の態様の吸着装置は、第１の主面と、該第１の主面とは反対側の第２の主面と、を有する被吸着体の、前記第１の主面の周縁部を支持する支持ユニットと、
前記被吸着体の前記第２の主面側から前記被吸着体を吸着する吸着手段と、
前記吸着手段に設けられており、前記吸着手段が前記被吸着体を吸着する前に、前記被吸着体を前記被吸着体の前記第２の主面側から押圧するための押圧部材と、を有し、
前記支持ユニットが前記被吸着体を支持する前記第１の主面上の領域である支持領域と、前記押圧部材が前記被吸着体を押圧する前記第２の主面上の領域である押圧領域は、前記第１の主面または前記第２の主面に垂直な方向から見たとき、重畳せず、
前記押圧部材は、前記被吸着体の前記第２の主面が有する角部に対応する位置に配置されている。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、真空形成により生じる真空容器の歪の影響を受けることなく、被吸着体を良好に静電チャックに吸着させることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
電子デバイスの製造装置の一部の模式図である。
本発明の一実施形態による成膜装置の模式図である。
本発明の一実施形態による吸着装置の断面模式図である。
本発明の一実施形態による吸着装置の平面模式図である。
本発明の一実施形態による吸着装置の平面模式図である。
本発明の一実施形態による吸着方法を示す図面である。
電子デバイスを示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しつつ本発明の好適な実施形態及び実施例を説明する。ただし、以下の実施形態及び実施例は本発明の好ましい構成を例示的に示すものにすぎず、本発明の範囲はそれらの構成に限定されない。また、以下の説明における、装置のハードウェア構成及びソフトウェア構成、処理フロー、製造条件、寸法、材質、形状などは、特に特定的な記載がないかぎりは、本発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
（【００１１】以降は省略されています）

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