特許ウォッチ

公開番号2025087427
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2023202084
出願日2023-11-29
発明の名称基板搬送装置及びそれを備えた基板処理装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250603BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】搬送時の位置補正に起因するスループットの低下を抑制できる基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板Wを第1のハンド33で保持する際には、全てのガイド67で基板Wの外周面を把持し、この時点で得られた位置情報に基づいて、保持した基板Wの中心位置を現在中心位置CPNとして算出する。制御部は、予め設定されている第1のハンド33上における基板Wの基準中心位置CPRと現在中心位置CPNとの差分DFを算出する。基板Wを受け渡す際には、差分DFに応じて水平駆動機構57を操作して第1のハンド33を進出させる位置を補正する。したがって、基板Wを第1のハンド33で保持した時点で、基板Wの受け渡し時に位置の補正に必要な差分DFを算出できる。その結果、搬送時の位置補正に起因するスループットの低下を抑制できる。
【選択図】図19
特許請求の範囲【請求項１】
基板を搬送する基板搬送装置において、
前記基板を水平姿勢で保持するハンドと、
前記基板を受け渡すために前記ハンドを水平面内で進退駆動する水平駆動機構と、
前記ハンドに設けられ、前記基板の外周面を挟持して前記基板を前記ハンドから離間させて保持する少なくとも３個のガイドと、
前記少なくとも３個のガイドを前記基板に対して進退駆動させる進退駆動機構と、
前記基板を前記ハンドで保持する際には、前記進退駆動機構を操作して前記全てのガイドで前記基板の外周面を挟持し、前記進退駆動機構から得られた位置情報に基づいて、前記保持した基板の中心位置を現在中心位置として算出し、予め設定されている前記ハンド上における基板の基準中心位置と前記現在中心位置との差分を算出し、前記ハンドが保持している前記基板を受け渡す際には、前記差分に応じて前記水平駆動機構を操作して前記ハンドを進出させる位置を補正する制御部と、
を備えていることを特徴とする基板搬送装置。
続きを表示（約 860 文字）【請求項２】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記少なくとも３個のガイドが前記基板の外周面に当接したことを検出する外周面検出器をさらに備え、
前記制御部は、前記外周面検出器により、前記各ガイドが前記基板の外周面に当接したことを検出した時点で、前記現在中心位置を算出することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項３】
請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記外周面検出器は、直交する３軸のそれぞれに付与される力を検出できる検出面を備えた触覚センサであることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項４】
請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記進退駆動機構は、前記ガイドを進退駆動するモータと、前記モータを駆動するための駆動電流を付与する駆動回路と、前記モータの回転位置を検出するエンコーダとを備え、
前記外周面検出器は、前記駆動回路の駆動電流情報に基づいて前記当接を検出する駆動電流検出部と、前記エンコーダから出力される位置情報に基づいて前記当接を検出する位置情報検出部との少なくとも一方を備え、
前記制御部は、前記駆動電流検出部と前記位置情報検出部との少なくとも一方に基づいて、前記当接したことを検出することを特徴とする基板搬送装置。
【請求項５】
請求項２に記載の基板搬送装置において、
前記外周面検出器は、前記ガイドのうち、前記ハンドへの取付部分に設けられていることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項６】
請求項１に記載の基板搬送装置において、
前記ガイドは、円柱状を呈していることを特徴とする基板搬送装置。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の基板搬送装置と、
前記基板に対して所定の処理を行うものであって、処理対象の基板が載置され、前記ハンドとの間で基板を受け渡す載置部を備えた処理部と、
を備えたことを特徴とする基板処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体基板、液晶表示用や有機ＥＬ（Electroluminescence）表示装置などのＦＰＤ（Flat Panel Display）用基板、フォトマスク用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板を搬送する基板搬送装置及びそれを備えた基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、この種の装置として、搬送機構と、計測部と、制御部とを備えたものがある（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
搬送機構は、基板を保持する保持部を備え、基板を搬送する。計測部は、受け渡し先である処理室の搬入出口側に配置されている。計測部は、搬送機構によって搬送される基板の外縁を検出し、基板の中心位置を計測する。制御部は、搬送機構を制御する。制御部は、基板の中心位置と、保持部の中心位置とのズレ量に基づいて、目標位置を補正し、保持部の基準位置が補正された目標位置となるように搬送機構を制御する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２２－５０２１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、このような構成を有する従来例の場合には、次のような問題がある。
すなわち、従来の装置は、基板の中心位置を求めるために搬送機構が計測部を通過する必要がある。したがって、搬送機構が計測部を通過した後の計測結果に基づいて基板の中心位置を算出し、その算出結果に基づいて目標位置を補正してから基板を搬送する。その結果、搬送時の位置補正に起因してスループットが低下するという問題がある。
【０００６】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、搬送時の位置補正に起因するスループットの低下を抑制できる基板搬送装置及びそれを備えた基板処理装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明は、このような目的を達成するために、次のような構成をとる。
すなわち、請求項１に記載の発明は、基板を搬送する基板搬送装置において、前記基板を水平姿勢で保持するハンドと、前記基板を受け渡すために前記ハンドを水平面内で進退駆動する水平駆動機構と、前記ハンドに設けられ、前記基板の外周面を挟持して前記基板を前記ハンドから離間させて保持する少なくとも３個のガイドと、前記少なくとも３個のガイドを前記基板に対して進退駆動させる進退駆動機構と、前記基板を前記ハンドで保持する際には、前記進退駆動機構を操作して前記全てのガイドで前記基板の外周面を把持し、前記進退駆動機構から得られた位置情報に基づいて、前記保持した基板の中心位置を現在中心位置として算出し、予め設定されている前記ハンド上における基板の基準中心位置と前記現在中心位置との差分を算出し、前記ハンドが保持している前記基板を受け渡す際には、前記差分に応じて前記水平駆動機構を操作して前記ハンドを進出させる位置を補正する制御部と、を備えていることを特徴とするものである。
【０００８】
［作用・効果］請求項１に記載の発明によれば、制御部は、基板をハンドで保持する際には、進退駆動機構を操作して全てのガイドで基板の外周面を把持し、この時点で進退駆動機構から得られた位置情報に基づいて、保持した基板の中心位置を現在中心位置として算出する。制御部は、予め設定されているハンド上における基板の基準中心位置と現在中心位置との差分を算出する。制御部は、ハンドが保持している基板を受け渡す際には、差分に応じて水平駆動機構を操作してハンドを進出させる位置を補正する。したがって、基板をハンドで保持した時点で、基板の受け渡し時に位置の補正に必要な差分を算出できる。その結果、搬送時の位置補正に起因するスループットの低下を抑制できる。
【０００９】
また、本発明において、前記少なくとも３個のガイドが前記基板の外周面に当接したことを検出する外周面検出器をさらに備え、前記制御部は、前記外周面検出器により、前記各ガイドが前記基板の外周面に当接したことを検出した時点で、前記現在中心位置を算出することが好ましい（請求項２）。
【００１０】
制御部は、外周面検出器により、各ガイドが基板の外周面に当接したことを正確に判断できる。したがって、制御部は、外周面検出器が基板の外周面を検出した時点で、進退駆動機構から得られた位置情報に基づいて現在中心位置を算出できる。その結果、現在中心位置を正確に算出できる。また、各ガイドが基板の外周面を押して基板を移動させる距離を最小限にできる。その結果、基板を挟持する際に基板の擦れを抑制できるので、パーティクルの発生を抑制できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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