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公開番号2025085159
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-05
出願番号2023198836
出願日2023-11-24
発明の名称超音波映像装置
出願人株式会社日立パワーソリューションズ
代理人弁理士法人磯野国際特許商標事務所
主分類G01N 29/265 20060101AFI20250529BHJP(測定;試験)
要約【課題】試料台に搭載されたウェハの周囲に付着した細かい気泡を簡易に排出できる超音波映像装置を提供する。
【解決手段】ウェハ2に超音波を照射し、その透過波を取得して映像化する超音波映像装置1であって、水W中においてウェハ2を固定する試料台20を備え、試料台20は、開口部21を有し、開口部21の縁部には、ウェハ2を把持する把持部材を備え、開口部21は、ウェハ2より大きく構成され、把持部材によってウェハ2を把持することでウェハ2の外周部と開口部21の縁部との間に気泡排出部である隙間Sが形成される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被検体に超音波を照射し、その透過波を取得して映像化する超音波映像装置であって、
水中において前記被検体を固定する試料台を備え、
前記試料台は、開口部を有し、
前記開口部の縁部には、前記被検体を把持する把持部材を備え、
前記開口部は、前記被検体より大きく構成され、前記把持部材によって前記被検体を把持することで前記被検体の外周部と前記開口部の縁部との間に気泡排出部が形成されることを特徴とする超音波映像装置。
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
請求項１に記載の超音波映像装置であって、
前記気泡排出部は、前記把持部材の配設位置を除く位置に形成されることを特徴とする超音波映像装置。
【請求項３】
請求項１に記載の超音波映像装置であって、
前記把持部材は３個以上備え、かつ、当該把持部材が等間隔で前記開口部の縁部に配設されることを特徴とする超音波映像装置。
【請求項４】
請求項１に記載の超音波映像装置であって、
前記把持部材は、前記被検体の下側に配して前記被検体を載置する受け部材と、前記被検体の上側に配して前記被検体を押える押さえ部材と、によって構成されることを特徴とする超音波映像装置。
【請求項５】
請求項１に記載の超音波映像装置であって、
前記試料台は、試料台保持部に保持され、
前記試料台保持部は、前記試料台が浸水される水槽に固定されることを特徴とする超音波映像装置。
【請求項６】
請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の超音波映像装置を本運用する前段階において、
前記被検体の面積および形状に応じて、前記被検体の周囲に気泡が留まらないよう前記開口部の面積および形状を設定することを特徴とする超音波映像装置の運用方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、超音波映像装置及びその運用方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
超音波は気体には伝わりにくい性質があるため、超音波映像装置では、一般に、水を超音波伝達用媒質として用い、被検体および超音波探触子を水浸させて検査が行われる。この際、被検体に気泡が付着すると、気泡付着部の被検体内部の検査が困難になるという問題がある。また、超音波検査後に検査結果で気泡が確認された場合には、気泡を除去した後に再検査を実施する必要があるという問題がある。これらの問題を解決するために、以下の発明が提案されている。
【０００３】
例えば、特許文献１に示す超音波検査装置は、水を収容する水槽と、水槽内に配置され、被検体を載せる試料台と、上下方向に対向して配置され、被検体に向けて超音波を照射する第１超音波探触子および被検体を透過した超音波を受信する第２超音波探触子と、を有し、試料台の下面側に親水性被膜が形成されたものである。さらに、前記試料台の下面側には水を噴出する噴出部を有している。
【０００４】
また、特許文献２に示す超音波検査装置は、超音波の照射及び受信を行う超音波探触子と、超音波による検査が行われる検査対象物（被検体）が載置される試料台と、試料台が浸漬される液体媒質（水）が貯留される水槽と、試料台に対して、液体媒質を吐出するノズルと、を有し、超音波探触子は検査範囲を移動し、ノズルは超音波探触子の移動に追従して移動するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１４－２１５１５４号公報
特開２０１９－２１９２３４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１及び２に記載の超音波検査装置は、被検体を載せる試料台の下面に残存する気泡に対し、液体を噴出することで気泡を排除するものである。この手法では、被検体を試料台に設置する際に被検体周囲に付着した細かい気泡を排出することが難しい。
【０００７】
本発明は、前記した従来の課題を解決するものであり、試料台に搭載された被検体の周囲に付着した細かい気泡を簡易に排出できる超音波映像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明は、被検体に超音波を照射し、その透過波を取得して映像化する超音波映像装置であって、水中において前記被検体を固定する試料台を備え、前記試料台は、開口部を有し、前記開口部の縁部には、前記被検体を把持する把持部材を備え、前記開口部は、前記被検体より大きく構成され、前記把持部材によって前記被検体を把持することで前記被検体の外周部と前記開口部の縁部との間に気泡排出部が形成されることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、試料台に搭載された被検体の周囲に付着した細かい気泡を簡易に排出できる超音波映像装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の実施形態に係る超音波映像装置を示す構成図である。
本発明の実施形態に係る超音波映像装置を示す斜視図である。
試料台を試料台保持部に取り付けた状態を示す斜視図である。
図３の試料台保持部から押さえ部材を取り外した状態を示す斜視図である。
図４の受け部材の拡大図である。
試料台保持部に試料台を保持させた状態を示す斜視図である。
ウェハが取り付けられた試料台を試料台保持部に取り付けた状態を示す上面図である。
ウェハを把持した試料台を試料台保持部に装着する途中の状態を示す上面図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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