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公開番号2025083569
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-30
出願番号2025043552,2022148553
出願日2025-03-18,2022-09-16
発明の名称圧力センサ
出願人株式会社鷺宮製作所
代理人弁理士法人谷・阿部特許事務所
主分類G01L 9/00 20060101AFI20250523BHJP(測定;試験)
要約【課題】可撓性結線材の接合において、イオンマイグレーションの発生を抑制するとともに作業性の向上が可能な圧力センサを提供する。
【解決手段】流体の圧力を検出する圧力検出素子と、前記圧力検出素子との信号の入出力を行う外部入出力端子とを、有する圧力検出部と、前記外部入出力端子からの信号を変換する信号媒介基板を有し、前記変換された信号を外部回路へ出力する信号送出部と、を備え、前記信号媒介基板上に金属部材が表面実装されており、前記信号媒介基板と前記外部入出力端子とを電気的に接続する可撓性結線材が前記金属部材に結線されることを特徴とする圧力センサ。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
流体の圧力を検出する圧力検出素子と、前記圧力検出素子との信号の入出力を行う外部入出力端子とを、有する圧力検出部と、
前記外部入出力端子からの信号を変換する信号媒介基板を有し、前記変換された信号を外部回路へ出力する信号送出部と、を備え、
前記信号媒介基板上に金属部材が表面実装されており、前記信号媒介基板と前記外部入出力端子とを電気的に接続する可撓性結線材が前記金属部材に結線されることを特徴とする圧力センサ。
続きを表示（約 470 文字）【請求項２】
前記金属部材は金属プレートである事を特徴とする請求項１に記載の圧力センサ。
【請求項３】
前記可撓性結線材は前記金属部材に重ね溶接されていることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
【請求項４】
前記可撓性結線材はステンレスまたはニッケルからなる導通部材を有することを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
【請求項５】
前記信号媒介基板には接続ランド部が形成され、前記接続ランド部と前記金属部材とが導電パターンにより導通していることを特徴とする請求項１または２に記載の圧力センサ。
【請求項６】
前記信号媒介基板には接続ランド部が形成され、前記接続ランド部と前記金属部材とが導電パターンにより導通していることを特徴とする請求項３に記載の圧力センサ。
【請求項７】
前記信号媒介基板には接続ランド部が形成され、前記接続ランド部と前記金属部材とが導電パターンにより導通していることを特徴とする請求項４に記載の圧力センサ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、変換基板を内部に設ける圧力センサに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、様々な駆動電圧や圧力検出信号の信号方式に適合させるために、駆動電圧、及び、圧力検出信号の両方を変換する変換回路を備える変換基板を、制御回路と圧力センサとの間に外部接続させる圧力センサがある。
【０００３】
このような圧力センサでは、外部の衝撃や振動などにより、接続不良が生じる可能性があるなどの問題を解決するために、ケーブルを省略し、変換基板を圧力センサの内部に配置するものがある。しかし、変換基板は、駆動電圧の変圧などにより自己発熱する。よって、変換基板を圧力センサの内部に配置した場合、変換基板において生じた熱を効率的に放熱することや変換基板に伝わる熱を抑制することが望ましい。これらが有効に実施されない場合は、変換基板における電子部品が耐熱温度以上となり破損するなどの問題を生じる。
【０００４】
変換基板に伝わる熱を抑制する構成として、特許文献１の図１には、半導体センサチップ１２６側からの熱が、変換基板１３３に熱伝達されることを抑制するため、内部空間Ｓを設けて、変換基板１３３への熱の影響を抑制することが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
国際公開ＷＯ２０２２／０９７４３７号
特許第３９８７３８６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１に記載の上記構成では、変換基板１３３と半導体センサチップ１２６側のリードピン１２８とを接続するために可撓性結線材１３２を用いている。そして、可撓性結線材１３２と変換基板１３３の接続端子１３４との結線は、はんだ付けによって行われることから、変換基板表面の端子間におけるイオンマイグレーション（ＣＡＦ）発生によって短絡の原因となる恐れがある。また、はんだ付けでは接合に時間がかかり、さらには、はんだ付けのスペースが狭いことから作業性が低下する。
【０００７】
本発明の目的は、可撓性結線材の接合において、イオンマイグレーションの発生を防止するとともに作業性の向上が可能な圧力センサを提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するために、圧力センサは流体の圧力を検出する圧力検出素子と、前記圧力検出素子との信号の入出力を行う外部入出力端子とを、有する圧力検出部と、前記外部入出力端子からの信号を変換する信号媒介基板を有し、前記変換された信号を外部回路へ出力する信号送出部と、を備え、前記信号媒介基板上に金属部材が表面実装されており、前記信号媒介基板と前記外部入出力端子とを電気的に接続する可撓性結線材が前記金属部材に結線されることを特徴とする。
【０００９】
また、上記圧力センサにおいて、前記金属部材は金属プレートであっても良い。
【００１０】
また、上記圧力センサにおいて、前記可撓性結線材は前記金属部材に重ね溶接されても良い。
（【００１１】以降は省略されています）

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