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公開番号2025083384
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-30
出願番号2025034908,2020192829
出願日2025-03-05,2020-11-19
発明の名称マスク組立体とその製造方法、及び表示装置の製造装置並びに表示装置の製造方法
出願人三星ディスプレイ株式會社,Samsung Display Co.,Ltd.
代理人弁理士法人共生国際特許事務所
主分類C23C 14/04 20060101AFI20250523BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】マスク組立体とその製造方法、及び表示装置の製造装置並びに表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマスク組立体は、マスクシートを備え、マスクシートは、少なくとも1以上の第1パターンホールを含む第1領域と、少なくとも1以上の第2パターンホールを含む第2領域と、第1パターンホール又は第2パターンホールの内面に配置されて第1パターンホール又は第2パターンホールのうちの1つの内部に突出する突出部と、を含み、第1パターンホールの内面と前記第2パターンホールの内面とは、互いに異なる。
【選択図】図11B

特許請求の範囲【請求項１】
マスクシートを備えるマスク組立体であって、
前記マスクシートは、
少なくとも１以上の第１パターンホールを含む第１領域と、
少なくとも１以上の第２パターンホールを含む第２領域と、
前記第１パターンホール又は前記第２パターンホールの内面に配置されて前記第１パターンホール又は前記第２パターンホールのうちの１つの内部に突出する突出部と、を含み、
前記第１パターンホールの内面と前記第２パターンホールの内面とは、互いに異なることを特徴とするマスク組立体。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記突出部は、前記第１パターンホールの内面から前記第１パターンホールの内部に突出する第１突出部を含むことを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項３】
前記第１領域の厚みと前記第２領域の厚みとは、互いに同一であるか又は互いに異なることを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項４】
前記第２領域の一面に形成された前記第２パターンホールの平面サイズは、前記第２領域の一面から延長された前記第１領域の一面に形成された前記第１パターンホールの平面サイズ以上であることを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項５】
前記マスクシートは、前記第２領域の縁部に複数の基準ホールが配置されることを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項６】
前記マスクシートの一面に平行な平面上における前記第１パターンホールの形状と前記第２パターンホールの形状とは、互いに異なることを特徴とする請求項１に記載のマスク組立体。
【請求項７】
母材の第１面に第１開口部を具備するように第１フォトレジストを配置する段階と、
母材の第２面に第２開口部及び第３開口部を具備するように第２フォトレジストを配置する段階と、
前記第１開口部の内部にエッチング液を噴射して前記母材の第１面の一部をエッチングする段階と、
前記第１開口部及び前記第２開口部の内部にエッチング液を噴射して前記母材の第２面の一部をエッチングし、前記母材を貫通する第１パターンホール及び第２パターンホールを形成する段階と、を有することを特徴とするマスク組立体の製造方法。
【請求項８】
前記第２開口部の幅は、前記第１開口部の幅よりも大きいことを特徴とする請求項７に記載のマスク組立体の製造方法。
【請求項９】
前記第１パターンホールの内部には、前記第２パターンホールの内面から前記第２パターンホールの内部に突出する突出部が配置されることを特徴とする請求項７に記載のマスク組立体の製造方法。
【請求項１０】
前記第１面から前記突出部までの距離と前記第２面から前記突出部までの距離とは、互いに異なることを特徴とする請求項９に記載のマスク組立体の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、マスク組立体とその製造方法、及び表示装置の製造装置並びに表示装置の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
移動性をベースとする電子機器が幅広く使用されている。
移動用電子機器としては、モバイルフォンのような小型電子機器以外にも、近年になり、タブレットＰＣ（ｐｅｒｓｏｎａｌｃｏｍｐｕｔｅｒ）が広く使用されている。
そのような移動型電子機器は、多様な機能を支援するために、イメージ又は映像のような視覚情報をユーザに提供するために、表示装置を含む。
【０００３】
近年、表示装置を駆動するためのその他部品が小型化されることにより、表示装置が電子機器で占める比重がだんだんと上昇しており、平らな状態で所定角度を有するように曲げることができる構造も開発されている。
そのような表示装置は、多様な部位に、互いに異なる解像度を有するように、画素が配置されうる。
このとき、そのような画素に有機物を蒸着するために使用されるマスク組立体の形態により、表示装置の性能が左右される。
一般的に、互いに異なる解像度を有する表示領域を含む表示装置を製造するために、各表示領域に対応するマスク組立体を別途に作製して使用する。
【０００４】
しかし、そのように、マスク組立体を別途に作製する場合、作製コストが多く発生するだけではなく、各マスク組立体と基板との整列が精密ではなく、所望品質の表示装置の製造が困難になるという問題がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００７－１４１８４７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明は、上記従来の表示装置における問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、１つのマスク組立体を介して精密なパターンを有する表示装置を製造することが可能なマスク組立体、該マスク組立体の製造方法、該表示装置の製造装置、及び該表示装置の製造方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
一実施形態による表示装置は、透過領域を含む第１表示領域と、前記第１表示領域の少なくとも一部を取り囲むように配置される第２表示領域と、を含む基板と、前記第１表示領域に配置され、第１画素電極と、第１中間層と、第１対向電極と、を含む第１画素と、前記第２表示領域に配置され、第２画素電極と、第２中間層と、第２対向電極と、を含む第２画素と、を有し、前記第１中間層及び前記第２中間層のそれぞれは、厚みが一定している部分と、厚みが可変する区間と、を含み、前記第１中間層の厚みが可変する区間の第１長は、前記第２中間層の厚みが可変する区間の第２長とは異なることを特徴とする。
【０００８】
前記第１長は、前記第２長よりも短いか、又は前記第２長は、前記第１長よりも短いことが好ましい。
前記第１表示領域で提供されるイメージの解像度は、前記第２表示領域で提供されるイメージの解像度とは異なることが好ましい。
前記第１表示領域に対応するように前記基板の一面に配置され、光を放射するか又は受光する電子要素を含むコンポーネントを更に有することが好ましい。
前記第１表示領域の光透過率と前記第２表示領域の光透過率とは、互いに異なることが好ましい。
前記第１中間層の平面形状の大きさは、前記第２中間層の平面形状の大きさ以上であることが好ましい。
【０００９】
上記目的を達成するためになされた本発明の一態様によるマスク組立体は、マスクシートを備えるマスク組立体であって、前記マスクシートは、少なくとも１以上の第１パターンホールを含む第１領域と、少なくとも１以上の第２パターンホールを含む第２領域と、前記第１パターンホール又は前記第２パターンホールの内面に配置されて前記第１パターンホール又は前記第２パターンホールのうちの１つの内部に突出する突出部と、を含み、前記第１パターンホールの内面と前記第２パターンホールの内面とは、互いに異なることを特徴とする。
【００１０】
前記突出部は、前記第１パターンホールの内面から前記第１パターンホールの内部に突出する第１突出部を含むことが好ましい。
前記第１領域の厚みと前記第２領域の厚みとは、互いに同一であるか又は互いに異なることが好ましい。
前記第２領域の一面に形成された前記第２パターンホールの平面サイズは、前記第２領域の一面から延長された前記第１領域の一面に形成された前記第１パターンホールの平面サイズ以上であることが好ましい。
前記マスクシートは、前記第２領域の縁部に複数の基準ホールが配置されることが好ましい。
前記マスクシートの一面に平行な平面上における前記第１パターンホールの形状と前記第２パターンホールの形状とは、互いに異なることが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

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