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公開番号2025082940
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-30
出願番号2023196523
出願日2023-11-20
発明の名称搬送装置
出願人ニデックインスツルメンツ株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250523BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】大きさの異なる媒体を搬送面から吸着して搬送する場合でも、媒体の2つの角部を含む一辺の両端部分が下方に撓むことを抑制する搬送装置を提供すること。
【解決手段】搬送装置1は、媒体10を吸着する吸着機構4と、吸着機構4を昇降させる昇降機構3と、を備える。吸着機構4は、媒体10に接触する可撓性を有するパッド部52を備える第1吸着パッド51であって媒体10の中央部分を吸着する複数の第1吸着パッド51、および第1吸着パッド51が固定された第1ベース部材54を備える第1吸着ユニット5と、媒体10の第1辺10a1の両端部分をそれぞれ吸着する2つの第2吸着ユニット6と、第1ベース部材54に対して、第2吸着ユニット6をX軸方向およびY軸方向に移動可能に固定する位置調整機構7と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
載置面に載置された矩形状の媒体を吸着して搬送する搬送装置において、
前記媒体を吸着する吸着機構と、前記吸着機構を昇降させる昇降機構と、を備え、
互いに直交する３軸方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とした場合に、
前記吸着機構は、
前記媒体に接触する可撓性を有するパッド部を備える第１吸着パッドであって前記媒体の中央部分を吸着する複数の第１吸着パッド、および前記第１吸着パッドが固定された第１ベース部材を備える第１吸着ユニットと、
前記媒体の一辺である第１辺の両端部分をそれぞれ吸着する２つの第２吸着ユニットと、
前記第１ベース部材に対して、前記第２吸着ユニットをＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能に固定する位置調整機構と、
を備えることを特徴とする搬送装置。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
前記第２吸着ユニットは、前記媒体に接触する可撓性を有するパッド部を備える第２吸着パッドと、前記第２吸着パッドが固定された第２ベース部材と、前記第２ベース部材に対してＺ軸方向に移動可能に支持されるとともに前記媒体に接触可能な可動プレートと、前記第２ベース部材および前記可動プレートの間に配置され前記第２ベース部材に対して前記可動プレートを下方に付勢する付勢部材と、を備え、
前記吸着機構が前記媒体を吸着する前では、前記第２吸着パッドの前記パッド部の先端部は、前記可動プレートの下面より下方に位置しており、
前記媒体を吸着するために前記昇降機構が前記吸着機構を下方に移動させた際に、前記第２吸着パッドの前記パッド部が前記媒体に接触して上方に変形すると、前記可動プレートは、前記媒体に接触した後に前記媒体からの反力によって上方に変位することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項３】
前記第２吸着パッドの前記パッド部は、ベロウ型パッドであることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
【請求項４】
前記第２吸着パッドの前記パッド部の先端部には、ポリエーテルエーテルケトンからなる樹脂アタッチメントが取り付けられていることを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
【請求項５】
前記第２吸着ユニットは、前記媒体を吸着した際に、前記媒体の前記第１辺の端部分とＺ軸方向に重なる背景板を備えることを特徴とする請求項１から４のうち何れか一項に記載の搬送装置。
【請求項６】
前記吸着機構が前記媒体を吸着した際に、前記第１辺と直交する方向をＸ軸方向とし、前記第１辺が延びる方向と平行な方向をＹ軸方向とし、Ｘ軸方向において前記第１辺が位置する方向をＸ１方向とした場合に、
前記位置調整機構は、前記第１ベース部材に接続されＸ１方向に延びる固定アームと、Ｙ軸方向に延びる可動アームと、前記固定アームに対して前記可動アームをＸ軸方向にスライド可能にガイドする第１スライド機構と、前記可動アームの両端部において前記可動アームに対して前記第２吸着ユニットをＹ軸方向にスライド可能にガイドする第２スライド機構と、前記固定アームと前記可動アームとを固定する第１固定機構と、前記可動アームと前記第２吸着ユニットとを固定する第２固定機構と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項７】
前記位置調整機構は、前記固定アームに対する前記可動アームの位置を示す第１スケールと、前記可動アームに対する前記第２吸着ユニットの位置を示す第２スケールと、を備える請求項６に記載の搬送装置。
【請求項８】
前記吸着機構は、固定ベース部材と、前記固定ベース部材に対して前記第１吸着ユニットおよび前記第２吸着ユニットをＺ軸方向に移動可能に吊り下げ支持する支持機構と、を備え、
前記支持機構は、前記固定ベース部材に対して前記第１ベース部材を上方に付勢する第１バネ部材と、前記固定ベース部材に対して前記第１ベース部材を下方に付勢する第２バネ部材と、を備え、
前記媒体を吸着するために前記昇降機構が前記吸着機構を下方に移動させた際に、前記第１吸着パッドが前記媒体に接触した後に前記媒体からの反力を受けると、前記第１ベース部材は、上方に変位することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
【請求項９】
前記吸着機構は、前記第１ベース部材に固定されるとともに前記媒体に接触可能なコンタクトプレートを備え、
前記吸着機構が前記媒体を吸着する前では、前記第１吸着パッドの前記パッド部の先端部は、前記コンタクトプレートの下面より下方に位置しており、
前記媒体を吸着するために前記昇降機構が前記吸着機構を下方に移動させた際に、前記第１吸着パッドの前記パッド部が前記媒体に接触して上方に変形すると、前記コンタクトプレートは、前記媒体に接触することを特徴とする請求項８に記載の搬送装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、載置面に配置された媒体を吸着パッドにより吸着して搬送する搬送装置に関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
プリント基板などの可撓性のある媒体を、複数の吸着バッドを備える搬送アームで搬送する搬送装置は、特許文献１に記載されている。同文献では、搬送アームの各吸着パッドには、真空配管が接続されている。載置面に配置された媒体を吸着保持する際には、吸着パッドに真空を供給するとともに、搬送アームを載置面に向かって下降させて、全ての吸着パッドのパッド部を媒体に接触させる。これにより、各吸着パッドに媒体が吸着された状態となると、搬送装置は、搬送アームを上昇させて、媒体を所定の場所に移動させて、各吸着パッドへの真空の供給を停止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－１８０８９１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１の搬送装置は、複数の吸着パッドが媒体の中央部分を吸着することによって、大きさの異なる複数種類の媒体を搬送することが可能である。また、同文献の搬送装置は、吸着パッドに吸着された媒体の角部のうち２つの角部をカメラで撮影することによって、吸着パッドに対する媒体の位置を認識する場合がある。この場合、搬送装置は、吸着パッドに対する媒体の位置を認識しているので、載置面の所定の位置に媒体を正確に搬送することができる。ここで、媒体の大きさが大きくなると、吸着パッドで吸着されない媒体の外周側は、下方に撓む。これにより、媒体の角部も下方に撓むので、吸着パッドに吸着された媒体の角部をカメラで正確に撮影できないという問題がある。
【０００５】
本発明の課題は、大きさの異なる媒体を搬送面から吸着して搬送する場合でも、媒体の２つの角部を含む一辺の両端部分が下方に撓むことを抑制する搬送装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するために、本発明は、載置面に載置された矩形状の媒体を吸着して搬送する搬送装置において、前記媒体を吸着する吸着機構と、前記吸着機構を昇降させる昇降機構と、を備え、互いに直交する３軸方向をＸ軸方向、Ｙ軸方向、およびＺ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とした場合に、前記吸着機構は、前記媒体に接触する可撓性を有するパッド部を備える第１吸着パッドであって前記媒体の中央部分を吸着する複数の第１吸着パッド、および前記第１吸着パッドが固定された第１ベース部材を備える第１吸着ユニットと、前記媒体の一辺である第１辺の両端部分をそれぞれ吸着する２つの第２吸着ユニットと、前記第１ベース部材に対して、前記第２吸着ユニットをＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能に固定する位置調整機構と、を備えることを特徴とする。
【０００７】
本発明によれば、位置調整機構は、媒体の大きさに応じて、第１辺の両端部分をそれぞれ吸着する２つの第２吸着ユニットをＸ軸方向およびＹ軸方向に移動可能に固定する。このようにすれば、第１辺の両端部分が第２吸着ユニットによって吸着されるので、第１辺は、下方に撓まない。これにより、吸着機構で吸着された媒体の角部をカメラで撮影する
場合には、カメラは媒体の角部を良好に撮影することができる。また、吸着機構が媒体の４隅を全て吸着する構成と比較すると、本発明の搬送装置は、カメラで撮影する際に必要となる角部を含む第１辺の両端部分のみを第２吸着ユニットで吸着するので、全体がコンパクトとなる。
【０００８】
本発明において、前記第２吸着ユニットは、前記媒体に接触する可撓性を有するパッド部を備える第２吸着パッドと、前記第２吸着パッドが固定された第２ベース部材と、前記第２ベース部材に対してＺ軸方向に移動可能に支持されるとともに前記媒体に接触可能な可動プレートと、前記第２ベース部材および前記可動プレートの間に配置され前記第２ベース部材に対して前記可動プレートを下方に付勢する付勢部材と、を備え、前記吸着機構が前記媒体を吸着する前では、前記第２吸着パッドの前記パッド部の先端部は、前記可動プレートの下面より下方に位置しており、前記媒体を吸着するために前記昇降機構が前記吸着機構を下方に移動させた際に、前記第２吸着パッドの前記パッド部が前記媒体に接触して上方に変形すると、前記可動プレートは、前記媒体に接触した後に前記媒体からの反力によって上方に変位することが好ましい。このようにすれば、媒体は、可動プレートと載置面とに挟まれることによって媒体の平坦度が向上するので、第２吸着パッドのパッド部は、媒体を安定して吸着することができる。また、可動プレートが媒体に接触した後に媒体からの反力によって上方に変位するので、媒体には、大きな力が加わりにくい。これにより、媒体の破損が抑制される。
【０００９】
本発明において、前記第２吸着パッドの前記パッド部は、ベロウ型パッドであることが好ましい。このようにすれば、第２吸着パッドのパッド部が媒体に接触した際に、第２吸着パッドのパッド部が変形しやすいので、第２吸着パッドのパッド部は、媒体を良好に吸着することができる。
【００１０】
本発明において、前記第２吸着パッドの前記パッド部の先端部には、ポリエーテルエーテルケトンからなる樹脂アタッチメントが取り付けられていることが好ましい。このようにすれば、第２吸着ユニットが媒体の吸着を停止した後、第２吸着パッドのパッド部が媒体から離れやすい。
（【００１１】以降は省略されています）

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