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公開番号2025064294
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-17
出願番号2023173925
出願日2023-10-05
発明の名称ハンドリング装置
出願人ヤマハロボティクスホールディングス株式会社,学校法人東京理科大学
代理人弁理士法人YKI国際特許事務所
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250410BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】より小型化が可能なハンドリング装置を開示する。
【解決手段】ハンドリング装置10は、製品を非接触で保持する振動板20と、前記振動板20を支える土台12と、前記振動板20に振動を付加することで、前記振動板20に超音波保持力を発生させる振動素子40と、を備え、前記振動板20は、前記土台12に固定される周辺部24と、前記周辺部24に対して振動できるように連結され、前記振動素子40から付加された振動を増幅する中央部22と、を有する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
製品を非接触で保持する振動板と、
前記振動板を支える土台と、
前記振動板に振動を付加することで、前記振動板に超音波保持力を発生させる振動素子と、
を備え、
前記振動板は、
前記土台に固定される周辺部と、
前記周辺部に対して振動できるように連結され、前記振動素子から付加された振動を増幅する中央部と、
を有する、ことを特徴とするハンドリング装置。
続きを表示（約 890 文字）【請求項２】
請求項１に記載のハンドリング装置であって、
前記中央部と前記周辺部との間に、溝、または、前記振動板を厚み方向に貫通する間隙が形成されている、ことを特徴とするハンドリング装置。
【請求項３】
請求項２に記載のハンドリング装置であって、
前記中央部と前記周辺部との間には、前記振動板を厚み方向に貫通する間隙が形成されており、
前記中央部と前記周辺部とは、前記間隙を横断するブリッジで連結されている、
ことを特徴とするハンドリング装置。
【請求項４】
請求項３に記載のハンドリング装置であって、
前記ブリッジは、前記中央部の中心からみて対称に配置されている、ことを特徴とするハンドリング装置。
【請求項５】
請求項１に記載のハンドリング装置であって、
前記中央部の外形は、前記製品の外形と実質的に同形である、ことを特徴とするハンドリング装置。
【請求項６】
請求項１に記載のハンドリング装置であって、
前記中央部の末端面は、前記周辺部の末端面よりも、保持されている前記製品に近づく方向に突出している、ことを特徴とするハンドリング装置。
【請求項７】
請求項１に記載のハンドリング装置であって、
前記土台と前記中央部との間に空間が介在している、ことを特徴とするハンドリング装置。
【請求項８】
請求項１に記載のハンドリング装置であって、
前記圧電素子は、前記振動板に固定されている、ことを特徴とするハンドリング装置。
【請求項９】
請求項８に記載のハンドリング装置であって、
前記圧電素子は、前記周辺部の裏面に固着されている、ことを特徴とするハンドリング装置。
【請求項１０】
請求項９に記載のハンドリング装置であって、
前記圧電素子は、前記中央部の中心からみて対称に配置されている、ことを特徴とするハンドリング装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本明細書は、超音波を利用して、製品を非接触で保持するハンドリング装置を開示する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、超音波を利用して製品を非接触で保持するハンドリング装置が知られている。例えば、特許文献１には、超音波振動子と、超音波振動子が発生した超音波振動を増幅して伝達するホーンと、ホーンの末端に取り付けられた振動板と、を有する保持装置が開示されている。かかる保持装置は、振動板の表面に発生する超音波スクイーズ効果により、対象物を非接触で保持する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許５４０２５４２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、こうした超音波式のハンドリング装置は、通常、軸方向に長いホーンを必要とする。その結果、従来技術の場合、ハンドリング治具全体のサイズが大きくならざるを得ない。
【０００５】
そこで、本明細書では、より小型化が可能なハンドリング装置を開示する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書で開示するハンドリング装置は、製品を非接触で保持する振動板と、前記振動板を支える土台と、前記振動板に振動を付加することで、前記振動板に超音波保持力を発生させる振動素子と、を備え、前記振動板は、前記土台に固定される周辺部と、前記周辺部に対して振動できるように連結され、前記振動素子から付加された振動を増幅する中央部と、を有する、ことを特徴とする。
【０００７】
この場合、前記中央部と前記周辺部との間に、溝、または、前記振動板を厚み方向に貫通する間隙が形成されていてもよい。また、前記中央部と前記周辺部との間には、前記振動板を厚み方向に貫通する間隙が形成されており、前記中央部と前記周辺部とは、前記間隙を横断するブリッジで連結されてもよい。また、前記ブリッジは、前記中央部の中心からみて対称に配置されていてもよい。
【０００８】
また、前記中央部の外形は、前記製品の外形と実質的に同形でもよい。
【０００９】
また、前記中央部の末端面は、前記周辺部の末端面よりも、保持されている前記製品に近づく方向に突出していてもよい。
【００１０】
また、前記土台と前記中央部との間に空間が介在していてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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