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公開番号2025036301
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-14
出願番号2024146540
出願日2024-08-28
発明の名称ガスラインマトリックスおよび交換アセンブリのための方法および装置
出願人エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー
代理人個人,個人,個人
主分類B01J 4/00 20060101AFI20250306BHJP(物理的または化学的方法または装置一般)
要約【課題】ガスラインマトリックスおよび交換アセンブリのための方法および装置を提供する。
【解決手段】本技術の様々な実施形態は、ガスラインマトリックスおよび交換アセンブリを提供し得る。交換アセンブリは、第一の複数のガスラインを含み、各ガスラインは第一の端および第二の端を備え、第一の複数のガスラインの第一の端は第一の軸上に整列し、第一の複数のガスラインの第二の端は第二の軸上に整列し、第一の軸は第二の軸に対して垂直である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
装置であって、
ガスラインマトリックスと、
前記ガスラインマトリックスに連結された交換アセンブリであって、第一の複数のガスラインを含み、各ガスラインが第一の端および第二の端を含む、交換アセンブリと、を備え、
前記第一の複数のガスラインの前記第一の端が第一の軸上に整列し、前記第一の複数のガスラインの前記第二の端が第二の軸上に整列し、
前記第一の軸が前記第二の軸に対して垂直である、装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記ガスラインマトリックスが、第二の複数のガスラインを備え、前記第二の複数のガスラインの各ガスラインが、前記第一の複数のガスラインのうちの一つのガスラインに連結される、請求項１に記載の装置。
【請求項３】
前記第一の複数のガスラインの各ガスラインが、少なくとも一つの直角を含む、請求項１に記載の装置。
【請求項４】
前記第一の複数のガスラインの各ガスラインが、コネクタによって第二のセクションに連結された第一のセクションを備え、前記第一のセクションが前記第一の端を備え、前記第二のセクションが前記第二の端を備える、請求項１に記載の装置。
【請求項５】
前記第一のセクションが前記第二の軸と平行であり、前記第一の軸に対して垂直である、請求項４に記載の装置。
【請求項６】
前記第二のセクションが、前記第一の軸と平行であり、前記第二の軸に対して垂直である、請求項５に記載の装置。
【請求項７】
前記第一のセクションがＺ字形状であり、前記第二のセクションがＬ字形状である、請求項４に記載の装置。
【請求項８】
前記第一のセクションが、コネクタによって前記第二のセクションに連結される、請求項４に記載の装置。
【請求項９】
各第二のセクションが、他の第二のセクションとは異なる長さを有する、請求項４に記載の装置。
【請求項１０】
ガスライン交換を組み立てるための方法であって、
第一の距離に基づいて複数の第一のセクションからの第一のガスラインセクションを選択するステップであって、各第一のセクションが第一の端および第二の端を有する、選択するステップと、
第二の距離に基づいて複数の第二のセクションから第二のガスラインセクションを選択するステップであって、各第二のセクションが、他の第二のセクションとは異なる長さを有し、各第二のセクションが、第一の端および第二の端を有する、選択するステップと、
前記第一のセクションの前記第二の端を前記第二のセクションの前記第一の端に接続するステップと、
第三の距離に基づいて、前記複数の第一のセクションから第三のガスラインセクションを選択するステップと、
第四の距離に基づいて、前記複数の第二のセクションから第四のガスラインセクションを選択するステップと、
前記第三のセクションの前記第二の端を前記第四のセクションの前記第一の端に接続するステップと、を含み、
前記第一および第三のセクションの前記第一の端が、第一の軸上に整列し、
前記第二および第四のセクションの前記第二の端が、前記第一の軸に対して垂直な第二の軸上に整列する、方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
発明の分野
本開示は概して、ガスラインマトリックスおよび交換アセンブリのための方法および装置に関する。より具体的には、本開示は、単一軸上に整列するセクションのセットを有するガスライン配置に関する。
技術の背景
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体機器は、複数のポートを有するバルブマニホールドを通して、様々な原料容器およびプロセスガスを反応チャンバにルーティングする必要がある。異なるプロセスでは、所与の原料容器を異なるバルブマニホールドポートにルーティングする必要があり、異なるガスラインを必要とする。これらのガスラインは加熱されるため、これは多数の固有のガスラインおよびヒータージャケットにつながる可能性があり、複雑で混沌としたガスラインシステムとなる。
【発明の概要】
【０００３】
本技術の様々な実施形態は、ガスラインマトリックスおよび交換アセンブリを提供し得る。交換アセンブリは、第一の複数のガスラインを含み、各ガスラインは第一の端および第二の端を備え、第一の複数のガスラインの第一の端は第一の軸上に整列し、第一の複数のガスラインの第二の端は第二の軸上に整列し、第一の軸は第二の軸に対して垂直である。
【０００４】
一態様によれば、装置は、ガスラインマトリックスと、ガスラインマトリックスに連結された交換アセンブリとを備え、交換アセンブリは第一の複数のガスラインを備え、各ガスラインは第一の端および第二の端を備え、第一の複数のガスラインの第一の端は第一の軸上に整列し、第一の複数のガスラインの第二の端は第二の軸上に整列し、第一の軸は第二の軸に対して垂直である。
【０００５】
一実施形態では、ガスラインマトリックスは、第二の複数のガスラインを備え、第二の複数のガスラインの各ガスラインは、第一の複数のガスラインからの一つのガスラインに連結される。
【０００６】
一実施形態では、第一の複数のガスラインの各ガスラインは、少なくとも一つの直角を含む。
【０００７】
一実施形態では、第一の複数のガスラインからの各ガスラインは、コネクタを有する第二のセクションに連結された第一のセクションを備え、第一のセクションは第一の端を備え、第二のセクションは第二の端を備える。
【０００８】
一実施形態では、第一のセクションは、第二の軸と平行であり、第一の軸に対して垂直である。
【０００９】
一実施形態では、第二のセクションは、第一の軸と平行であり、第二の軸に対して垂直である。
【００１０】
一実施形態では、第一のセクションはＺ字形状であり、第二のセクションはＬ字形状である。
（【００１１】以降は省略されています）

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