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公開番号2025034957
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023141662
出願日2023-08-31
発明の名称吐出ヘッドの製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人谷・阿部特許事務所
主分類B41J 2/16 20060101AFI20250306BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】吐出口形成層への露光時に、流路壁形成層の未硬化部分がゲル化せず残渣物が発生しない、吐出ヘッドの製造方法の提供。
【解決手段】基板上に4μm-14μmの厚みを有する流路壁形成層を形成し、流路壁形成層の一部を露光し、流路壁を硬化する工程と、流路壁形成層の上に吐出口形成層を形成し、吐出口形成層の一部を露光し、吐出口を硬化し、吐出口形成層に撥水層を形成する工程と、流路壁形成層および吐出口形成層の未硬化部を除去し、流路および吐出口を形成する工程と、を含み、吐出口形成層と流路壁形成層はネガ型感光性樹脂を含む吐出ヘッドの製造方法であって、吐出口形成層への露光量は、流路壁形成層のゲル化開始露光量よりも小さいことを特徴とする、吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
基板上に４μｍ－１４μｍの厚みを有する流路壁形成層を形成し、前記流路壁形成層の一部を露光し、流路壁を硬化する工程と、
前記流路壁形成層の上に吐出口形成層を形成し、前記吐出口形成層の一部を露光し、吐出口を硬化し、前記吐出口形成層に撥水層を形成する工程と、
前記流路壁形成層および前記吐出口形成層の未硬化部を除去し、流路および吐出口を形成する工程と、
を含み、
前記吐出口形成層と前記流路壁形成層はネガ型感光性樹脂を含む吐出ヘッドの製造方法であって、前記吐出口形成層への露光量は、前記流路壁形成層のゲル化開始露光量よりも小さいことを特徴とする、吐出ヘッドの製造方法。
続きを表示（約 620 文字）【請求項２】
前記吐出口形成層への露光量は、前記流路壁形成層のゲル化開始露光量の３０％以下である、請求項１に記載の吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記吐出口形成層への露光量は、前記吐出口形成層の撥水性の発現露光量より大きい、請求項２に記載の吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記吐出口形成層への露光量は４００－６００Ｊ／ｍ２である、請求項２に記載の吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記撥水層は光酸発生剤およびネガ型感光性樹脂を含む、請求項１に記載の吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記撥水層は、２５０－７５０ｎｍの膜厚を有する、請求項５に記載の吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記流路壁形成層は、前記吐出口形成層への露光波長を吸収する、請求項１に記載の吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記吐出口は、前記吐出口形成層への露光波長における複数の反射率を有する領域をまたいで形成される、請求項１に記載の吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記吐出口形成層への露光波長はｉ線である、請求項８に記載の吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記複数の反射率を有する領域は、ｉ線反射率が０．４以上の領域を含む、請求項９に記載の吐出ヘッドの製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、吐出ヘッドの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、供給口を備えた基板にドライフィルムレジストにてノズルを形成する吐出ヘッドの製造方法が記載されている。詳しくは、供給口を有する基板上に、流路壁形成層を形成した後、流路壁となる部分を露光し、露光後の熱処理を行う。流路壁形成層の上に吐出口形成層を形成した後、吐出口となる部分以外を露光し、露光後の熱処理を行う。流路壁形成層と吐出口形成層の露光されていない部分を溶媒によって除去し、吐出ヘッドの流路と吐出口を現像して形成する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９―１４２１５５
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、より小さい液滴を吐出して高品位の記録に寄与できる吐出ヘッドを得ようとする場合、流路壁形成層の厚さ（流路高さ）をより低くすることが望ましい。具体的には、流路壁形成層の厚さを４μｍ－１４μｍとする。この場合、吐出口形成層と流路壁形成層にネガ型感光性樹脂を使用して特許文献１に記載の製法を行うと、吐出口形成層への露光時に、流路壁形成層の未露光部は基板からの反射などの影響を受けやすい。その結果、流路壁形成層の未露光部が反射光により露光され、流路壁形成層がゲル化し、残渣物が発生するおそれがある。
【０００５】
本開示は、吐出口形成層への露光時に、流路壁形成層の未硬化部分がゲル化せず残渣物が発生しない、吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【０００６】
本開示の方法は、基板上に４μｍ－１４μｍの厚みを有する流路壁形成層を形成し、流路壁形成層の一部を露光し、流路壁を硬化する工程と、流路壁形成層の上に吐出口形成層を形成し、吐出口形成層の一部を露光し、吐出口を硬化し、吐出口形成層に撥水層を形成する工程と、流路壁形成層および吐出口形成層の未硬化部を除去し、流路および吐出口を形成する工程と、を含み、吐出口形成層と流路壁形成層はネガ型感光性樹脂を含む吐出ヘッドの製造方法であって、吐出口形成層への露光量は、流路壁形成層のゲル化開始露光量よりも小さいことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によると、吐出口形成層への露光時に、流路壁形成層の未硬化部分がゲル化せず残渣物が発生することのない吐出ヘッドを製造することが出来る。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
（ａ）および（ｂ）は、本開示の一実施形態に係る吐出ヘッドの斜視図および吐出ヘッドのＡ－Ａ´断面図である。
（ａ）－（ｆ）は、本開示の一実施形態に係る吐出ヘッドの製造方法を示す断面図である。
（ａ）および（ｂ）は、本開示の一実施形態に係る吐出ヘッドの製造方法を示す断面図である。
本開示の一実施形態に係る吐出ヘッドの上面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照して本開示の実施形態を詳細に説明する。図１（ａ）および（ｂ）は、本開示の一実施形態に係る吐出ヘッドを一部断面で示す斜視図および図１（ａ）のＡ－Ａ´線断面を示す図である。図１（ａ）および（ｂ）に示すように、吐出ヘッド１は、基板５、流路壁形成層２１、および吐出口形成層３１を積層して構成され、供給流路１１、流路２０、および複数の吐出口３０からなる吐出口列を複数備える。
【００１０】
流路壁形成層２１は、吐出口３０ごとに設けられる流路２０を画定する流路壁を備える。流路２０は供給流路１１を介して供給、排出されるインク等の液体を含む。そして、基板５上に設けられる電気熱変換素子２（吐出エネルギー発生素子）が発生する熱によって液体中に気泡が生じ、この気泡の圧力によって吐出口３０からインクを吐出する。基板５には、流路２０に対して一組の供給流路１１が設けられる。吐出口形成層３１は吐出口３０を備えるとともに、流路２０の流路天井を構成する。なお、吐出エネルギー発生素子２の上には絶縁保護膜（不図示）が形成されている。絶縁保護膜はフォトリソグラフィやドライエッチング等によりパターニングされる。
（【００１１】以降は省略されています）

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