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公開番号2025026351
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-21
出願番号2024116100
出願日2024-07-19
発明の名称匂いセンサ素子の感応膜の製造方法、匂いセンサ素子の感応膜、匂いセンサ素子、および匂いセンサ
出願人三洋化成工業株式会社
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類G01N 27/12 20060101AFI20250214BHJP(測定;試験)
要約【課題】感応膜の製造安定性の向上を図りつつ、匂いセンサ素子の感度を高める。
【解決手段】ピペット型のディスペンサ(24)のノズル(28)から樹脂組成物溶液(L1)を吐出して基板(12)上に塗布することにより、基板(12)上に塗膜(F1)を形成し、塗膜(F1)を乾燥させて感応膜(14)を形成する。ノズル(28)からの樹脂組成物溶液(L1)の吐出量は、0.1μL～5.0μLである。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
基板上に匂いセンサ素子の感応膜を製造するための方法であって、
先端部に着脱可能なノズルを備えたピペット型のディスペンサを用い、有機溶剤を含む樹脂組成物溶液を貯留した容器から、前記樹脂組成物溶液を前記ノズルに吸入する吸入工程と、
前記吸入工程の終了後に、前記ノズルから前記樹脂組成物溶液を吐出して前記基板上に塗布することにより、前記基板上に塗膜を形成する塗布工程と、
前記塗布工程の終了後に、前記塗膜を乾燥させて前記感応膜を形成する乾燥工程と、を含み、
前記ノズルからの前記樹脂組成物溶液の吐出量は、０．１μＬ～５．０μＬである、匂いセンサ素子の感応膜の製造方法。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記樹脂組成物溶液の粘度は、１ｍＰａ・ｓ～５００ｍＰａ・ｓであり、前記有機溶剤の沸点は、１５０℃～２５０℃である、請求項１に記載の匂いセンサ素子の感応膜の製造方法。
【請求項３】
前記樹脂組成物溶液の固形分率は、２％～２０％である、請求項１に記載の匂いセンサ素子の感応膜の製造方法。
【請求項４】
レオメーターで測定した前記樹脂組成物溶液のチクソインデックスは、１．０５～５．００である、請求項１に記載の匂いセンサ素子の感応膜の製造方法。
【請求項５】
前記樹脂組成物溶液は、フィラーを含む、請求項１に記載の匂いセンサ素子の感応膜の製造方法。
【請求項６】
前記フィラーは、導電性材料である、請求項５に記載の匂いセンサ素子の感応膜の製造方法。
【請求項７】
前記導電性材料は、導電性炭素材料である、請求項６に記載の匂いセンサ素子の感応膜の製造方法。
【請求項８】
前記塗布工程を所定回数実行する毎に、前記ノズルの交換を行う交換工程を更に含む、請求項１に記載の匂いセンサ素子の感応膜の製造方法。
【請求項９】
前記匂いセンサ素子は、前記感応膜の電気抵抗値の変化を匂いの検知指標として用いるケミレジスター型の匂いセンサ素子である、請求項１に記載の匂いセンサ素子の感応膜の製造方法。
【請求項１０】
請求項１から９のいずれか１項に記載の、匂いセンサ素子の感応膜の製造方法によって製造された、匂いセンサ素子の感応膜。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、匂いセンサ素子の感応膜の製造方法、匂いセンサ素子の感応膜、匂いセンサ素子、および匂いセンサに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
匂いセンサ素子の感応膜を製造するための方法として、例えば、特許文献１に示すものが知られている。特許文献１に記載されている製造方法では、シリンジ型のディスペンサが用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２０－１６５９７１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、基板上に塗膜を形成する際に、ノズルの先端部に這い上った樹脂組成物溶液が蒸発固化することで、ノズルの先端部の濡れ性が変化する。ノズルの先端部の濡れ性が変化した状態で、感応膜の製造を継続すると、樹脂組成物溶液の塗工量が安定せず、感応膜の製造安定性が低下すると共に、感応膜の表面の平滑性（滑らかさ）が低下して、匂いセンサ素子の感度が低下するという問題がある。
【０００５】
そこで、本発明の一態様は、感応膜の製造安定性を高めつつ、匂いセンサ素子の感度を向上させることができる、匂いセンサ素子の感応膜の製造方法等を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願の発明者は、前述の問題を解決するために、試行錯誤を繰り返した結果、先端部に着脱可能なノズルを備えたピペット型のディスペンサを用い、ノズルからの樹脂組成物溶液の吐出量を所定の吐出量に設定することで、ノズルの先端部への樹脂組成物溶液の這い上がりを抑えつつ、感応膜の表面の平滑性（滑らかさ）を高めることができるという、新規な知見を見出し、本発明を完成するに至った。ここで、所定の吐出量とは、０．１μＬ～５．０μＬである。
【０００７】
本発明の態様１に係る製造方法は、基板上に匂いセンサ素子の感応膜を製造するための方法であって、先端部に着脱可能なノズルを備えたピペット型のディスペンサを用い、有機溶剤を含む樹脂組成物溶液を貯留した容器から、前記樹脂組成物溶液を前記ノズルに吸入する吸入工程と、前記吸入工程の終了後に、前記ノズルから前記樹脂組成物溶液を吐出して前記基板上に塗布することにより、前記基板上に塗膜を形成する塗布工程と、前記塗布工程の終了後に、前記塗膜を乾燥させて前記感応膜を形成する乾燥工程と、を含む。前記ノズルからの前記樹脂組成物溶液の吐出量は、０．１μＬ～５．０μＬである。
【０００８】
本発明の態様２に係る匂いセンサ素子の感応膜は、本発明の態様１に係る、匂いセンサ素子の感応膜の製造方法によって製造されている。
【０００９】
本発明の態様３に係る匂いセンサ素子は、基板と、本発明の態様１に係る、匂いセンサ素子の感応膜の製造方法によって前記基板上に製造された感応膜と、を備える。
【００１０】
本発明の態様４に係る匂いセンサは、本発明の態様３に係る匂いセンサ素子を備える。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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