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公開番号2025025453
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-21
出願番号2023130223
出願日2023-08-09
発明の名称電気的接続装置
出願人株式会社日本マイクロニクス
代理人個人,個人
主分類G01R 31/26 20200101AFI20250214BHJP(測定;試験)
要約【課題】検査対象物の特性を高い精度で測定できる電気的接続装置を提供する。
【解決手段】電気的接続装置1は、プローブ10と、プローブ10に接続する柔軟性を有する配線シート20と、配線基板30を備える。プローブ10は、検査対象物と接触可能に配置された先端部および先端部に連結する基端部を有する。配線シート20は、第1シート面211と第2シート面212により両面を定義され、第1シート面211にプローブ10の基端部に接続する第1接続部21が配置され、第2シート面212に第2接続部22が配置されている。第1接続部21と第2接続部22を接続する内部回路が、第1シート面211と第2シート面212の間に形成されている。配線基板30は、第2接続部22と接続する第1電極31が配置され、第2シート面212と対向する第1主面、および、第1電極31と電気的に接続する第2電極32が配置された第2主面を有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物の検査に使用される電気的接続装置であって、
前記検査対象物と接触可能に配置された先端部および前記先端部に連結する基端部を有する検査用端子と、
第１シート面と第２シート面により両面を定義され、前記第１シート面に前記検査用端子の前記基端部に接続する第１接続部が配置され、前記第２シート面に第２接続部が配置され、前記第１接続部と前記第２接続部を接続する内部回路が前記第１シート面と前記第２シート面の間に形成された、柔軟性を有する配線シートと、
前記第２接続部と接続する第１電極が配置され、前記第２シート面と対向する第１主面、および、前記第１電極と電気的に接続する第２電極が配置された第２主面を有する配線基板と
を備える電気的接続装置。
続きを表示（約 800 文字）【請求項２】
前記配線シートの前記第１シート面および前記第２シート面の少なくとも一方に配置され、前記内部回路と電気的に接続された電子部品を更に備える、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項３】
前記配線シートが、絶縁材のカバーフィルムによって導電性フィルムと絶縁性フィルムの積層体を挟んだ構造を有する、請求項１に記載の電気的接続装置。
【請求項４】
前記配線シートが、前記第１接続部が前記基端部から押力を受けた場合に、前記第１接続部を前記基端部に向けて付勢するように弾性変形する、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項５】
前記検査用端子の前記先端部が前記検査対象物に接触することにより、前記基端部から前記第１接続部に向かって前記押力が生じる、請求項４に記載の電気的接続装置。
【請求項６】
前記配線基板に対向して配置され、前記第２電極に接続する配線パターンが配置されたプリント基板を更に備える、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項７】
前記配線基板が、前記配線基板の主面の法線方向から見て、前記検査用端子の間隔を前記プリント基板の前記配線パターンの間隔に変換するスペーストランスフォーマである、請求項６に記載の電気的接続装置。
【請求項８】
前記検査用端子が、一方の端部が前記検査対象物の信号端子と接触可能に配置され、他方の端部が前記配線シートの前記第１接続部に接続されたプローブである、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電気的接続装置。
【請求項９】
前記検査用端子が、前記検査対象物が実装されたパッケージの外部端子と接続するテストソケットに配置されている、請求項１乃至３のいずれか１項に記載の電気的接続装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の電気的特性の検査に使用される電気的接続装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
集積回路などの検査対象物の電気的特性を測定するために、検査対象物に接触させる検査用端子を有する電気的接続装置が用いられている。電気的接続装置を用いる測定では、検査用端子を介して検査対象物をテスタなどの検査装置と電気的に接続させる。
【０００３】
検査対象物の特性を高い精度で測定するために、損失およびノイズなどが低減された電気信号を電気的接続装置に伝搬させることが重要である。例えば、高周波特性を精度よく測定するために、電気信号が伝搬する信号配線に接続するコンデンサなどの電子部品を搭載した電気的接続装置が検討されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００４－２３３１５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、検査対象物の特性を高い精度で測定できる電気的接続装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様に係る電気的接続装置は、検査用端子と、検査用端子に接続する柔軟性を有する配線シートと、配線基板を備える。検査用端子は、検査対象物と接触可能に配置された先端部および先端部に連結する基端部を有する。配線シートは、第１シート面と第２シート面により両面を定義され、第１シート面に検査用端子の基端部に接続する第１接続部が配置され、第２シート面に第２接続部が配置されている。第１接続部と第２接続部を接続する内部回路が、第１シート面と第２シート面の間に形成されている。配線基板は、第２接続部と接続する第１電極が配置され、第２シート面と対向する第１主面、および、第１電極と電気的に接続する第２電極が配置された第２主面を有する。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、検査対象物の特性を高い精度で測定できる電気的接続装置を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式図である。
図２は、実施形態に係る電気的接続装置の構成を示す模式的な平面図である。
図３は、実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの構造の例を示す模式的な断面図である。
図４は、実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの内部回路の例を示す模式図である。
図５は、実施形態に係る電気的接続装置の配線シートの内部回路の他の例を示す模式図である。
図６は、実施形態に係る電気的接続装置に配置される電子回路の配置の例を示す模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、各部の厚みの比率などは現実のものとは異なることに留意すべきである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置などを下記のものに特定するものでない。
【００１０】
図１に示す実施形態に係る電気的接続装置１は、検査対象物２の検査に使用される。電気的接続装置１は、プローブ１０と、プローブ１０に接続された柔軟性を有する配線シート２０と、配線シート２０に積層された配線基板３０と、配線基板３０に積層されたプリント基板４０を備える。以下の説明において、検査対象物２から見て電気的接続装置１が位置している方向を上方向、電気的接続装置１から見て検査対象物２が位置している方向を下方向とする。また、電気的接続装置１の構成部品のそれぞれにおいて、上方向を向いた面を上面、下方向を向いた面を下面とも称する。
（【００１１】以降は省略されています）

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