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公開番号2025022742
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2024081640
出願日2024-05-20
発明の名称クリーニングシート
出願人プローブイノベーション株式会社
代理人個人,個人
主分類G01R 1/06 20060101AFI20250206BHJP(測定;試験)
要約【課題】半導体電気検査に供せられるプローブピンの、先端部に付着したパッドの屑をクリーニングするためのクリーニングシートであって、プローブと電極パッドとの間の、接触抵抗を低減させる機能をもつクリーニングを、短時間に高能率に行えるクリーニングシートの提供を目的とする。
【解決手段】メラニン樹脂またはウレタンゴム等の材料からなるスポンジシートの気泡または空気層を、ゲルまたは大きさが数十ミクロン以下の微細な砥粒を混ぜた研磨性ゲルと置換した構成にしたこと特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
半導体電気検査用のプローブ先端部をクリーニングするクリーニングシートであって、メラニン樹脂やウレタンゴム等を材料とするスポンジシートの内部の空気層および気泡部の空気を、ゲルまたは研磨性ゲルで置換したことを特徴とする、クリーニングシート。
続きを表示（約 230 文字）【請求項２】
前記メラニン樹脂やウレタンゴム等を材料とするスポンジシートの内部の空気層および気泡部の空気を、ゲルまたは研磨性ゲルで置換するに際して、低粘度の液体シリコンまたは低粘度の液体エポキシ樹脂等の低粘度液体、または前記低粘度液体に砥粒を混在させた低粘度研磨性液体を、前記スポンジシートに含侵させた上で、前記低粘度液体または低位粘度研磨性液体を加熱硬化させて、低粘度ゲルまたは低粘度研磨性ゲルとしたことを特徴とする、請求項１に記載のクリーニングシート。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この発明は、半導体電気検査用プローブの先端部のクリーニング用の、クリーニングシートに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体電気検査用のプローブの先端には、検査対象パッドの破片が粉屑となって付着し、これが堆積するみと検査信号にノイズを与える。そのため、定期的にプローブ先端をクリーニングシートを用いて、先端に付着した粉屑を除去する必要がある。
【０００３】
従来、一般的に使用されているクリーニングシートは、メラニン樹脂やウレタンゴム等を材料とするスポンジシートであって、表面に気泡の穴を有し、内部に空気層と気泡を有するシートの表面に、研磨性ゲルを塗布したものか、あるいは砥粒を散布して接着したものが一般的に使用されている。
【０００４】
また、スポンジシートの代わりに、適切な硬度、弾性率および破壊強度を有する、シリコンゴム、液状シリコンゴム等で形成される材料に、砥粒を混在させたシートを、クリーニングシートとして用いている例もある。
【０００５】
以下、従来使用されているクリーニングシートの代表的な2つの例を、図８、
図9、および図10を用いて説明する。
【０００６】
図8は、一般的に広く普及しているプローブ用のクリーニングシートの構造と作用を説明する図である。同図において、クリーニングシート51は、メラニン樹脂またはウレタンゴム等を材料とし、複数の気泡または空気層53を有するスポンジシート52に、微小な砥粒を混ぜてある研磨性ゲル54を塗布して、基板シート55に塗布した構成となっている。
【０００７】
同図の(a)、(b)は、それぞれプローブ56を、前記のクリーニングシート51に差し込む前と後の状態をしめしている。同図(b)では、前記プローブ56を矢印59の方向から、前記のクリーニングシート51に差し込んだ結果、前記プローブの先端部57が、前記のスポンジシート52に、前記の研磨性ゲル54の一部58を巻き込んでいる状態を示す。
【０００８】
このとき、前記の研磨性ゲルの一部58が、前記プローブの先端部57と前記のスポンジシート52に挟まれた状態で、前記のプローブ先端部57の表面をクリーニングする。
【０００９】
前記プローブ5６が、差し込む位置を変えながら、交互に同図(a)、(b)の矢印59、60の方向に、移動することによって、前記プローブの先端部57のクリーニングが行われるようになっている。
【００１０】
しかしながら、上述したクリーニングシート51によるプローブのクリーニングでは、次のような不具合があった。
第一の不具合は、前記の研磨性ゲル54の厚みが小さいため、前記のプローブ先端部57が前記研磨性ゲル54を通過して前記スポンジシートに到達すると、クリーニングされなくなり、クリーニングの効果が小さいことである。その結果、プローブ先端の図示しないパッドの屑が残存しやすく、接触抵抗が大きくなることである。
（【００１１】以降は省略されています）

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