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公開番号2025022362
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2023126841
出願日2023-08-03
発明の名称検査方法及び検査装置
出願人レーザーテック株式会社
代理人個人
主分類G01N 21/956 20060101AFI20250206BHJP(測定;試験)
要約【課題】検査精度及びスループットを向上させることができる検査方法及び検査装置を提供する。
【解決手段】本実施形態に係る検査方法は、試料80上の検査領域85において、ストライプ領域SAを、オートフォーカス領域AF及びフォーカス外領域NFに区分する区分ステップと、試料80の撮像位置を走査させるときに、オートフォーカス領域AFでは、フォーカス合わせ処理を行わせ、フォーカス外領域NFでは、フォーカス合わせ処理を制限させて走査させる走査ステップと、を備え、特定ストライプ領域SA1におけるフォーカス情報を取得するフォーカス情報取得ステップと、取得したフォーカス情報に基づいて、フォーカス外領域NFの移動軌道を生成する軌道生成ステップと、をさらに備え、走査ステップは、移動軌道に基づいて、対物レンズ131の位置を移動させることにより、当該移動軌道で定まる位置からのフォーカス合わせ処理を制限させる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
試料上の一方向に延びた複数のストライプ領域を含む検査領域において、前記ストライプ領域を、オートフォーカス領域及びフォーカス外領域に区分する区分ステップと、
前記試料に対向した対物レンズを含む撮像部が撮像する前記試料の撮像位置を前記ストライプ領域に沿って走査させるときに、前記オートフォーカス領域では、前記対物レンズのフォーカス状態を検出するフォーカス部から出力されたフォーカス状態情報に基づいて、前記対物レンズの光軸方向に沿った前記対物レンズと前記試料との相対位置を変えることによってフォーカスを合わせるフォーカス合わせ処理を行わせ、前記フォーカス外領域では、前記フォーカス合わせ処理を制限させて走査させる走査ステップと、
を備える検査方法であって、
前記複数のストライプ領域のうち、特定ストライプ領域における少なくとも前記フォーカス外領域を挟む２つの前記オートフォーカス領域を前記撮像位置が走査して、前記フォーカス合わせ処理を行うことにより、前記試料にフォーカスする前記対物レンズの位置情報を含むフォーカス情報を取得するフォーカス情報取得ステップと、
前記フォーカス情報取得ステップにおいて取得した前記フォーカス情報に基づいて、前記特定ストライプ領域における前記フォーカス外領域の移動軌道を生成する軌道生成ステップと、
をさらに備え、
前記走査ステップでは、前記ストライプ領域における前記フォーカス外領域において、前記軌道生成ステップにおいて生成された前記移動軌道に基づいて、前記対物レンズの位置を前記対物レンズの光軸方向に変化させ、当該移動軌道で定まる位置からの前記フォーカス合わせ処理を制限させる、
検査方法。
続きを表示（約 2,800 文字）【請求項２】
前記フォーカス情報取得ステップは、
前記特定ストライプ領域を前記撮像位置が走査して、前記フォーカス合わせ処理を行うことにより、前記特定ストライプ領域の前記フォーカス情報を取得し、
前記区分ステップは、
前記フォーカス情報取得ステップで取得した前記特定ストライプ領域の前記フォーカス情報に基づいて、前記特定ストライプ領域を前記オートフォーカス領域及び前記フォーカス外領域に区分する、
請求項１に記載の検査方法。
【請求項３】
前記軌道生成ステップは、
前記フォーカス情報取得ステップにおいて取得した前記フォーカス外領域を挟む２つの前記オートフォーカス領域の前記フォーカス情報に対して、補間データ処理を行うことによって、前記特定ストライプ領域における前記フォーカス外領域の前記移動軌道を生成する、
請求項１に記載の検査方法。
【請求項４】
前記区分ステップは、
特定ストライプと隣接する隣接ストライプに沿った隣接ストライプ領域を、前記特定ストライプ領域に対する区分に対応させて前記オートフォーカス領域及び前記フォーカス外領域に区分し、
前記走査ステップは、
前記隣接ストライプ領域における前記フォーカス外領域を、前記軌道生成ステップにおいて生成された前記特定ストライプ領域における前記フォーカス外領域の前記移動軌道に基づいて、前記一方向における前記特定ストライプ領域の走査と逆向きに走査しつつ、前記フォーカス合わせ処理を制限させる、
請求項１に記載の検査方法。
【請求項５】
前記区分ステップは、
前記特定ストライプと隣接せず且つ前記隣接ストライプと隣接する第３ストライプに沿った第３ストライプ領域を、前記特定ストライプ領域に対する区分に対応させて前記オートフォーカス領域及び前記フォーカス外領域に区分し、
前記軌道生成ステップは、
前記隣接ストライプ領域に対する前記走査ステップにおいて取得した前記フォーカス情報であって、前記隣接ストライプ領域における前記フォーカス外領域を挟む２つの前記オートフォーカス領域の前記フォーカス情報に基づいて、前記隣接ストライプ領域における前記フォーカス外領域の前記移動軌道を生成させ、
前記走査ステップは、
前記第３ストライプ領域における前記フォーカス外領域を、前記隣接ストライプに対して生成された前記移動軌道に基づいて走査しつつ、前記フォーカス合わせ処理を制限させる、
請求項４に記載の検査方法。
【請求項６】
前記区分ステップは、
特定ストライプ領域以外の前記ストライプ領域を、特定ストライプ領域に対する区分に対応させて前記オートフォーカス領域及び前記フォーカス外領域に区分し、
前記走査ステップは、
特定ストライプをｉ番目のストライプとしたときに、（ｉ＋２ｎ）番目の前記ストライプに沿った前記ストライプ領域を前記一方向における前記特定ストライプ領域の走査と同じ向きに走査し、（ｉ＋２ｎ＋１）番目の前記ストライプに沿った前記ストライプ領域を前記一方向における前記特定ストライプ領域の走査と逆向きに走査し、
かつ、
前記（ｉ＋２ｎ）番目の前記ストライプ領域における前記フォーカス外領域を、前記軌道生成ステップにおいて生成された前記特定ストライプ領域における前記フォーカス外領域の前記移動軌道に基づいて、前記同じ向きに走査しつつ、前記フォーカス合わせ処理を制限させ、
前記（ｉ＋２ｎ＋１）番目の前記ストライプ領域における前記フォーカス外領域を、前記軌道生成ステップにおいて生成された前記特定ストライプ領域における前記フォーカス外領域の前記移動軌道に基づいて、前記逆向きに走査しつつ、前記フォーカス合わせ処理を制限させる、
請求項１に記載の検査方法。
【請求項７】
前記フォーカス情報は、前記試料にフォーカスする前記撮像位置における輝度を含む、
請求項１に記載の検査方法。
【請求項８】
前記フォーカス合わせ処理は、
前記対物レンズの光軸方向に沿った前記対物レンズと前記試料との相対位置の変化量を前記試料の振動に起因する所定範囲内に留める補助フォーカス合わせ処理と、前記変化量を前記所定範囲に留めない本フォーカス合わせ処理とを含み、
前記走査ステップは、前記ストライプ領域における前記フォーカス外領域において、少なくとも前記本フォーカス合わせ処理を禁止することによって、前記移動軌道で定まる位置からの前記フォーカス合わせ処理を制限する、
請求項１に記載の検査方法。
【請求項９】
前記フォーカス外領域の種別を判定する判定ステップを備え、
前記走査ステップは、前記ストライプ領域における前記フォーカス外領域において、
当該フォーカス外領域の前記種別が所定の第１種別である場合には、前記補助フォーカス合わせ処理を禁止し、且つ、前記本フォーカス合わせ処理を禁止することによって、前記移動軌道で定まる位置からの前記フォーカス合わせ処理を制限し、
当該フォーカス外領域の種別が前記第１種別ではない場合には、前記補助フォーカス合わせ処理を許容し、且つ、前記本フォーカス合わせ処理を禁止することによって、前記移動軌道で定まる位置からの前記フォーカス合わせ処理を制限する、
請求項８に記載の検査方法。
【請求項１０】
前記判定ステップは、
前記フォーカス外領域が、前記試料上に形成された複数のダイを囲む溝状のブラックボーダー、及び、前記試料上に形成された前記ダイと前記ダイとの間のスクライブを含む場合に、前記ブラックボーダーを前記第１種別と判定し、前記スクライブを前記第１種別と異なる所定の前記種別と判定し、
前記フォーカス外領域が、前記ブラックボーダー、及び、前記試料上に形成された実際の位置の変化よりも大きい位置の変化を示す特異部を含む場合に、前記ブラックボーダーを前記第１種別と判定し、前記特異部を前記第１種別と異なる前記所定の前記種別と判定し、
前記フォーカス外領域が、前記ブラックボーダー、前記スクライブ、及び、前記特異部を含む場合に、前記ブラックボーダーを前記第１種別と判定し、前記スクライブ、及び、前記特異部の少なくともいずれかを前記第１種別と異なる前記所定の前記種別と判定する、
請求項９に記載の検査方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、検査方法及び検査装置に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、検査対象となるフォトマスク等の試料の検査面の属性に応じて、フォーカス合わせを行う領域とフォーカス合わせを行わない領域とを区分し、フォーカス合わせを行う領域に対してフォーカス合わせを行う技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１２－０７８１６４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、フォーカス合わせを行わない領域を移動する際の移動軌道によっては、フォーカス合わせを行わない領域からフォーカス合わせを行うべき領域に切り替わったときに、円滑にフォーカス追従ができない場合があり得る。よって、フォーカス合わせを行わない領域の移動軌道を適切に決定することが検査精度とスループットとの両立に当たり重要である。
【０００５】
本開示は、このような問題点を鑑みてなされたものであり、検査精度及びスループットを向上させることができる検査方法及び検査装置を提供するものである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本実施形態の一態様にかかる検査方法は、試料上の一方向に延びた複数のストライプ領域を含む検査領域において、前記ストライプ領域を、オートフォーカス領域及びフォーカス外領域に区分する区分ステップと、前記試料に対向した対物レンズを含む撮像部が撮像する前記試料の撮像位置を前記ストライプ領域に沿って走査させるときに、前記オートフォーカス領域では、前記対物レンズのフォーカス状態を検出するフォーカス部から出力されたフォーカス状態情報に基づいて、前記対物レンズの光軸方向に沿った前記対物レンズと前記試料との相対位置を変えることによってフォーカスを合わせるフォーカス合わせ処理を行わせ、前記フォーカス外領域では、前記フォーカス合わせ処理を制限させて走査させる走査ステップと、を備える検査方法であって、前記複数のストライプ領域のうち、特定ストライプ領域における少なくとも前記フォーカス外領域を挟む２つの前記オートフォーカス領域を前記撮像位置が走査して、前記フォーカス合わせ処理を行うことにより、前記試料にフォーカスする前記対物レンズの位置情報を含むフォーカス情報を取得するフォーカス情報取得ステップと、前記フォーカス情報取得ステップにおいて取得した前記フォーカス情報に基づいて、前記特定ストライプ領域における前記フォーカス外領域の移動軌道を生成する軌道生成ステップと、をさらに備え、前記走査ステップでは、前記ストライプ領域における前記フォーカス外領域において、前記軌道生成ステップにおいて生成された前記移動軌道に基づいて、前記対物レンズの位置を前記対物レンズの光軸方向に変化させ、当該移動軌道で定まる位置からの前記フォーカス合わせ処理を制限させる。
【０００７】
上記の検査方法では、前記フォーカス情報取得ステップは、前記特定ストライプ領域を前記撮像位置が走査して、前記フォーカス合わせ処理を行うことにより、前記特定ストライプ領域の前記フォーカス情報を取得し、前記区分ステップは、前記フォーカス情報取得ステップで取得した前記特定ストライプ領域の前記フォーカス情報に基づいて、前記特定ストライプ領域を前記オートフォーカス領域及び前記フォーカス外領域に区分してもよい。
【０００８】
上記の検査方法では、前記軌道生成ステップは、前記フォーカス情報取得ステップにおいて取得した前記フォーカス外領域を挟む２つの前記オートフォーカス領域の前記フォーカス情報に対して、補間データ処理を行うことによって、前記特定ストライプ領域における前記フォーカス外領域の前記移動軌道を生成してもよい。
【０００９】
上記の検査方法では、前記区分ステップは、特定ストライプと隣接する隣接ストライプに沿った隣接ストライプ領域を、前記特定ストライプ領域に対する区分に対応させて前記オートフォーカス領域及び前記フォーカス外領域に区分し、前記走査ステップは、前記隣接ストライプ領域における前記フォーカス外領域を、前記軌道生成ステップにおいて生成された前記特定ストライプ領域における前記フォーカス外領域の前記移動軌道に基づいて、前記一方向における前記特定ストライプ領域の走査と逆向きに走査しつつ、前記フォーカス合わせ処理を制限させてもよい。
【００１０】
上記の検査方法では、前記区分ステップは、前記特定ストライプと隣接せず且つ前記隣接ストライプと隣接する第３ストライプに沿った第３ストライプ領域を、前記特定ストライプ領域に対する区分に対応させて前記オートフォーカス領域及び前記フォーカス外領域に区分し、前記軌道生成ステップは、前記隣接ストライプ領域に対する前記走査ステップにおいて取得した前記フォーカス情報であって、前記隣接ストライプ領域における前記フォーカス外領域を挟む２つの前記オートフォーカス領域の前記フォーカス情報に基づいて、前記隣接ストライプ領域における前記フォーカス外領域の前記移動軌道を生成させ、前記走査ステップは、前記第３ストライプ領域における前記フォーカス外領域を、前記隣接ストライプに対して生成された前記移動軌道に基づいて走査しつつ、前記フォーカス合わせ処理を制限させてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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