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公開番号2025022034
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2023126249
出願日2023-08-02
発明の名称静電容量測定装置及び静電容量測定方法
出願人株式会社村田製作所
代理人弁理士法人WisePlus
主分類G01R 27/26 20060101AFI20250206BHJP(測定;試験)
要約【課題】プローブの先端部分で発生する浮遊容量を低減し、測定対象物の静電容量を高精度で測定できる静電容量測定装置を提供する。
【解決手段】長手方向に延伸し、略並行に配置される一対のプローブ10と、上記一対のプローブ10に接続される静電容量測定器と、平板状であり、互いに対向する第1主面20a及び第2主面20bが延伸する方向が上記一対のプローブ10が延伸する方向と平行な方向であり、上記一対のプローブ10の間に上記第1主面20a及び上記第2主面20bが挟まれるように配置されるシールド板20と、上記シールド板20の上記第1主面20a及び上記第2主面20bにそれぞれ設けられる絶縁層30と、を備える静電容量測定装置1であって、上記一対のプローブ10が互いに重なる方向からみた際に、上記一対のプローブ10と重なるすべての位置に上記シールド板20が配置されている、ことを特徴とする静電容量測定装置1。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
長手方向に延伸し、略並行に配置される一対のプローブと、
前記一対のプローブに接続される静電容量測定器と、
平板状であり、互いに対向する第１主面及び第２主面が延伸する方向が前記一対のプローブが延伸する方向と平行な方向であり、前記一対のプローブの間に前記第１主面及び前記第２主面が挟まれるように配置されるシールド板と、
前記シールド板の前記第１主面及び前記第２主面にそれぞれ設けられる絶縁層と、を備える静電容量測定装置であって、
前記一対のプローブが互いに重なる方向からみた際に、前記一対のプローブと重なるすべての位置に前記シールド板が配置されている、ことを特徴とする静電容量測定装置。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
前記一対のプローブの先端を、前記長手方向に沿って動かすプローブ駆動機構をさらに備える、請求項１に記載の静電容量測定装置。
【請求項３】
前記一対のプローブを構成する各プローブは、直径が３０μｍ以上、２６０μｍ以下、先端径が１μｍ以上、１０μｍ以下である、請求項１に記載の静電容量測定装置。
【請求項４】
請求項１～３のいずれかに記載の静電容量測定装置を用いて積層セラミックコンデンサの静電容量を測定する静電容量測定方法であって、
積層セラミックコンデンサは、積層方向に対向する２つの主面と、前記積層方向に直交する長手方向に対向する２つの端面と、前記積層方向及び前記長手方向に直交する幅方向に対向する２つの側面とを、を有する略直方体の素体と、前記２つの端面にそれぞれ形成された外部電極と、を有し、
前記一対のプローブが、前記一対の外部電極に当接することで静電容量を測定する、ことを特徴とする静電容量測定方法。
【請求項５】
前記一対の外部電極は、前記２つの端面以外の４面の少なくとも１面にも、稜線部を跨いで形成されており、
前記一対の外部電極の、前記２つの端面から稜線部を跨いで形成された部分に、前記一対のプローブを当接させることで静電容量を測定する、請求項４に記載の静電容量測定方法。
【請求項６】
前記一対のプローブが前記一対の外部電極に当接した状態において、前記シールド板が、前記一対のプローブの先端よりも前記積層セラミックコンデンサ側に突出しており、
前記一対のプローブを当接させた際の前記シールド板の先端から前記素体までの距離が、前記外部電極の厚さ以下である、請求項５に記載の静電容量測定方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、静電容量測定装置及び静電容量測定方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、通信機器によるデータ量が増大しており、高周波領域においてコンデンサが使われるようになってきている。特に、静電容量のばらつきを低減するために、静電容量の測定における高精度化が求められている。
【０００３】
静電容量を測定する方法としては、例えば、特許文献１には、プローブと、プローブ間に絶縁層を配置する方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００４－１４４６６３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、特許文献１のような測定方法だと、プローブの先端部分で浮遊容量が発生するため、測定対象物の静電容量を高精度で測定できないという問題があった。
【０００６】
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、プローブの先端部分で発生する浮遊容量を低減し、測定対象物の静電容量を高精度で測定できる静電容量測定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の静電容量測定装置は、長手方向に延伸し、略並行に配置される一対のプローブと、上記一対のプローブに接続される静電容量測定器と、平板状であり、互いに対向する第１主面及び第２主面が延伸する方向が上記一対のプローブが延伸する方向と平行な方向であり、上記一対のプローブの間に上記第１主面及び上記第２主面が挟まれるように配置されるシールド板と、上記シールド板の上記第１主面及び上記第２主面にそれぞれ設けられる絶縁層と、を備える静電容量測定装置であって、上記一対のプローブが互いに重なる方向からみた際に、上記一対のプローブと重なるすべての位置に上記シールド板が配置されている、ことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、プローブの先端部分で発生する浮遊容量を低減し、測定対象物の静電容量を高精度で測定できる静電容量測定装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、本発明の静電容量測定装置の一例を模式的に示す図である。
図２は、図１におけるＡ－Ａ線断面図である。
図３は、図１に示す静電容量測定装置におけるシールド板と一対のプローブの関係を模式的に示す斜視図である。
図４は、本発明の静電容量測定装置の別の一例を模式的に示す斜視図である。
図５は、図４に示す静電容量測定装置を用いた静電容量測定方法の一例を示す側面視図である。
図６は、図５に示す静電容量測定装置において、一対の外部電極に一対のプローブを当接させた状態を模式的に示す図である。
図７は、本発明の静電容量測定装置のさらに別の一例におけるシールド板と一対のプローブの関係を模式的に示す斜視図である。
図８は、図７に示した静電容量測定装置を用いて積層セラミックコンデンサの静電容量を測定する方法の一例を模式的に示す側面視図である。
図９は、図８に示す静電容量測定装置において、積層セラミックコンデンサに一対のプローブを近づけた状態を模式的に示す図である。
図１０は、図９に示す静電容量測定装置において、プローブ駆動機構を用いて一対のプローブを積層セラミックコンデンサ側に駆動させた状態を模式的に示す図である。
図１１は、本発明の静電容量測定装置のさらに別の一例を模式的に示す上面視図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の静電容量測定装置について説明する。しかしながら、本発明は、以下の構成に限定されるものではなく、本発明の要旨を変更しない範囲において適宜変更して適用することができる。なお、以下において記載する本発明の個々の望ましい構成を２つ以上組み合わせたものもまた本発明である。
（【００１１】以降は省略されています）

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