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公開番号2025021522
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-14
出願番号2023125272
出願日2023-08-01
発明の名称配線基板
出願人イビデン株式会社
代理人個人
主分類H05K 3/46 20060101AFI20250206BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】高い品質を有する配線基板の提供。
【解決手段】実施形態の配線基板は、ガラス製の基板と基板を貫通する貫通孔と貫通孔内に形成されているスルーホール導体とを有するコア基板と、コア基板上に形成されていて、第1面と第2面とビア導体用の開口を有する樹脂絶縁層と、樹脂絶縁層の第1面上に形成されている第1導体層と、開口内に形成されていて、スルーホール導体と電気的に繋がっているビア導体、とを有する。第1導体層とビア導体は、シード層と電解めっき層によって形成されており、シード層はスパッタリングによって形成されている。樹脂絶縁層は樹脂と無機粒子によって形成されており、無機粒子は樹脂に部分的に埋まっている第1無機粒子と樹脂に埋まっている第2無機粒子を含み、第1無機粒子は樹脂から突出する第1部分と樹脂に埋まっている第2部分で形成され、第1面は樹脂の上面と上面から露出する第1部分の露出面で形成されている。
【選択図】図3A
特許請求の範囲【請求項１】
ガラス製の基板と前記基板を貫通する貫通孔と前記貫通孔内に形成されているスルーホール導体とを有するコア基板と、
前記コア基板上に形成されていて、第１面と前記第１面と反対側の第２面と前記第１面から前記第２面に至るビア導体用の開口を有する樹脂絶縁層と、
前記樹脂絶縁層の前記第１面上に形成されている第１導体層と、
前記開口内に形成されていて、前記スルーホール導体と電気的に繋がっているビア導体、とを有する配線基板であって、
前記第１導体層と前記ビア導体は、シード層と前記シード層上に形成される電解めっき層によって形成されており、前記シード層はスパッタリングによって形成されており、
前記樹脂絶縁層は樹脂と無機粒子によって形成されており、前記無機粒子は前記樹脂に部分的に埋まっている第１無機粒子と前記樹脂に埋まっている第２無機粒子を含み、前記第１無機粒子は前記樹脂から突出する第１部分と前記樹脂に埋まっている第２部分で形成され、前記第１面は前記樹脂の上面と前記上面から露出する前記第１部分の露出面で形成されている。
続きを表示（約 790 文字）【請求項２】
請求項１の配線基板であって、前記第１部分の体積と前記第１無機粒子の体積との比は０より大きく０．４以下である。
【請求項３】
請求項１の配線基板であって、前記無機粒子はガラス粒子である。
【請求項４】
請求項１の配線基板であって、前記無機粒子は前記開口の内壁面を形成する第３無機粒子をさらに含み、前記内壁面は前記第３無機粒子と前記樹脂によって形成されており、前記第３無機粒子は平坦部を有し、前記平坦部が前記内壁面を形成する。
【請求項５】
請求項４の配線基板であって、前記平坦部と前記内壁面を形成する前記樹脂の面は、ほぼ共通な面を形成する。
【請求項６】
請求項４の配線基板であって、前記第２無機粒子の形は球であり、前記第３無機粒子の形状は前記第２無機粒子を平面で切断することで得られる。
【請求項７】
請求項４の配線基板であって、前記開口を形成することは、前記開口の前記内壁面を形成する前記樹脂から突出する突出部分を有する前記無機粒子を形成することを含み、前記第３無機粒子は前記無機粒子の前記突出部分を除去することで形成される。
【請求項８】
請求項４の配線基板であって、前記開口を形成することは、前記第２無機粒子から突出部分を有する前記無機粒子を形成することを含み、前記開口の前記内壁面は前記突出部分を除去することで形成される前記第３無機粒子の露出面を含む。
【請求項９】
請求項１の配線基板であって、前記無機粒子は酸素元素を含む。
【請求項１０】
請求項１の配線基板であって、前記シード層は第１層と前記第１層上に形成される第２層を有しており、前記第１層は銅とアルミニウムを含有する合金からなる。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本明細書によって開示される技術は配線基板に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１はガラス材質のコアを有する多層基板を開示する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－１３３４７３号公報
【発明の概要】
【０００４】
［特許文献１の課題］
特許文献１はガラス材質からなる第１絶縁層の光透過率を制御している。光透過率の制御方法の例として、特許文献１は第１絶縁層内に着色剤が含有されると述べている。ガラス材質からなる第１絶縁層が着色剤を均一に含有することは難しいと考えられる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明の配線基板は、ガラス製の基板と前記基板を貫通する貫通孔と前記貫通孔内に形成されているスルーホール導体とを有するコア基板と、前記コア基板上に形成されていて、第１面と前記第１面と反対側の第２面と前記第１面から前記第２面に至るビア導体用の開口を有する樹脂絶縁層と、前記樹脂絶縁層の前記第１面上に形成されている第１導体層と、前記開口内に形成されていて、前記スルーホール導体と電気的に繋がっているビア導体、とを有する。前記第１導体層と前記ビア導体は、シード層と前記シード層上に形成される電解めっき層によって形成されており、前記シード層はスパッタリングによって形成されている。前記樹脂絶縁層は樹脂と無機粒子によって形成されており、前記無機粒子は前記樹脂に部分的に埋まっている第１無機粒子と前記樹脂に埋まっている第２無機粒子を含み、前記第１無機粒子は前記樹脂から突出する第１部分と前記樹脂に埋まっている第２部分で形成され、前記第１面は前記樹脂の上面と前記上面から露出する前記第１部分の露出面で形成されている。
【０００６】
本発明の実施形態の配線基板では、コア基板はガラス製の基板を含む。ガラス製の基板は平坦性に優れる。そのため樹脂絶縁層の第１面は平坦性に優れる。第１面は平滑性に優れる。実施形態は樹脂絶縁層の第１面上に微細な配線を形成することができる。実施形態では樹脂絶縁層の第１面に凹部がほぼ形成されない。そのため、樹脂絶縁層上にスパッタリングによってシード層が形成される場合、スパッタリング製膜の厚みが薄くても実施形態は連続するシード層を形成することができる。その結果、シード層が除去される時、実施形態はエッチング量を少なくすることができる。実施形態は樹脂絶縁層上に微細な配線を形成することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
実施形態の配線基板を模式的に示す断面図。
実施形態の配線基板の一部を模式的に示す拡大断面図。
実施形態の配線基板の一部を模式的に示す拡大断面図。
内壁面の一部を模式的に示す拡大断面図。
シード層の一部を模式的に示す拡大断面図。
実施形態の配線基板の一部を模式的に示す断面写真。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す拡大断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す拡大断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す拡大断面図。
実施形態の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
改変例の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
改変例の配線基板の製造方法を模式的に示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
［実施形態］
図１は実施形態の配線基板２を示す断面図である。図２と図３Ａは実施形態の配線基板２の一部を示す拡大断面図である。図１に示されるように、配線基板２は、コア基板３と表側ビルドアップ層３００Ｆと裏側ビルドアップ層３００Ｂとを有する。
【０００９】
コア基板３は基板４と貫通孔６とスルーホール導体８を有する。基板４は表面５Ｆと表面５Ｆと反対側の裏面５Ｂを有する。基板４はガラス製である。貫通孔６は基板４を貫通する。貫通孔６の形状は略円柱である。貫通孔６の径はほぼ一定である。貫通孔６の形状は略円錐台であってもよい。貫通孔６の形状は２つの略円錐を繋げることで得られる形状でもよい。２つの円錐は表面側の円錐と裏面側の円錐である。表面側の円錐の底面は表面５Ｆに位置し、裏面側の円錐の底面は裏面５Ｂに位置する。この場合、貫通孔６の側面は表面５Ｆから裏面５Ｂに向かってテーパーしている面と裏面５Ｂから表面５Ｆに向かってテーパーしている面で形成される。
【００１０】
スルーホール導体８は貫通孔６内に形成されている。スルーホール導体８は主に銅によって形成されている。スルーホール導体８は、貫通孔６の内壁面上に形成されるシード層１０ａとシード層１０ａ上に形成される電解めっき層１０ｂを含む。電解めっき層１０ｂは貫通孔６を充填する。シード層１０ａは無電解めっきによって形成される。スルーホール導体８は上端８Ｆと下端８Ｂを有する。上端８Ｆの面と表面５Ｆは実質的に同一な平面を形成する。下端８Ｂの面と裏面５Ｂは実質的に同一な平面を形成する。上端８Ｆは表面５Ｆから露出する。下端８Ｂは裏面５Ｂから露出する。
（【００１１】以降は省略されています）

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