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公開番号2025015391
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2024005551
出願日2024-01-17
発明の名称磁気センサ素子及びその製造方法
出願人愛知製鋼株式会社
代理人弁理士法人あいち国際特許事務所
主分類G01R 33/02 20060101AFI20250123BHJP(測定;試験)
要約【課題】ノイズの生じ難い磁気センサ素子及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】基板2と、基板2上に配設された磁性ワイヤ3と、磁性ワイヤ3の外周に螺旋状に設けられた薄膜導体からなる検出コイル4と、を備えた磁気センサ素子1。基板2には、凹状の内壁面を有する溝部23が形成されている。検出コイル4は、溝部23の内壁面に互いに並列に成膜された複数の第1配線部41と、第1配線部41に接続されると共に互いに並列に形成された複数の第2配線部42とを有する。磁性ワイヤ3は、絶縁体5に被覆された状態で、複数の第1配線部41が形成された溝部23内に配置されている。第2配線部42は、絶縁体5を介して、磁性ワイヤ3における溝部23から露出した部分に形成されている。第1配線部41と第2配線部42とは、滑らかにつながっている。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
基板と、前記基板上に配設された磁性ワイヤと、前記磁性ワイヤの外周に螺旋状に設けられた薄膜導体からなる検出コイルと、を備えた磁気センサ素子であって、
前記基板には、凹状の内壁面を有する溝部が形成されており、
前記検出コイルは、前記溝部の内壁面に互いに並列に成膜された複数の第１配線部と、前記第１配線部に接続されると共に互いに並列に形成された複数の第２配線部とを有し、
前記磁性ワイヤは、絶縁体に被覆された状態で、複数の前記第１配線部が形成された前記溝部内に配置されており、
前記第２配線部は、前記絶縁体を介して、前記磁性ワイヤにおける前記溝部から露出した部分に形成されており、
前記第１配線部と前記第２配線部とは、滑らかにつながっている、磁気センサ素子。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記検出コイルは、１本の前記磁性ワイヤの外周面に沿って、薄膜状の前記絶縁体を介して、螺旋状に設けられている、請求項１に記載の磁気センサ素子。
【請求項３】
前記磁性ワイヤと前記検出コイルとの間に介在する前記絶縁体は、全周にわたり、前記検出コイルの膜厚以下の膜厚を有する、請求項２に記載の磁気センサ素子。
【請求項４】
前記磁性ワイヤは、長手方向に直交する断面の形状が円形であり、前記溝部は、長手方向に直交する断面の形状が、半円形である、請求項２又は３に記載の磁気センサ素子。
【請求項５】
複数本の前記磁性ワイヤが互いに並列に配置されたワイヤ群を有し、前記検出コイルは、前記ワイヤ群の外周に螺旋状に設けられている、請求項１に記載の磁気センサ素子。
【請求項６】
前記溝部の前記内壁面は、平坦面状の平坦底面を有する、請求項５に記載の磁気センサ素子。
【請求項７】
前記磁性ワイヤは、長手方向に直交する断面の形状が円形であり、前記平坦底面の幅をＷ、前記磁性ワイヤの直径をｄ、前記ワイヤ群に含まれる前記磁性ワイヤの本数をＮ、としたとき、１＜Ｗ／｛ｄ×（Ｎ－１）｝≦１０を満たす、請求項６に記載の磁気センサ素子。
【請求項８】
請求項１又は２に記載の磁気センサ素子を製造する方法であって、
前記基板の表面に、前記溝部を形成し、
前記溝部の前記内壁面に、複数の前記第１配線部を形成した後、前記絶縁体の一部となる第１絶縁体を介して、前記磁性ワイヤを前記溝部内に配置し、
前記磁性ワイヤにおける前記溝部から露出した部分に、前記絶縁体の他の一部となる第２絶縁体を介して、複数の前記第２配線部を形成する、磁気センサ素子の製造方法。
【請求項９】
請求項５に記載の磁気センサ素子を製造する方法であって、
前記基板の表面に、前記溝部を形成し、
前記溝部の前記内壁面に、複数の前記第１配線部を形成した後、前記絶縁体の一部となる第１絶縁体を介して、複数本の前記磁性ワイヤを前記溝部内に並列配置し、
複数本の前記磁性ワイヤにおける前記第１絶縁体に接していない部分を、前記絶縁体の他の一部となる第２絶縁体によって覆った後、前記第２絶縁体の表面に、複数の前記第２配線部を形成する、磁気センサ素子の製造方法。
【請求項１０】
複数本の前記磁性ワイヤを前記溝部内に配置する前に、前記第１絶縁体を、前記溝部の内壁面に形成し、前記第１絶縁体は、前記溝部の底面から開口部側へ向かって突出した突起部を有し、複数本の前記磁性ワイヤは、前記突起部を挟んで、前記溝部内に並列配置される、請求項９に記載の磁気センサ素子の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、磁気センサ素子及びその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
磁気センサ素子として、基板と、基板上に配設された磁性ワイヤと、磁性ワイヤの外周に螺旋状に設けられた薄膜導体からなる検出コイルと、を備えたマグネトインピーダンス素子が、特許文献１に開示されている。
【０００３】
特許文献１においては、基板に溝を設け、溝の底面と側面とに薄膜導体パターンを形成すると共に、溝に充填され磁性ワイヤを埋設した絶縁層（以下において、埋設絶縁層ともいう。）の表面にも、薄膜導体パターンを形成する。これらの導体パターンを繋げることにより、検出コイルを形成している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第３７８１０５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、前記従来の磁気センサ素子においては、以下の課題がある。
すなわち、溝の底面と側面との間の角部においては、検出コイルの導体配線にエッジが形成されることとなる。さらには、溝の側面に形成された導体配線と、埋設絶縁層の表面に形成された導体配線との間のつなぎ目にも、エッジが形成されることとなる。これらの検出コイルのエッジは、ノイズ源となり、出力特性に損失を与えることが懸念される。
【０００６】
本発明は、かかる課題に鑑みてなされたものであり、ノイズの生じ難い磁気センサ素子及びその製造方法を提供しようとするものである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一態様は、基板と、前記基板上に配設された磁性ワイヤと、前記磁性ワイヤの外周に螺旋状に設けられた薄膜導体からなる検出コイルと、を備えた磁気センサ素子であって、
前記基板には、凹曲面状の内壁面を有する溝部が形成されており、
前記検出コイルは、前記溝部の内壁面に互いに並列に成膜された複数の第１配線部と、前記第１配線部に接続されると共に互いに並列に形成された複数の第２配線部とを有し、
前記磁性ワイヤは、絶縁体に被覆された状態で、複数の前記第１配線部が形成された前記溝部内に配置されており、
前記第２配線部は、前記絶縁体を介して、前記磁性ワイヤにおける前記溝部から露出した部分に形成されており、
前記第１配線部と前記第２配線部とは、滑らかにつながっている、磁気センサ素子にある。
【０００８】
本発明の他の態様は、前記磁気センサ素子を製造する方法であって、
前記基板の表面に、前記溝部を形成し、
前記溝部の内壁面に、複数の前記第１配線部を形成した後、前記絶縁体の一部を介して、前記磁性ワイヤを前記溝部内に配置し、
前記磁性ワイヤにおける前記溝部から露出した部分に、前記絶縁体の他の一部を介して、複数の前記第２配線部を形成する、磁気センサ素子の製造方法にある。
【発明の効果】
【０００９】
前記磁気センサ素子において、前記基板には、凹曲面状の内壁面を有する溝部が形成されている。それゆえ、溝部の内壁面に形成された第１配線部にエッジが形成されることを防ぐことができる。また、前記第１配線部と前記第２配線部とは、滑らかにつながっている。これにより、第１配線部と第２配線部との間のつなぎ目においても、エッジが形成されることを防ぐことができる。その結果、検出コイルにエッジが形成されることを防ぐことができ、ノイズの発生を抑制することができる。
【００１０】
以上のように、上記態様によれば、ノイズの生じ難い磁気センサ素子及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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