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公開番号2025015199
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023118452
出願日2023-07-20
発明の名称固体試料の分析方法および分析システム
出願人株式会社住化分析センター
代理人弁理士法人 HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
主分類G01N 27/62 20210101AFI20250123BHJP(測定;試験)
要約【課題】試料の形状および表面状態、特に表面粗さに制限を受けず、広範な試料における金属元素分析が可能な分析方法および分析システムを実現する。
【解決手段】本開示に係る固体試料の分析方法は、固体試料を、マーキング可能な顕微観察装置で観察しながらマーキングを行うことにより、評価箇所を特定する工程と、マーキングされた箇所を目印にしてレーザーアブレーション装置により評価箇所に対してレーザーアブレーションを行う工程と、レーザーアブレーションにより気化またはエアロゾル化した評価箇所由来の試料について誘導結合プラズマ質量分析装置によって金属元素の検出を行う工程とを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
固体試料を、マーキング可能な顕微観察装置で観察しながらマーキングを行うことにより、評価箇所を特定する工程と、
マーキングされた箇所を目印にしてレーザーアブレーション装置により評価箇所に対してレーザーアブレーションを行う工程と、
レーザーアブレーションにより気化またはエアロゾル化した評価箇所由来の試料について誘導結合プラズマ質量分析装置によって金属元素の検出を行う工程とを含む、固体試料の分析方法。
続きを表示（約 410 文字）【請求項２】
検出された金属元素の強度を定量値に変換する工程をさらに含む、請求項１に記載の分析方法。
【請求項３】
前記顕微観察装置は、共焦点レーザー顕微鏡または原子間力顕微鏡である、請求項１または２に記載の分析方法。
【請求項４】
固体試料を観察しながらマーキングを行うことにより評価箇所を特定するためのマーキング可能な顕微観察装置と、
マーキングされた箇所を目印にして評価箇所に対してレーザーアブレーションを行うためのレーザーアブレーション装置と、
レーザーアブレーションにより気化またはエアロゾル化した評価箇所由来の試料について金属元素の検出を行うための誘導結合プラズマ質量分析装置とを備える、固体試料の分析システム。
【請求項５】
前記顕微観察装置は、共焦点レーザー顕微鏡または原子間力顕微鏡である、請求項４に記載の分析システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、固体試料の分析方法および分析システムに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
工業製品の製造プロセス中に発生する異物または欠陥、工業製品の使用によって発生する粒子または異常などを含む箇所は、工業製品の性能に悪影響を及ぼし得る。このような箇所の原因究明に金属元素分析が活用されている。異物、欠陥、粒子または異常などを含む箇所の原因究明には、まずその箇所の位置の特定が必要であり、その後、元素分析を行う必要がある。
【０００３】
特許文献１には、パーティクルカウンタにより被分析物の表面上のパーティクルを検出して座標を取得し、マーキング装置において、座標データに基づいて探知したパーティクルの周囲にマークを付し、分析装置において、マーキング装置により付されたマークを目印としてパーティクルを分析することを特徴とするパーティクルの分析方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００３－１４２５４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上述のような従来技術は、適用できる試料の形状および表面状態、特に表面粗さに制限があるという点で改善の余地があった。
【０００６】
本発明の一態様は、試料の形状および表面状態、特に表面粗さに制限を受けず、広範な試料における金属元素分析が可能な分析方法および分析システムを実現することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る固体試料の分析方法は、固体試料を、マーキング可能な顕微観察装置で観察しながらマーキングを行うことにより、評価箇所を特定する工程と、マーキングされた箇所を目印にしてレーザーアブレーション装置により評価箇所に対してレーザーアブレーションを行う工程と、レーザーアブレーションにより気化またはエアロゾル化した評価箇所由来の試料について誘導結合プラズマ質量分析装置によって金属元素の検出を行う工程とを含む。
【０００８】
また、本発明の一態様に係る固体試料の分析システムは、固体試料を観察しながらマーキングを行うことにより評価箇所を特定するためのマーキング可能な顕微観察装置と、マーキングされた箇所を目印にして評価箇所に対してレーザーアブレーションを行うためのレーザーアブレーション装置と、レーザーアブレーションにより気化またはエアロゾル化した評価箇所由来の試料について金属元素の検出を行うための誘導結合プラズマ質量分析装置とを備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の一態様によれば、試料の形状および表面状態、特に表面粗さに制限を受けず、広範な試料における金属元素分析が可能な分析方法および分析システムを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の一実施形態に係る分析方法および分析システムの概略を示す図である。
実施例における共焦点レーザー顕微鏡による観察像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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