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公開番号2025010958
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-23
出願番号2023113283
出願日2023-07-10
発明の名称液体吐出ヘッドの製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人秀和特許事務所
主分類B05D 1/40 20060101AFI20250116BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】スピンコートにより複数のドライフィルムを作成する場合に、ドライフィルムの品質のばらつきを抑える。
【解決手段】本開示に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、チャックに載置される支持体上に固定されたベースフィルムの表面に、レジストを滴下するステップと、前記レジストを滴下した前記ベースフィルムが前記支持体上に固定された状態で前記チャックを用いてスピンコートを行うステップと、を有し、前記支持体が前記チャックに載置された状態の前記支持体を前記チャックの回転軸線の方向に見た平面視において、前記支持体が、前記チャックの前記回転軸線に対して非対称な構成を有する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
チャックに載置される支持体上に固定されたベースフィルムの表面に、レジストを滴下するステップと、
前記レジストを滴下した前記ベースフィルムが前記支持体上に固定された状態で前記チャックを用いてスピンコートを行うステップと、
を有し、
前記支持体が前記チャックに載置された状態の前記支持体を前記チャックの回転軸線の方向に見た平面視において、前記支持体が、前記チャックの前記回転軸線に対して非対称な構成を有する
ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記支持体は、前記平面視において前記回転軸線を囲むように形成された矩形のフレームを有し、
前記平面視において、前記矩形のうちの第１の角を挟む一対の辺に対応する前記フレームの部分が第１の幅を有し、前記第１の角の対角にある第２の角を挟む一対の辺に対応する前記フレームの部分が前記第１の幅よりも狭い第２の幅を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記支持体は、前記平面視において前記回転軸線を囲むように形成された矩形のフレームを有し、
前記平面視において、前記矩形のうちの第１の角に対応する前記フレームの第１角部が、前記回転軸線の方向における第１厚さを有し、前記第１の角の対角にある第２の角に対応する前記フレームの第２角部が前記第１厚さよりも小さい第２厚さを有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記支持体は、前記平面視において前記回転軸線を囲むように形成された矩形のフレームを有し、
前記平面視において、前記矩形のうちの第１の角に対応する前記フレームの第１角部が、第１の比重を有する第１部材により形成され、前記第１の角の対角にある第２の角に対応する前記フレームの第２角部が前記第１の比重よりも小さい第２の比重を有する第２部材により形成されることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記支持体は、前記平面視において前記回転軸線を囲むように形成された矩形のフレームを有し、
前記平面視において、前記矩形のうちの第１の角に対応する前記フレームの第１角部に、前記スピンコート時に生じる気流を受けて、前記チャックの表面において前記支持体を移動させる壁部が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記平面視において、前記支持体は、前記回転軸線の方向における厚さが一方向に向かって大きくなる傾斜面を有し、
前記平面視において、前記チャックは、前記回転軸線の方向における高さが前記一方向に向かって小さくなる傾斜面を有し、
前記支持体は、前記支持体の前記傾斜面と前記チャックの前記傾斜面とが重なり合うように前記チャックに載置される
ことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記支持体の前記傾斜面の水平面に対する傾斜角度は、前記支持体が前記支持体の前記傾斜面と前記チャックの前記傾斜面とが重なり合うように前記チャックに載置されたとき
に、前記支持体の前記チャックとの接触面とは反対側の面が水平になる角度であることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記スピンコートの後に前記レジストをベークするステップと、
前記ベークされた前記レジストのサイドリンスを行うステップと、
をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記スピンコートにおける前記チャックの回転数は、前記ベークを行わない場合におけるスピンコートにおける前記チャックの回転数よりも高速であることを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
前記支持体は、前記スピンコートを行う際に前記チャックとの間の摩擦力を低減するための摩擦低減部材を有することを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の技術は、液体を吐出することで記録動作を行う液体吐出ヘッドの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造技術として、膜厚の均一性が高いレジストの薄膜を得るために、基板またはベースフィルムにレジストを塗布する工程がある。基板にレジストを積層する場合は、基板に直接レジストを塗布し、露光や現像などを行って所望のパターンを形成する。また、インク供給口が形成された基板にレジストを積層する場合は、基板に直接レジストを塗布することができない。そこで、支持体に固定されたベースフィルムにレジストを塗布してドライフィルムを作製してから、ラミネートによって基板に転写し、露光や現像などを行って基板に所望のパターンを形成する。
【０００３】
一般的なレジストの塗布技術としてはスピンコート法が知られている。スピンコート法では、基板やベースフィルムを固定した支持体を塗布装置内に搬入し、支持体をチャック上に固定して、回転数１００ｒｐｍ～５０００ｒｐｍの高速回転で、ベースフィルムに滴下したレジストを引き延ばす。支持体は基板よりも大きいため、支持体を載せるチャックや支持体が搬入される塗布カップのサイズも支持体のサイズに合わせたものとなる。
【０００４】
塗布カップのサイズが大きくなると、スピンコートにおいて様々な課題が生じる懸念がある。その１つが、チャックの回転時に生じる綿菓子状の異物である。綿菓子状の異物の発生原因の１つとして、塗布カップ内の排気が十分でないことが挙げられる。塗布装置による塗布カップの排気性能が低いと、スピンコート時に塗布カップ内に綿菓子状の異物が浮遊し、レジストに付着する可能性がある。
【０００５】
スピンコート時のレジストへの異物付着による品質低下を防ぐ方法として、特許文献１の技術が提案されている。特許文献１によれば、チャックを高速回転させる工程とベースフィルムの外周部に液体を吐出する工程を同時に行い、外周部に吐出した液体を乾燥させる。これにより、塗布装置に十分な排気性能がなくとも、スピンコート時に発生する異物によってドライフィルムの品質が低下することを防ぐことができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１８－１７６０７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、特許文献１に開示の技術を用いても、支持体をチャック上に載置し、レジストを滴下してスピンコートを行う場合、チャックの回転軸と支持体の中心とを位置合わせすることは装置が大型化する懸念がある。また、スピンコート時の支持体の位置がチャック上で安定せず、チャックの回転軸と支持体の中心の位置が、レジストの滴下およびスピンコートの度にばらつく可能性がある。この結果、得られるレジストの膜の中心が支持体の中心の位置に対してばらつく。このように中心の位置がずれたレジストの膜をベークしてドライフィルム化し、基板上に貼り付ける場合、基板上に貼り付けたドライフィルムの位置が基板中心から偏った位置となる可能性がある。
【０００８】
そして、それぞれのドライフィルムの中心がずれた状態で基板上に貼り付ける場合、基
板に接地していない領域のドライフィルムがバリとなり、ドライフィルムに付着してドライフィルムの品質が低下する可能性がある。
【０００９】
本件開示の技術は、上記に鑑みてなされたものであり、スピンコートにより複数のドライフィルムを作成する場合に、ドライフィルムの品質のばらつきを抑えることを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記目的を達成するために、本開示に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、チャックに載置される支持体上に固定されたベースフィルムの表面に、レジストを滴下するステップと、前記レジストを滴下した前記ベースフィルムが前記支持体上に固定された状態で前記チャックを用いてスピンコートを行うステップと、を有し、前記支持体が前記チャックに載置された状態の前記支持体を前記チャックの回転軸線の方向に見た平面視において、前記支持体が、前記チャックの前記回転軸線に対して非対称な構成を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法を含む。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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