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公開番号2024175963
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-12-19
出願番号2023094111
出願日2023-06-07
発明の名称加湿装置及び加湿方法
出願人株式会社大林組
代理人個人,個人
主分類F24F 6/14 20060101AFI20241212BHJP(加熱;レンジ;換気)
要約【課題】噴霧粒径を効率的に調節するための加湿装置及び加湿方法を提供する。
【解決手段】気体と液体とを混合して噴霧する二流体噴霧式の加湿装置A1は、気体を加圧して供給する給気装置M1と、液体を貯留するキャッチタンク14とを有する。更に、この加湿装置A1は、気体の加圧によって発生する負圧により液体をキャッチタンク14から吸引し、気体と液体とを混合して噴出させる二流体ノズル10と、複数の二流体ノズル10に液体を供給する水配管12とを有する。また、この加湿装置A1は、キャッチタンク14と水配管12とを接続し、液体を供給する可撓性を有するチューブ13と、キャッチタンク14と二流体ノズル10との高さ方向の相対位置を可変させる位置制御装置18と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
気体と液体とを混合して噴霧する二流体噴霧式の加湿装置であって、
前記気体を加圧して供給する気体供給部と、
前記液体を貯留する液体槽と、
前記気体の加圧によって発生する負圧により前記液体を前記液体槽から吸引し、前記気体と前記液体とを混合して噴出させる混合ノズルと、
複数の前記混合ノズルに前記液体を供給する横引き配管と、
前記液体槽と前記横引き配管とを接続し、前記液体を供給する可撓性を有するチューブと、
前記混合ノズルと前記液体槽との高さ方向の相対位置を可変させる可変機構と、
を備えることを特徴とする加湿装置。
続きを表示（約 440 文字）【請求項２】
前記可変機構に接続された管理装置を更に備え、
前記管理装置が、目標の噴霧粒径になる相対位置を決定して、前記可変機構に指示することを特徴とする請求項１に記載の加湿装置。
【請求項３】
気体と液体とを混合して噴霧する二流体噴霧式の加湿装置を用いた加湿方法であって、
前記加湿装置は、
前記気体を加圧して供給する気体供給部と、
前記液体を貯留する液体槽と、
前記気体の加圧によって発生する負圧により前記液体を前記液体槽から吸引し、前記気体と前記液体とを混合して噴出させる混合ノズルと、
複数の前記混合ノズルに前記液体を供給する横引き配管と、
前記液体槽と前記横引き配管とを接続し、前記液体を供給する可撓性を有するチューブと、を備えており、
前記横引き配管に対して、前記液体槽の相対位置を変更することにより、前記混合ノズルと前記液体槽との高さ方向の相対位置を変更することを特徴とする加湿方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、クリーンルーム、工場、倉庫等に用いられる加湿装置及び加湿方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体工場、液晶工場等のクリーンルームにおいては、塵埃等の環境制御を目的として加湿装置が用いられていることがある。このような加湿装置において、二流体ノズルを用いる場合がある。二流体ノズルを用いた加湿装置は、水と空気を混合して高速で噴射することにより、水を霧状にする。そこで、加湿の制御性及び信頼性を向上させる技術が検討されている（例えば、特許文献１参照）。この文献に開示された技術においては、空気を加圧して供給する高圧空気供給ラインと、純水を貯留する給水槽と、を備える。そして、空気の加圧によって発生する負圧により純水を給水槽から吸引する。更に、空気と純水とを混合して噴出させる混合ノズルと、給水槽と混合ノズルとの高さ方向の相対位置を可変させる可変機構とを備えている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００６－２５８４０４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されているように、加湿水の噴霧粒径は、純水の水面と二流体ノズルとの高さ位置の距離である吸い上げ高さにより変化する。すなわち、距離を変更すると、水と空気の混合比が変化することで、噴霧粒径が変化する。例えば、距離を拡大することにより水位を低くすると、水と空気の混合比が小さくなり、噴霧粒径が細かくなる。一方、距離を縮小することにより水位を高くすると、水と空気の混合比が大きくなり、噴霧粒径が粗くなる。
【０００５】
しかしながら、特許文献１に記載された技術では、給水槽（液体槽）に、横引きされている給水ヘッダ管が固定されている。従って、吸い上げ高さ位置を変更するためには、給水槽とともに給水ヘッダ管の配置を変更する必要があった。このため、効率的に吸い上げ高さを変更することができなかった。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記課題を解決するための加湿装置は、気体と液体とを混合して噴霧する二流体噴霧式の加湿装置であって、前記気体を加圧して供給する気体供給部と、前記液体を貯留する液体槽と、前記気体の加圧によって発生する負圧により前記液体を前記液体槽から吸引し、前記気体と前記液体とを混合して噴出させる混合ノズルと、複数の前記混合ノズルに前記液体を供給する横引き配管と、前記液体槽と前記横引き配管とを接続し、前記液体を供給する可撓性を有するチューブと、前記混合ノズルと前記液体槽との高さ方向の相対位置を可変させる可変機構と、を備える。
【０００７】
上記課題を解決するための加湿方法は、気体と液体とを混合して噴霧する二流体噴霧式の加湿装置を用いる。前記加湿装置は、前記気体を加圧して供給する気体供給部と、前記液体を貯留する液体槽と、前記気体の加圧によって発生する負圧により前記液体を前記液体槽から吸引し、前記気体と前記液体とを混合して噴出させる混合ノズルと、複数の前記混合ノズルに前記液体を供給する横引き配管と、前記液体槽と前記横引き配管とを接続し、前記液体を供給する可撓性を有するチューブと、を備えており、前記横引き配管に対して、前記液体槽の相対位置を変更することにより、前記混合ノズルと前記液体槽との高さ方向の相対位置を変更する。
【発明の効果】
【０００８】
本発明は、噴霧粒径を効率的に調節することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施形態の加湿装置の斜視図である。
実施形態の加湿装置の機能の説明図である。
実施形態のハードウェア構成の説明図である。
実施形態の噴霧条件情報の説明図であって、（ａ）は吸い上げ高さと噴霧粒径との関係、（ｂ）は吸い上げ高さと噴霧量との関係の説明図である。
実施形態の加湿処理の動作の説明図であって、（ａ）は吸い上げ高さが低い場合、（ｂ）は吸い上げ高さが高い場合の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図１～図５を用いて、加湿装置及び加湿方法を具体化した一実施形態を説明する。本実施形態では、クリーンルーム等の管理対象領域の湿度を調節する場合を想定する。
図１に示すように、本実施形態では、加湿装置Ａ１は、複数の二流体ノズル１０を備える。各二流体ノズル１０は、気体の加圧によって発生する負圧により、後述するキャッチタンク１４から水を吸引し、空気と水とを混合して噴出させる二流体噴霧式の混合ノズルである。
（【００１１】以降は省略されています）

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