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公開番号2024160401
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-11-13
出願番号2024144513,2022156692
出願日2024-08-26,2017-09-12
発明の名称蒸着マスクの製造方法、蒸着マスクが割り付けられた中間製品及び蒸着マスク
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C23C 14/04 20060101AFI20241106BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】第1面側又は第2面側から観察した場合に、長辺の領域に暗部が観察されない蒸着マスクを提供する。
【解決手段】蒸着マスクは、一対の長辺26及び一対の短辺と、第1面20aと、第1面20aの反対側に位置する第2面20bと、を含む、金属製の板状の基材21と、基材21に形成された複数の貫通孔と、を備える。蒸着マスクの断面において、長辺26には、第2面20b側から第1面20a側に向かうにつれて外側に広がる湾曲面が形成されている。
【選択図】図25A
特許請求の範囲【請求項１】
蒸着マスクであって、
一対の長辺及び一対の短辺と、第１面と、前記第１面の反対側に位置する第２面と、を含む、金属製の板状の基材と、
前記基材に形成された複数の貫通孔と、を備え、
前記蒸着マスクの断面において、前記長辺には、前記第２面側から前記第１面側に向かうにつれて外側に広がる湾曲面が形成されている、蒸着マスク。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法に関する。また、本発明は、蒸着マスクを作製するための中間製品に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、スマートフォンやタブレットＰＣ等の持ち運び可能なデバイスで用いられる表示装置に対して、高精細であること、例えば画素密度が４００ｐｐｉ以上であることが求められている。また、持ち運び可能なデバイスにおいても、ウルトラフルハイビジョンに対応することへの需要が高まっており、この場合、表示装置の画素密度が例えば８００ｐｐｉ以上であることが求められる。
【０００３】
表示装置の中でも、応答性の良さ、消費電力の低さやコントラストの高さのため、有機ＥＬ表示装置が注目されている。有機ＥＬ表示装置の画素を形成する方法として、所望のパターンで配列された貫通孔が形成された蒸着マスクを用い、所望のパターンで画素を形成する方法が知られている。具体的には、はじめに、有機ＥＬ表示装置用の基板に対して蒸着マスクを密着させ、次に、密着させた蒸着マスクおよび基板を共に蒸着装置に投入し、有機材料を基板に蒸着させる蒸着工程を行う。これによって、蒸着マスクの貫通孔のパターンに対応したパターンで、基板上に、有機材料を含む画素を形成することができる。
【０００４】
蒸着工程において、蒸着マスクは、所定の剛性を有するフレームに固定されている。例えば、蒸着マスクが一対の長辺及び一対の短辺を有する場合、蒸着マスクは、長辺の方向に引っ張られた状態でフレームに固定される。これによって、蒸着マスクが撓むことを抑制し、画素の寸法精度や位置精度を高めることができる。
【０００５】
蒸着マスクの製造方法としては、例えば特許文献１に開示されているように、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって金属板に貫通孔を形成する方法が知られている。例えば、はじめに、金属板の第１面上に露光・現像処理によって第１レジストパターンを形成し、また金属板の第２面上に露光・現像処理によって第２レジストパターンを形成する。次に、金属板の第１面のうち第１レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングして、金属板の第１面に第１開口部を形成する。その後、金属板の第２面のうち第２レジストパターンによって覆われていない領域をエッチングして、金属板の第２面に第２開口部を形成する。この際、第１開口部と第２開口部とが通じ合うようにエッチングを行うことにより、金属板を貫通する貫通孔を形成することができる。
【０００６】
蒸着マスクを効率的に製造する方法として、まず、複数の蒸着マスクに相当する面積を有する金属板を準備し、次に、複数の蒸着マスクに形成されるべき多数の貫通孔を金属板に形成し、その後、金属板から個々の蒸着マスクを抜き出す、という方法が知られている。例えば特許文献１においては、破断線に沿って金属板を切断することによって、金属板から蒸着マスクを抜き出している。特許文献１において、破断線は、蒸着マスクの長辺及び短辺に対応するパターンで金属板に形成されたミシン目である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１５－５５００７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
蒸着マスクを第１面側又は第２面側から観察すると、長辺の領域に、黒く見える部分が観察されることがある。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明は、蒸着マスクであって、
一対の長辺及び一対の短辺と、第１面と、前記第１面の反対側に位置する第２面と、を含む、金属製の板状の基材と、
前記基材に形成された複数の貫通孔と、を備え、
前記蒸着マスクの断面において、前記長辺には、前記第２面側から前記第１面側に向かうにつれて外側に広がる湾曲面が形成されている、蒸着マスクである。
【００１０】
本発明による蒸着マスクにおいて、前記長辺は、前記第１面と交わる部分において最も外側に突出した断面形状を有してもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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