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公開番号2024139292
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-09
出願番号2023050168
出願日2023-03-27
発明の名称フッ素含有排水の処理装置及び方法
出願人栗田工業株式会社
代理人個人,個人
主分類C02F 1/52 20230101AFI20241002BHJP(水,廃水,下水または汚泥の処理)
要約【課題】RO膜の閉塞を十分に抑制すると共に、処理水の水質を良好とし、またRO処理水を回収して再利用することも可能となるフッ素含有排水の処理装置及び方法を提供する。
【解決手段】フッ素含有排水を無機凝集剤及びカルシウム化合物により凝集処理する第1の凝集処理手段と、第1の凝集処理手段からの凝集反応液を沈殿分離する第1の沈澱処理手段と、第1の沈殿処理手段からの処理水の少なくとも一部に無機凝集剤を添加し凝集処理する第2の凝集処理手段と、第2の凝集処理手段からの凝集反応液を膜分離処理する除濁膜装置と、除濁膜装置の膜透過水が供給され、透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜装置と、逆浸透膜装置からの透過水を取り出す手段と、逆浸透膜装置からの濃縮水を無機凝集剤により凝集処理する、第3の凝集処理手段と、第3の凝集処理手段からの凝集反応液を沈殿分離する第2の沈澱処理手段とを有するフッ素含有水排水の処理装置。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
フッ素含有排水を無機凝集剤及びカルシウム化合物により凝集処理する第１の凝集処理手段と、第１の凝集処理手段からの凝集反応液を沈殿分離する第１の沈澱処理手段と、
該第１の沈殿処理手段からの処理水の少なくとも一部に無機凝集剤を添加し凝集処理する第２の凝集処理手段と、
該第２の凝集処理手段からの凝集反応液を膜分離処理する除濁膜装置と、
該除濁膜装置の膜透過水が供給され、透過水と濃縮水とに分離する逆浸透膜装置と、
該逆浸透膜装置からの透過水を取り出す手段と、
該逆浸透膜装置からの濃縮水を無機凝集剤により凝集処理する、前記第１の凝集処理手段とは別個に設置された、該第３の凝集処理手段と、第３の凝集処理手段からの凝集反応液を沈殿分離する第２の沈澱処理手段と
を有するフッ素含有水排水の処理装置。
続きを表示（約 240 文字）【請求項２】
前記第２の凝集処理手段、前記除濁膜装置及び前記逆浸透膜装置が稼動停止しているときに、前記第１の沈殿処理手段からの処理水を前記第３の凝集処理手段に送水するためのバイパス手段を有する請求項１のフッ素含有水の処理装置。
【請求項３】
前記逆浸透膜装置の一次側に希薄水供給手段を設けた請求項１又は２のフッ素含有水の処理装置。
【請求項４】
請求項１又は２のフッ素含有排水の処理装置によってフッ素含有水を処理するフッ素含有水の処理方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、フッ素含有排水の処理装置及び方法に係り、特にフッ素含有排水を凝集処理、膜分離処理等で処理して回収する装置及び方法に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
液晶や半導体の製造工程から排出されるフッ素含有排水の処理装置及び方法として、カルシウム塩による凝集沈殿処理と、その処理水をさらにアルミニウム塩により凝集沈殿処理する二段沈殿処理がある。
【０００３】
フッ素含有排水の凝集沈殿処理水をさらに膜分離処理する方法及び装置が特許文献１，２に記載されている。
【０００４】
特許文献１では、フッ素含有排水をカルシウム塩で凝集して固液分離し、この処理水を鉄塩で凝集して固液分離し、この処理水をＲＯ（逆浸透）処理する。
【０００５】
特許文献１には、固液分離した汚泥の一部をＣａ反応槽に導入してＣａ化合物を添加して汚泥を改質（高密度化）して凝集反応槽に返送・投入する方法が記載されている。この方法は一般に高密度汚泥法として知られている。
【０００６】
特許文献２では、フッ素含有排水をカルシウム塩で凝集処理した後、沈殿処理し、この処理水をＲＯ処理し、透過水を処理水として取り出す。ＲＯ装置の濃縮水は凝集槽に移送される。特許文献２の図２の態様では、凝集及び沈殿処理のラインを２系列設け、一方の系列からの沈殿処理水をＲＯ処理して透過水と濃縮水とに分離し、この濃縮水を他方の系列の凝集槽に移送する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１４－２１３２６４号公報
特開２０１８－１４３９１９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
フッ素含有排水の凝集沈殿処理水は、フッ化カルシウムが飽和状態にあるので、ＲＯで処理すると短時間のうちにフッ化カルシウムのスケールが析出し、ＲＯ膜が閉塞する。また、沈殿処理水中には、凝集剤に由来するコロイドや高分子凝集剤が含まれているので、これらによりＲＯ膜が閉塞し易い。
【０００９】
本発明は、フッ素含有排水を凝集沈殿処理及びＲＯ（逆浸透）処理等によって処理する装置及び方法において、ＲＯ膜の閉塞を十分に抑制すると共に、処理水の水質を良好とし、またＲＯ処理水を回収して再利用することも可能となるフッ素含有排水の処理装置及び方法を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明のフッ素含有排水の処理装置及び方法の要旨は以下の通りである。
（【００１１】以降は省略されています）

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