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公開番号2024120412
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-05
出願番号2023027192
出願日2023-02-24
発明の名称弾性波装置
出願人株式会社村田製作所
代理人弁理士法人大阪フロント特許事務所
主分類H03H 9/145 20060101AFI20240829BHJP(基本電子回路)
要約【課題】IDT電極の耐電力性を高めることができる、弾性波装置を提供することができる。
【解決手段】本発明の弾性波装置は、圧電性基板2と、圧電性基板2上に設けられている密着層4と、密着層4上に設けられている電極層5とを有するIDT電極3とを備える。電極層5及び密着層4がそれぞれ、主材料である金属元素と、添加物とを含む。電極層5における添加物5Bと、密着層4における添加物4Bとが、同じ元素である。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
圧電性基板と、
前記圧電性基板上に設けられている密着層と、前記密着層上に設けられている電極層と、を有するＩＤＴ電極と、
を備え、
前記電極層及び前記密着層がそれぞれ、主材料である金属元素と、添加物と、を含み、
前記電極層における前記添加物と、前記密着層における前記添加物とが、同じ元素である、弾性波装置。
続きを表示（約 520 文字）【請求項２】
前記密着層において、前記主材料である金属元素と、前記添加物との組み合わせが、前記主材料に前記添加物が固溶した固溶体を形成可能な組み合わせであり、かつ前記主材料に前記添加物が固溶する最大固溶限が５ｗｔ％以上となる組み合わせである、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項３】
前記密着層の前記主材料である金属元素がＴｉであり、前記添加物が、Ａｇ、Ａｌ、Ｎｂ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｖ及びＺｒのうちいずれかである、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項４】
前記密着層の前記主材料である金属元素がＮｉであり、前記添加物が、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｕ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｇａ、Ｍｎ、Ｎｂ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｔａ及びＺｎのうちいずれかである、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項５】
前記密着層の前記主材料である金属元素がＣｒであり、前記添加物が、Ａｌ、Ａｕ、Ｃｅ、Ｃｏ、Ｆｅ、Ｇａ、Ｍｎ、Ｍｏ、Ｎｂ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｓｎ、Ｔａ、Ｔｉ、Ｖ及びＷのうちいずれかである、請求項１に記載の弾性波装置。
【請求項６】
前記電極層の前記主材料である金属元素がＣｕである、請求項１に記載の弾性波装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波装置に関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、弾性波装置は携帯電話機のフィルタなどに広く用いられている。下記の特許文献１には、弾性波装置の一例が開示されている。この弾性波装置においては、圧電基板上にＩＤＴ（ＩｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｌＴｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極が設けられている。ＩＤＴ電極は、密着層と、主電極層とを有する。密着層は、圧電基板及び主電極層の間に設けられている。密着層はＴｉを主成分とする。主電極層は、ＣｕまたはＣｕを主成分とする合金からなる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００６－１１５５４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載のような弾性波装置においては、ＩＤＴ電極に電力を印加すると、密着層及び主電極層の間において剥離が生じるおそれがある。そのため、ＩＤＴ電極の耐電力性が十分に高くならない。
【０００５】
本発明の目的は、ＩＤＴ電極の耐電力性を高めることができる、弾性波装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る弾性波装置は、圧電性基板と、前記圧電性基板上に設けられている密着層と、前記密着層上に設けられている電極層とを有するＩＤＴ電極とを備え、前記電極層及び前記密着層がそれぞれ、主材料である金属元素と、添加物とを含み、前記電極層における前記添加物と、前記密着層における前記添加物とが、同じ元素である。
【発明の効果】
【０００７】
本発明の弾性波装置によれば、ＩＤＴ電極の耐電力性を高めることができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の正面断面図である。
本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の平面図である。
本発明の第１の実施形態における１本の電極指付近を示す模式的正面断面図である。
任意の元素をＸ及びＺとした場合の、２元状態図の例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１０】
なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。
（【００１１】以降は省略されています）

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