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公開番号2024087039
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-28
出願番号2024070884,2022183115
出願日2024-04-24,2019-12-04
発明の名称空調システム及びクリーンルーム施設
出願人日立グローバルライフソリューションズ株式会社
代理人弁理士法人磯野国際特許商標事務所
主分類F24F 7/06 20060101AFI20240621BHJP(加熱;レンジ;換気)
要約【課題】簡素な構成でクリーンルームの室圧を高精度に維持する空調システムを提供する。
【解決手段】空調システムSは、調製室R7の天井裏の空間を含むチャンバCから調製室R7への給気を行う給気ファン1a,2aを有するファンフィルタユニット1,2と、調製室R7の空気のチャンバCを介した還気、及び、調製室R7からの排気を行う還気ファン3aを有するファンフィルタユニット3と、を備えるとともに、調製室R7に設けられる圧力センサ31と、圧力センサ31の検出値に基づいて、還気ファン3aを制御する制御部と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
クリーンルームの天井裏の空間を含むチャンバから前記クリーンルームへの給気を行う第１ファンを有する第１ユニットと、
前記クリーンルームの空気の前記チャンバを介した還気、及び、前記クリーンルームからの排気のうち少なくとも一方を行う第２ファンを有する第２ユニットと、を備えるとともに、
前記クリーンルームに設けられる圧力センサと、
前記圧力センサの検出値に基づいて、前記第１ファン及び前記第２ファンのうち少なくとも一方を制御する制御部と、を備えること
を特徴とする空調システム。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
前記第２ファンが、前記クリーンルームの還気及び排気の両方を行う場合において、
前記第２ユニットは、前記クリーンルームの壁又は床に設けられた所定の隙間を介して空気を吸い込み、吸い込んだ空気の一部をダクトシャフトを介して前記チャンバに戻し、残りの空気を排気するように配置され、
前記クリーンルームは、前記第１ファンの吸込側を介して、前記チャンバに連通するとともに、前記第２ファンの吸込側を介して、前記チャンバに連通していること
を特徴とする請求項１に記載の空調システム。
【請求項３】
前記第２ファンが、前記クリーンルームの還気を行う場合において、
前記クリーンルームは、前記第１ファンの吸込側を介して、前記チャンバに連通するとともに、前記第２ファンの吹出側を介して、前記チャンバに連通していること
を特徴とする請求項１に記載の空調システム。
【請求項４】
前記第１ユニットは、前記第１ファンから前記クリーンルームに吹き出される空気から塵埃を除去する第１フィルタを備え、
前記第２ユニットは、前記クリーンルームから前記第２ファンに吸い込まれる空気から塵埃を除去する第２フィルタを備えること
を特徴とする請求項１に記載の空調システム。
【請求項５】
ドアが設けられた壁で仕切られる３つ以上の前記クリーンルームが設けられ、
３つ以上の前記クリーンルームのうち、自身に隣り合う複数のクリーンルームのいずれの設定圧力も、自身の設定圧力よりも低い所定のクリーンルームが存在していること
を特徴とする請求項４に記載の空調システム。
【請求項６】
ドアが設けられた壁で仕切られる３つ以上の前記クリーンルームが設けられ、
３つ以上の前記クリーンルームのうち、自身に隣り合う複数のクリーンルームのいずれの設定圧力も、自身の設定圧力よりも高い所定のクリーンルームが存在していること
を特徴とする請求項４に記載の空調システム。
【請求項７】
前記第１フィルタ及び前記第２フィルタは、それぞれ、ＨＥＰＡ(High Efficiency Particulate Air Filter)、又は、ＵＬＰＡ（Ultra Low Penetration Air Filter）であること
を特徴とする請求項４に記載の空調システム。
【請求項８】
前記第１ファン及び前記第２ファンの駆動源は、それぞれ、直流モータであること
を特徴とする請求項１に記載の空調システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、空調システムに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
再生医療や医薬品の製造の他、半導体や精密機械の製造等において、空気の清浄度の高いクリーンルームが用いられることが多い。このようなクリーンルームの室圧の調整に関して、例えば、特許文献１に記載の技術が知られている。すなわち、特許文献１には、「天井埋め込み形空調機１３から、天井内チャンバー１２ａ～ｅへ通ずるダクトに、風量調整ダンパ２０ａを設けることによって、天井内チャンバー１２ａ～ｅへの所望の給気量の分配を実現する」ことが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第５６１５４１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の技術では、風量調整ダンパによってクリーンルームの室圧が調整される一方、給気側・還気側の各ファンの風量は一定である。このような構成において、クリーンルームの室圧を所定の目標値に維持するためにダンパの開度を変化させると、ダクトにおける空気の圧力損失等に起因して、室圧の応答遅れが生じやすくなる。
【０００５】
さらに、前記した応答遅れの他、ダンパの開度－風量特性の非線形性に起因して、クリーンルームの室圧調整時にオーバーシュートが生じやすいという問題もある。このように特許文献１に記載の技術は、室圧を高精度に維持するという点で改善の余地がある。また、クリーンルームの空調を行う空調システムの簡素化も求められている。
【０００６】
そこで、本発明は、簡素な構成でクリーンルームの室圧を高精度に維持する空調システムを提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記した課題を解決するために、本発明に係る空調システムは、クリーンルームの天井裏の空間を含むチャンバから前記クリーンルームへの給気を行う第１ファンを有する第１ユニットと、前記クリーンルームの空気の前記チャンバを介した還気、及び、前記クリーンルームからの排気のうち少なくとも一方を行う第２ファンを有する第２ユニットと、を備えるとともに、前記クリーンルームに設けられる圧力センサと、前記圧力センサの検出値に基づいて、前記第１ファン及び前記第２ファンのうち少なくとも一方を制御する制御部と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、簡素な構成でクリーンルームの室圧を高精度に維持する空調システムを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本発明の実施形態に係る空調システムの各部屋の間取りを示す説明図である。
本発明の実施形態に係る空調システムが備える複数のファンフィルタユニットの配置等を示す説明図である。
本発明の実施形態に係る空調システムが備えるファンフィルタユニットの制御に関する構成図である。
本発明の実施形態に係る空調システムの還気ファンの回転速度と風量との関係を示す特性図である。
本発明の実施形態に係る空調システムが備える複数のファンフィルタユニットの配置等を示す説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
≪実施形態≫
図１は、実施形態に係る空調システムＳの各部屋の間取りを示す説明図である。
なお、図１では、所定のドア（例えば、ドアＤｍ）が開かれた場合に空気が流れる向きを白抜きの破線矢印で示している。本実施形態では、主に、各部屋の室圧の調整について説明するが、室圧の他に空気の温度や湿度を調整する場合も「空調」に含まれるものとする。また、室圧のみの調整も「空調」に含まれるものとする。
（【００１１】以降は省略されています）

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