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公開番号2024080336
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-13
出願番号2022193435
出願日2022-12-02
発明の名称放射線検出パネル及び放射線検出パネルの製造方法
出願人キヤノン電子管デバイス株式会社
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類G01T 1/20 20060101AFI20240606BHJP(測定;試験)
要約【課題】検出する画像の品質を向上できる放射線検出パネル及び放射線検出パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の光電変換部を有している光電変換基板と、前記光電変換基板に設けられ、前記光電変換基板に対向している一方面と、前記一方面と反対側に位置している他方面とを有しているシンチレータ層と、前記他方面に設けられ、接着剤と光散乱粒子とで形成されている反射層と、を備え、前記反射層は、前記他方面に対向している対向面と、前記対向面とは反対側に位置している凹凸面と、を有し、前記凹凸面は、前記シンチレータ層から遠ざかる向きに突出している複数の凸部の表面と、前記複数の凸部よりも窪んでいる凹部の表面と、を含み、前記複数の凸部の各々は、前記複数の凸部の各々と隣り合う凸部を有し、前記複数の凸部の各々から前記隣り合う凸部までの間隔は、ランダムである、放射線検出パネル。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
蛍光を電気信号に変換する複数の光電変換部を有している光電変換基板と、
前記光電変換基板に設けられ、前記光電変換基板に対向している一方面と、前記一方面と反対側に位置している他方面とを有し、放射線を蛍光に変換するシンチレータ層と、
前記他方面に設けられ、接着剤と光散乱粒子とで形成され、前記シンチレータ層で生じた蛍光を前記複数の光電変換部に向かって反射する反射層と、を備え、
前記反射層は、前記他方面に対向している対向面と、前記対向面とは反対側に位置している凹凸面と、を有し、
前記凹凸面は、前記シンチレータ層から遠ざかる向きに突出している複数の凸部の表面と、前記複数の凸部よりも窪んでいる凹部の表面と、を含み、
前記複数の凸部の各々は、前記複数の凸部の各々と隣り合う凸部を有し、
前記複数の凸部の各々から前記隣り合う凸部までの間隔は、ランダムである、
放射線検出パネル。
続きを表示（約 730 文字）【請求項２】
前記複数の凸部の各々における重心から前記隣り合う凸部における重心に向かう方向は、ランダムである、
請求項１に記載の放射線検出パネル。
【請求項３】
前記反射層は、複数の混合物で構成され、
前記複数の混合物の各々は、接着剤と光散乱粒子とで形成された粒である、
請求項１に記載の放射線検出パネル。
【請求項４】
前記複数の凸部の各々は、前記複数の混合物で形成されている、
請求項３に記載の放射線検出パネル。
【請求項５】
前記対向面は、前記他方面に接触し固定されている複数の接触面と、前記他方面に隙間を設けて対向する非接触面と、を含んでいる、
請求項１に記載の放射線検出パネル。
【請求項６】
入射される蛍光を電気信号に変換する複数の光電変換部を有している光電変換基板を用意し、
前記光電変換基板上に、前記光電変換基板に対向している一方面と、前記一方面と反対側に位置している他方面とを有し、放射線を蛍光に変換するシンチレータ層を形成し、
接着剤と、光散乱粒子と、前記接着剤を溶解する溶媒とで形成された第１混合材料を用意し、
前記第１混合材料を複数の粒に加工することで、各々が前記接着剤と前記光散乱粒子と前記溶媒とで形成された粒である複数の第２混合材料を形成し、
前記複数の第２混合材料を前記他方面に散布し、
前記他方面に散布された前記複数の第２混合材料を乾燥させることで、前記シンチレータ層で生じた蛍光を前記複数の光電変換部に向かって反射する反射層を形成する、
放射線検出パネルの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、放射線検出パネル及び放射線検出パネルの製造方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
放射線検出器の一例に、Ｘ線検出器がある。Ｘ線検出器は、複数の光電変換素子が格子状に設けられた光電変換基板と、光電変換基板の上に設けられたシンチレータ層と、シンチレータ層の上に形成された反射層と、を有している。反射層は、樹脂系の接着剤と光散乱粒子と溶媒との混合材料をディスペンサでシンチレータ層に塗布し、塗布された混合材料を乾燥させることで形成されることが知られている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１０－１４５３５１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本実施形態は、検出する画像の品質を向上できる放射線検出パネル及び放射線検出パネルの製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
一実施形態に係る放射線検出パネルは、蛍光を電気信号に変換する複数の光電変換部を有している光電変換基板と、前記光電変換基板に設けられ、前記光電変換基板に対向している一方面と、前記一方面と反対側に位置している他方面とを有し、放射線を蛍光に変換するシンチレータ層と、前記他方面に設けられ、接着剤と光散乱粒子とで形成され、前記シンチレータ層で生じた蛍光を前記複数の光電変換部に向かって反射する反射層と、を備え、前記反射層は、前記他方面に対向している対向面と、前記対向面とは反対側に位置している凹凸面と、を有し、前記凹凸面は、前記シンチレータ層から遠ざかる向きに突出している複数の凸部の表面と、前記複数の凸部よりも窪んでいる凹部の表面と、を含み、前記複数の凸部の各々は、前記複数の凸部の各々と隣り合う凸部を有し、前記複数の凸部の各々から前記隣り合う凸部までの間隔は、ランダムである。
【０００６】
また、一実施形態に係る放射線検出パネルの製造方法は、入射される蛍光を電気信号に変換する複数の光電変換部を有している光電変換基板を用意し、前記光電変換基板上に、前記光電変換基板に対向している一方面と、前記一方面と反対側に位置している他方面とを有し、放射線を蛍光に変換するシンチレータ層を形成し、接着剤と、光散乱粒子と、前記接着剤を溶解する溶媒とで形成された第１混合材料を用意し、前記第１混合材料を複数の粒に加工することで、各々が前記接着剤と前記光散乱粒子と前記溶媒とで形成された粒である複数の第２混合材料を形成し、前記複数の第２混合材料を前記他方面に散布し、前記他方面に散布された前記複数の第２混合材料を乾燥させることで、前記シンチレータ層で生じた蛍光を前記複数の光電変換部に向かって反射する反射層を形成する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、一実施形態に係るＸ線検出器を示す断面図である。
図２は、上記実施形態に係るＸ線検出器の支持基板、Ｘ線検出パネル、回路基板、及び複数のＦＰＣを示す斜視図であり、画像伝送部を併せて示す図である。
図３は、上記実施形態に係るＸ線検出器のＸ線検出モジュールの一部を示す拡大断面図である。
図４は、図３に示す複数の混合物のうちの１つを示す拡大断面図である。
図５は、上記実施形態に係るＸ線検出器の反射層の一部を示す平面図であり、防湿カバー側から見た図である。
図６は、図４の線Ａ－Ａに沿った断面図である。
図７は、図４の線Ｂ－Ｂに沿った断面図である。
図８は、図５の矢視Ｃの平面図であり、反射層における対向面の一部を示す図である。
図９は、上記実施形態に係るＸ線検出器のＸ線検出モジュールを示す平面図である。
図１０は、図９の線Ｄ－Ｄに沿ったＸ線検出モジュールの断面図である。
図１１は、上記実施形態に係るＸ線検出パネルにおいて反射層を形成する際の一例を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に、本発明の実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。なお、開示はあくまで一例にすぎず、当業者において、発明の趣旨を保っての適宣変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面や説明をより明確にするため、実際の様態に比べ、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には、同一の符号を付して、詳細な説明を適宣省略することがある。
【０００９】
始めに、本発明の実施形態の基本構想について説明する。
放射線検出器として、例えばＸ線検出器がある。Ｘ線検出器としてアクティブマトリクス方式を用いたＸ平面検出器が開発されている。Ｘ線検出器は、放射線検出パネルとしてのＸ線検出パネルを備えている。Ｘ線検出パネルは、シンチレータ層や光電変換基板など備えている。光電変換基板は、ガラスで形成された基板と、基板の上に形成された光電変換部や配線などを有する回路層とを有している。光電変換部は、アモルファスシリコン（ａ－Ｓｉ）フォトダイオードやＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの光電変換素子を有している。
【００１０】
光電変換部の上方には、シンチレータ層が形成されている。
シンチレータ層の材料は、例えば、タリウム賦活ヨウ化セシウムである。シンチレータ層は、ダイシングによる溝の形成や真空蒸着法による堆積などにより、解像度特性を向上させることができる。
Ｘ線検出器は、照射されたＸ線を検出することにより、Ｘ線撮影像やリアルタイムのＸ線画像のデジタル信号を出力する。具体的には、Ｘ線検出器は、入射されるＸ線を蛍光変換体であるシンチレータ層で可視光である蛍光に変換し、光電変換素子で上記蛍光を電気信号に変換することで、Ｘ線画像をデジタル信号として取得する。
（【００１１】以降は省略されています）

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