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公開番号2024080081
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-13
出願番号2022192972
出願日2022-12-01
発明の名称フィルタユニット
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02B 26/00 20060101AFI20240606BHJP(光学)
要約【課題】ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向に狭い領域への配置に適したフィルタユニットを提供する。
【解決手段】フィルタユニット1は、開口部23を有する支持体2と、Z軸方向において互いの距離が可変である一対のミラー部を含み、Z軸方向から見た場合に開口部23と重なるように支持体2上に配置されたファブリペロー干渉フィルタ10と、を備える。Z軸方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタ10の外縁10Eは、矩形状を呈している。Z軸方向から見た場合に、Y軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ10の外縁10Eから支持体2の外縁2Eまでの距離D2は、ファブリペロー干渉フィルタ10の外縁10Eの対角線の長さLよりも大きい。Z軸方向から見た場合に、開口部23の幅W3は、Y軸方向におけるファブリペロー干渉フィルタ10の幅Wfよりも小さい。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
光通過部を有する支持体と、
第１方向において互いの距離が可変である一対のミラー部を含み、前記第１方向から見た場合に前記光通過部と重なるように前記支持体上に配置されたファブリペロー干渉フィルタと、を備え、
前記光通過部は、前記支持体に形成された第１開口部であり、
前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタの外縁は、矩形状を呈しており、
前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁の一辺に垂直な方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁から前記支持体の外縁までの距離は、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁の対角線の長さよりも大きく、
前記第１方向から見た場合に、前記第１開口部の幅は、前記一辺に垂直な前記方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの幅よりも小さい、フィルタユニット。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記ファブリペロー干渉フィルタは、第２開口部を有し、
前記第１方向から見た場合に、前記第２開口部は、前記第１開口部の内側に位置している、請求項１に記載のフィルタユニット。
【請求項３】
前記支持体における前記ファブリペロー干渉フィルタとは反対側の表面には、光反射防止膜が形成されている、請求項１に記載のフィルタユニット。
【請求項４】
前記第１開口部の内面には、光反射防止膜が形成されている、請求項１に記載のフィルタユニット。
【請求項５】
前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記支持体の中心に位置している、請求項１に記載のフィルタユニット。
【請求項６】
前記第１方向から見た場合に、前記支持体の外縁は、円形状を呈している、請求項５に記載のフィルタユニット。
【請求項７】
前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として第１凹部が形成されており、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記第１凹部内に配置されており、
前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁及び前記第１凹部の内縁のそれぞれは、矩形状を呈している、請求項１に記載のフィルタユニット。
【請求項８】
前記ファブリペロー干渉フィルタと電気的に接続された配線基板を更に備え、
前記配線基板は、前記第１方向から見た場合に前記ファブリペロー干渉フィルタと重ならないように前記支持体上に配置されている、請求項１に記載のフィルタユニット。
【請求項９】
前記ファブリペロー干渉フィルタと電気的に接続された配線基板を更に備え、
前記ファブリペロー干渉フィルタは、前記支持体の第１載置面に配置されており、
前記配線基板は、前記支持体の第２載置面に配置されており、
前記第１載置面及び前記第２載置面は、同一平面上に位置している、請求項１に記載のフィルタユニット。
【請求項１０】
前記ファブリペロー干渉フィルタと電気的に接続された配線基板を更に備え、
前記支持体には、前記第１方向を深さ方向として第２凹部が形成されており、
前記配線基板は、前記第２凹部内に配置されており、
前記第２凹部は、前記第１方向から見た場合に前記支持体の前記外縁に至っている、請求項１に記載のフィルタユニット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファブリペロー干渉フィルタを備えるフィルタユニットに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
互いの距離が可変である一対のミラー部を含むファブリペロー干渉フィルタを用いてフィルタユニットを構成するために、次のような構造を利用することが考えられる。すなわち、ステム及びキャップを有するＣＡＮパッケージと、ＣＡＮパッケージ内においてステム上に配置された配線基板と、ＣＡＮパッケージ内において配線基板上に配置されたファブリペロー干渉フィルタと、ステムを貫通している複数のリードピンと、を備える構造である（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
米国特許出願公開第２０１７／０３５０７６０号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述した構造が適用されたフィルタユニットには、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向（すなわち、一対のミラー部が互いに向かい合っている方向）においてフィルタユニットを薄くすることが難しいため、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向に狭い領域（例えば、鏡筒内におけるレンズの間の領域）への配置に適さないという課題がある。
【０００５】
本発明は、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向に狭い領域への配置に適したフィルタユニットを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のフィルタユニットは、［１］「光通過部を有する支持体と、第１方向において互いの距離が可変である一対のミラー部を含み、前記第１方向から見た場合に前記光通過部と重なるように前記支持体上に配置されたファブリペロー干渉フィルタと、を備え、前記光通過部は、前記支持体に形成された第１開口部であり、前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタの外縁は、矩形状を呈しており、前記第１方向から見た場合に、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁の一辺に垂直な方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁から前記支持体の外縁までの距離は、前記ファブリペロー干渉フィルタの前記外縁の対角線の長さよりも大きく、前記第１方向から見た場合に、前記第１開口部の幅は、前記一辺に垂直な前記方向における前記ファブリペロー干渉フィルタの幅よりも小さい、フィルタユニット」である。
【０００７】
上記［１］に記載のフィルタユニットでは、第１方向から見た場合に、ファブリペロー干渉フィルタの外縁の一辺に垂直な方向におけるファブリペロー干渉フィルタの外縁から支持体の外縁までの距離が、ファブリペロー干渉フィルタの外縁の対角線の長さよりも大きく、第１方向から見た場合に、第１開口部の幅が、ファブリペロー干渉フィルタの外縁の一辺に垂直な方向におけるファブリペロー干渉フィルタの幅よりも小さい。これにより、第１方向から見た場合に、支持体に比べて第１開口部が非常に小さくなるため、ファブリペロー干渉フィルタに迷光が入射するのを第１開口部によって抑制することができる。したがって、フィルタユニットを薄くするために、例えばＣＡＮパッケージにおけるキャップのようなファブリペロー干渉フィルタを覆う部材を削減してフィルタユニットを単純な構成とした場合であっても、ファブリペロー干渉フィルタに迷光が入射するのを抑制することができる。よって、上記［１］に記載のフィルタユニットは、ファブリペロー干渉フィルタの光軸方向に狭い領域への配置に適している。
【０００８】
本発明のフィルタユニットは、［２］「前記ファブリペロー干渉フィルタは、第２開口部を有し、前記第１方向から見た場合に、前記第２開口部は、前記第１開口部の内側に位置している、上記［１］に記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［２］に記載のフィルタユニットによれば、第１方向から見た場合に、第２開口部が、第１開口部の内側に位置しているため、ファブリペロー干渉フィルタに迷光が入射するのを第２開口部によってより抑制することができる。
【０００９】
本発明のフィルタユニットは、［３］「前記支持体における前記ファブリペロー干渉フィルタとは反対側の表面には、光反射防止膜が形成されている、上記［１］又は［２］に記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［３］に記載のフィルタユニットによれば、支持体におけるファブリペロー干渉フィルタとは反対側の表面に入射した迷光が当該表面において反射してファブリペロー干渉フィルタに入射するのを抑制することができる。
【００１０】
本発明のフィルタユニットは、［４］「前記第１開口部の内面には、光反射防止膜が形成されている、上記［１］～［３］のいずれか一項に記載のフィルタユニット」であってもよい。当該［４］に記載のフィルタユニットによれば、第１開口部の内面に入射した迷光が当該内面において反射してファブリペロー干渉フィルタに入射するのを抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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