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公開番号2024075225
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-03
出願番号2022186506
出願日2022-11-22
発明の名称基板洗浄装置、基板処理装置、洗浄部材を洗浄する装置および洗浄部材を洗浄する方法
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20240527BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板を洗浄する洗浄部材を効率よく洗浄する。
【解決手段】一実施形態によれば、基板を洗浄する洗浄部材と、穴が設けられた水平面を有する板と、前記洗浄部材を前記板に対して鉛直下向きに押し付ける押圧機構と、とを備え、前記穴は、前記板を貫通しており、前記洗浄部材から排出された液体が前記穴を介して下方に排出され、それによって前記洗浄部材から排出された液体が前記洗浄部材に吸収されるのが抑制される基板洗浄装置が提供される。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
基板を洗浄する洗浄部材と、
穴が設けられた水平面を有する板と、
前記洗浄部材を前記板に対して鉛直下向きに押し付ける押圧機構と、とを備え、
前記穴は、前記板を貫通しており、前記洗浄部材から排出された液体が前記穴を介して下方に排出され、それによって前記洗浄部材から排出された液体が前記洗浄部材に吸収されるのが抑制される基板洗浄装置。
続きを表示（約 600 文字）【請求項２】
前記板の下部に設けられたケーシングと、
前記ケーシング内を減圧する減圧機構と、を備える、請求項１に記載の基板洗浄装置。
【請求項３】
前記板に洗浄液を供給するノズルを備える、請求項１または２に記載の基板洗浄装置。
【請求項４】
前記押圧機構は、前記洗浄部材を前記板に押し付けつつ、前記洗浄部材を回転させる、請求項１または２に記載の基板洗浄装置。
【請求項５】
前記板における前記洗浄部材が接触する位置には前記穴が設けられない、請求項４に記載の基板洗浄装置。
【請求項６】
前記板を加熱する加熱部材を備える、請求項１または２に記載の基板洗浄装置。
【請求項７】
前記洗浄部材に接する位置に設けられ、前記洗浄部材の汚染状態を検知可能なセンサを備える、請求項１または２に記載の基板洗浄装置。
【請求項８】
前記板には、センサ配置用の穴が設けられ、その穴に前記センサが設けられる、請求項７に記載の基板洗浄装置。
【請求項９】
前記センサの上面と、前記板の上面と、がほぼ面一である、請求項８に記載の基板洗浄装置。
【請求項１０】
前記センサは、ｐＨ測定器または導電率計である、請求項７に記載の基板洗浄装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板洗浄装置、基板処理装置、洗浄部材を洗浄する装置および洗浄部材を洗浄する方法に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
基板を研磨する基板研磨装置と、研磨後の基板を洗浄する基板洗浄装置とを有する基板処理装置が知られている。基板洗浄装置では、洗浄部材を用いて基板を洗浄するが、洗浄によって洗浄部材自体が汚染されていく。そのため、洗浄部材を洗浄する必要がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第６０５４８０５号
特開２０２０－１２３６４７号公報
特開平１０－２２３５８３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の課題は、基板を洗浄する洗浄部材を効率よく洗浄することである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
［１］
本発明の一態様によれば、
基板を洗浄する洗浄部材と、
穴が設けられた水平面を有する板と、
前記洗浄部材を前記板に対して鉛直下向きに押し付ける押圧機構と、とを備え、
前記穴は、前記板を貫通しており、前記洗浄部材から排出された液体が前記穴を介して下方に排出され、それによって前記洗浄部材から排出された液体が前記洗浄部材に吸収されるのが抑制される基板洗浄装置が提供される。
【０００６】
［２］
［１］に記載の基板洗浄装置において、
前記板の下部に設けられたケーシングと、
前記ケーシング内を減圧する減圧機構と、を備えてもよい。
【０００７】
［３］
［１］または［２］に記載の基板洗浄装置において、
前記板に洗浄液を供給するノズルを備えてもよい。
【０００８】
［４］
［１］乃至［３］のいずれかに記載の基板洗浄装置において、
前記押圧機構は、前記洗浄部材を前記板に押し付けつつ、前記洗浄部材を回転させてもよい。
【０００９】
［５］
［４］に記載の基板洗浄装置において、
前記板における前記洗浄部材が接触する位置には前記穴が設けられなくてもよい。
【００１０】
［６］
［１］乃至［５］のいずれかに記載の基板洗浄装置において、
前記板を加熱する加熱部材を備えてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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