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公開番号2024059317
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-01
出願番号2022166927
出願日2022-10-18
発明の名称表示装置およびその製造方法
出願人株式会社ジャパンディスプレイ
代理人弁理士法人スズエ国際特許事務所
主分類H05B 33/26 20060101AFI20240423BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】製造工程の歩留まりを向上させることが可能な表示装置を提供する。
【解決手段】一実施形態に係る表示装置は、下電極と、前記下電極に重なる画素開口を有するリブと、前記リブの上に配置された下部、前記下部の上に配置され前記下部の側面から突出する第1層、および、前記第1層の上に配置され前記第1層よりも小さい幅を有する第2層を含む隔壁と、前記画素開口を通じて前記下電極を覆い、電圧の印加に応じて発光する有機層と、前記有機層を覆うとともに、前記下部の前記側面に接触した上電極と、を備えている。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
下電極と、
前記下電極に重なる画素開口を有するリブと、
前記リブの上に配置された下部、前記下部の上に配置され前記下部の側面から突出する第１層、および、前記第１層の上に配置され前記第１層よりも小さい幅を有する第２層を含む隔壁と、
前記画素開口を通じて前記下電極を覆い、電圧の印加に応じて発光する有機層と、
前記有機層を覆うとともに、前記下部の前記側面に接触した上電極と、
を備える表示装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記第１層の上面は、
前記第２層により覆われた第１領域と、
前記第２層から露出した第２領域と、
を有する、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項３】
前記有機層の一部が前記第２領域を覆っている、
請求項２に記載の表示装置。
【請求項４】
前記第１層の前記上面は、一対の前記第２領域を有し、
前記第１領域は、前記隔壁の幅方向において一対の前記第２領域の間に位置している、
請求項２に記載の表示装置。
【請求項５】
前記第２層の幅は、前記下部の幅よりも大きい、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項６】
前記第２層は、前記第１層よりも厚い、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項７】
前記第１層は、金属材料により形成され、
前記第２層は、無機絶縁材料により形成されている、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項８】
前記有機層および前記上電極を含む薄膜を覆う封止層をさらに備え、
前記リブおよび前記封止層は、無機絶縁材料により形成されている、
請求項１に記載の表示装置。
【請求項９】
下電極を形成し、
前記下電極に重なる画素開口を有するリブを形成し、
前記リブの上に配置された下部と、前記下部の上に配置され前記下部の側面から突出する第１層と、前記第１層の上に配置され前記第１層よりも小さい幅を有する第２層とを含む隔壁を形成し、
前記画素開口を通じて前記下電極を覆い、電圧の印加に応じて発光する有機層を形成し、
前記有機層を覆うとともに、前記下部の前記側面に接触した上電極を形成する、
ことを含む表示装置の製造方法。
【請求項１０】
前記隔壁の形成は、
前記リブの上に金属層を形成し、
前記金属層の上に第１薄膜を形成し、
前記第１薄膜の上に第２薄膜を形成し、
前記第２薄膜の上に前記隔壁に対応する形状の第１レジストを配置し、
前記第２薄膜のうち前記第１レジストから露出した部分をエッチングにより除去するとともに、前記第２薄膜の幅を低減することにより、前記第１レジストよりも幅が小さい前記第２層を形成し、
前記第１薄膜のうち前記第１レジストから露出した部分をエッチングにより除去することにより、前記第１層を形成し、
前記金属層のうち前記第１レジストから露出した部分をエッチングにより除去するとともに、前記金属層の幅を低減することにより、前記第１層よりも幅が小さい前記下部を形成する、
ことを含む、
請求項９に記載の表示装置の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、表示装置およびその製造方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、表示素子として有機発光ダイオード（ＯＬＥＤ）を適用した表示装置が実用化されている。この表示素子は、下電極と、下電極を覆う有機層と、有機層を覆う上電極とを備えている。
【０００３】
上記のような表示装置を製造するにあたり、製造工程の歩留まり向上させる技術が必要とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０００－１９５６７７号公報
特開２００４－２０７２１７号公報
特開２００８－１３５３２５号公報
特開２００９－３２６７３号公報
特開２０１０－１１８１９１号公報
国際公開第２０１８／１７９３０８号
米国特許出願公開第２０２２／００７７２５１号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明の目的は、製造工程の歩留まりを向上させることが可能な表示装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
一実施形態に係る表示装置は、下電極と、前記下電極に重なる画素開口を有するリブと、前記リブの上に配置された下部、前記下部の上に配置され前記下部の側面から突出する第１層、および、前記第１層の上に配置され前記第１層よりも小さい幅を有する第２層を含む隔壁と、前記画素開口を通じて前記下電極を覆い、電圧の印加に応じて発光する有機層と、前記有機層を覆うとともに、前記下部の前記側面に接触した上電極と、を備えている。
【０００７】
一実施形態に係る表示装置の製造方法は、下電極を形成し、前記下電極に重なる画素開口を有するリブを形成し、前記リブの上に配置された下部と、前記下部の上に配置され前記下部の側面から突出する第１層と、前記第１層の上に配置され前記第１層よりも小さい幅を有する第２層とを含む隔壁を形成し、前記画素開口を通じて前記下電極を覆い、電圧の印加に応じて発光する有機層を形成し、前記有機層を覆うとともに、前記下部の前記側面に接触した上電極を形成する、ことを含む。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、一実施形態に係る表示装置の構成例を示す図である。
図２は、副画素のレイアウトの一例を示す図である。
図３は、図２中のIII－III線に沿う表示装置の概略的な断面図である。
図４は、図２中のIV－IV線に沿う表示装置の概略的な断面図である。
図５は、表示装置の製造方法の一例を示すフローチャートである。
図６は、表示装置の製造工程の一部を示す概略的な断面図である。
図７は、図６に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図８は、図７に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図９は、図８に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図１０は、図９に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図１１は、図１０に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図１２は、図１１に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図１３は、上電極の蒸着方法の一例を示す模式図である。
図１４は、図１２に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図１５は、図１４に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図１６は、図１５に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図１７は、図１６に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図１８は、図１７に続く製造工程を示す概略的な断面図である。
図１９は、変形例に係る隔壁の概略的な断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
一実施形態について図面を参照しながら説明する。
開示はあくまで一例に過ぎず、当業者において、発明の主旨を保っての適宜変更について容易に想到し得るものについては、当然に本発明の範囲に含有されるものである。また、図面は、説明をより明確にするため、実際の態様に比べて、各部の幅、厚さ、形状等について模式的に表される場合があるが、あくまで一例であって、本発明の解釈を限定するものではない。また、本明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同一または類似した機能を発揮する構成要素には同一の参照符号を付し、重複する詳細な説明を適宜省略することがある。
【００１０】
なお、図面には、必要に応じて理解を容易にするために、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸およびＺ軸を記載する。Ｘ軸に沿った方向を第１方向Ｘと称し、Ｙ軸に沿った方向を第２方向Ｙと称し、Ｚ軸に沿った方向を第３方向Ｚと称する。第３方向Ｚと平行に各種要素を見ることを平面視という。
（【００１１】以降は省略されています）

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