特許ウォッチ

公開番号2024058436
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022165789
出願日2022-10-14
発明の名称物質検出システム
出願人I-PEX株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類G01N 5/02 20060101AFI20240418BHJP(測定;試験)
要約【課題】物質の検出の精度を安定させることができる物質検出システムを提供する。
【解決手段】物質検出システム1は、物質センサ10と、第1供給部11と、第2供給部12と、制御部13と、を備える。制御部13は、第1供給部11による第1気体A1の供給を停止した状態で第2供給部12により第2気体A2を供給し、物質センサ10の周囲の第2気体A2の状態が定常状態となった第1期間において物質センサ10から出力される信号を取得した後、第1供給部11により物質センサ10の周囲への第1気体A1の供給を開始し、第1気体A1を供給した状態の第2期間において物質センサ10から出力される信号を取得し、第1期間で取得された信号と第2期間で取得された信号との変化に基づいて、物質センサ10に付着する対象物質OBの分子の量を算出する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
周囲の気体に含まれる対象物質の分子が付着した量に応じた信号を出力する物質センサと、
前記対象物質を含む第１気体を前記物質センサの周囲に供給する第１供給部と、
温度と、湿度と、含有物質の濃度とが一定に管理された第２気体を前記物質センサの周囲に供給する第２供給部と、
前記第１供給部による前記第１気体の供給を停止した状態で前記第２供給部により前記第２気体を供給し、前記物質センサの周囲の前記第２気体の状態が定常状態となった第１期間において前記物質センサから出力される信号を取得した後、前記第１供給部により前記物質センサの周囲への前記第１気体の供給を開始し、前記第１気体を供給した状態の第２期間において前記物質センサから出力される信号を取得し、前記第１期間で取得された信号と前記第２期間で取得された信号との変化に基づいて、前記物質センサに付着する対象物質の分子の量を算出する制御部と、
を備える物質検出システム。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
前記第２供給部は、前記物質センサの周囲に向けて前記第２気体を常時供給するように動作し、
前記第１供給部から供給される第１気体の流量は、前記第２供給部から供給される第２気体の流量よりも大きくなるように設定される、
請求項１に記載の物質検出システム。
【請求項３】
前記制御部は、
前記第２供給部による前記第２気体の供給を停止するとともに前記第１供給部による前記第１気体の供給を開始し、前記第２期間における前記物質センサからの信号を取得する、
請求項１に記載の物質検出システム。
【請求項４】
前記第１供給部から供給される第１気体と、前記第２供給部から供給される第２気体とのいずれかを前記物質センサの周囲に供給する第１継手を備える、
請求項２に記載の物質検出システム。
【請求項５】
前記第２供給部と前記第１継手との間に設けられ、供給された前記第２気体を２つに分岐し、分岐した一方の前記第２気体を前記第１継手に供給する第２継手を備える、
請求項４に記載の物質検出システム。
【請求項６】
前記第２気体が前記対象物質を含有する場合、
温度及び湿度を前記第１気体と同じとしたときの前記第２気体における前記対象物質の濃度は、前記第１気体における前記対象物質の濃度よりも低くなるよう管理されている、
請求項１に記載の物質検出システム。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、物質検出システムに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、検出対象のガスに含まれる物質を感応膜に吸着させてその物質を検出するガスセンサと、洗浄ガスにより感応膜から物質を脱離させるリフレッシュを行うリフレッシュ機構と、を備えるガスセンサシステムが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１５６７５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記特許文献１に記載のガスセンサシステムでは、リフレッシュのために感応膜に供給される洗浄ガスの状態のばらつきにより、物質の検出の精度が不安定になるという不都合があった。
【０００５】
本発明は、上記実情の下になされたものであり、物質の検出の精度を安定させることができる物質検出システムを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記目的を達成するために、本発明の第１の観点に係る物質検出システムは、
周囲の気体に含まれる対象物質の分子が付着した量に応じた信号を出力する物質センサと、
前記対象物質を含む第１気体を前記物質センサの周囲に供給する第１供給部と、
温度と、湿度と、含有物質の濃度とが一定に管理された第２気体を前記物質センサの周囲に供給する第２供給部と、
前記第１供給部による前記第１気体の供給を停止した状態で前記第２供給部により前記第２気体を供給し、前記物質センサの周囲の前記第２気体の状態が定常状態となった第１期間において前記物質センサから出力される信号を取得した後、前記第１供給部により前記物質センサの周囲への前記第１気体の供給を開始し、前記第１気体を供給した状態の第２期間において前記物質センサから出力される信号を取得し、前記第１期間で取得された信号と前記第２期間で取得された信号との変化に基づいて、前記物質センサに付着する対象物質の分子の量を算出する制御部と、
を備える。
【０００７】
この場合、前記第２供給部は、前記物質センサの周囲に向けて前記第２気体を常時供給するように動作し、
前記第１供給部から供給される第１気体の流量は、前記第２供給部から供給される第２気体の流量よりも大きくなるように設定される、
こととしてもよい。
【０００８】
前記制御部は、
前記第２供給部による前記第２気体の供給を停止するとともに前記第１供給部による前記第１気体の供給を開始し、前記第２期間における前記物質センサからの信号を取得する、
こととしてもよい。
【０００９】
前記第１供給部から供給される第１気体と、前記第２供給部から供給される第２気体とのいずれかを前記物質センサの周囲に供給する第１継手を備える、
こととしてもよい。
【００１０】
前記第２供給部と前記第１継手との間に設けられ、供給された前記第２気体を２つに分岐し、分岐した一方の前記第２気体を前記第１継手に供給する第２継手を備える、
こととしてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許