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公開番号2024057732
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-25
出願番号2022164586
出願日2022-10-13
発明の名称匂いセンサの製造方法、匂いセンサ及び匂いデータ解析装置
出願人株式会社アロマビット
代理人個人,個人
主分類G01N 5/02 20060101AFI20240418BHJP(測定;試験)
要約【課題】均一性、均質性を向上させた吸着膜を安定して得ることができる匂いセンサの製造方法、匂いセンサ及び匂いデータ解析装置を提供すること。
【解決手段】匂い物質を吸着する吸着膜112と、匂い物質が吸着膜112へ吸着することに起因する吸着状態の変化を検出する検出部114と、を備える匂いセンサ100を製造する製造方法であって、検出部114は、金属酸化物又は窒化物の半導体素子を有し、検出部114の表面をコーティング剤溶液153により被覆し被覆溶液膜を形成する被覆工程と、被覆溶液膜を乾燥させて被覆膜を形成する第1乾燥工程と、被覆膜上に膜材溶液113により吸着溶液膜を形成する膜形成工程と、吸着溶液膜を乾燥させて吸着膜112を形成する第2乾燥工程と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
匂い物質を吸着する吸着膜と、前記匂い物質が前記吸着膜へ吸着することに起因する吸着状態の変化を検出する検出部と、を備える匂いセンサを製造する製造方法であって、
前記検出部は、金属酸化物又は窒化物の半導体素子を有し、
前記検出部の表面を被覆材の溶液により被覆し被覆溶液膜を形成する被覆工程と、
前記被覆溶液膜を乾燥させて被覆膜を形成する第１乾燥工程と、
前記被覆膜上に吸着膜材の溶液により吸着溶液膜を形成する膜形成工程と、
前記吸着溶液膜を乾燥させて前記吸着膜を形成する第２乾燥工程と、
を備える、匂いセンサの製造方法。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記膜形成工程において、前記被覆膜は前記吸着溶液膜に溶解する、請求項１に記載の匂いセンサの製造方法。
【請求項３】
前記第２乾燥工程において、前記被覆膜は前記吸着膜に相溶する、請求項１に記載の匂いセンサの製造方法。
【請求項４】
前記被覆膜は、高分子材料を含む、請求項２又は請求項３に記載の匂いセンサの製造方法。
【請求項５】
前記吸着膜は、前記吸着状態を変化させる添加剤を含む、請求項１から請求項３のうちのいずれか１項に記載の匂いセンサの製造方法。
【請求項６】
前記吸着状態の変化が、前記吸着膜の電気的特性の変化である、請求項１から請求項３のうちのいずれか１項に記載の匂いセンサの製造方法。
【請求項７】
匂い物質を吸着する吸着膜と、
前記匂い物質が前記吸着膜へ吸着することに起因する吸着状態の変化を検出する検出部と、
を備える匂いセンサであって、
前記検出部は、金属酸化物又は窒化物の半導体素子を有し、
前記検出部の上に、被覆材が溶解された前記吸着膜が形成された、匂いセンサ。
【請求項８】
匂い物質を吸着する吸着膜と、
前記匂い物質が前記吸着膜へ吸着することに起因する吸着状態の変化を検出する検出部と、
を備える匂いセンサであって、
前記検出部は、金属酸化物又は窒化物の半導体素子を有し、
前記検出部の上に、被覆材が相溶した前記吸着膜が形成された、匂いセンサ。
【請求項９】
前記吸着膜は、前記吸着状態を変化させる添加剤を含む、請求項７又は請求項８に記載の匂いセンサ。
【請求項１０】
前記吸着状態の変化が、前記吸着膜の電気的特性の変化である、請求項７又は請求項８に記載の匂いセンサ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、匂いセンサの製造方法、匂いセンサ及び匂いデータ解析装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、匂い強度の計測や、匂い種類の特定のために、匂いセンサを用いてガスに含まれる匂い物質の検出が行われている。匂いセンサは、例えば、匂い物質を吸着する吸着膜と、匂い物質が吸着膜へ吸着することに起因する吸着状態（吸着特性）の変化を検出する検出部と、を有している（例えば、特許文献１参照）。吸着膜は、基板上に実装された検出部の表面に膜材の溶液（以下、膜材溶液という。）を滴下又は塗布等し、乾燥することにより成膜される。匂いセンサに搭載される吸着膜の均一性は、ばらつきが小さく再現性が高い応答を得るために極めて重要である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０１７／０８５９３９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、膜材溶液が検出部である半導体素子の表面ではじかれてしまう等、均一、均質な吸着膜を再現性良く成膜することは難しい場合が多い。このため、検出部の表面状態の制御、例えば、検出部の表面への膜の定着性や膜材溶液の濡れ性等を制御することが求められ、匂いセンサにおいては、均一性、均質性を向上させた吸着膜を安定して得る方法が求められる。
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、均一性、均質性を向上させた吸着膜を安定して得ることができる匂いセンサの製造方法、匂いセンサ及び匂いデータ解析装置を提供することを例示的課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の課題を解決するために、本発明の例示的側面としての匂いセンサの製造方法は、以下の構成を有する。
【０００７】
匂い物質を吸着する吸着膜と、前記匂い物質が前記吸着膜へ吸着することに起因する吸着状態の変化を検出する検出部と、を備える匂いセンサを製造する製造方法であって、
前記検出部は、金属酸化物又は窒化物の半導体素子を有し、
前記検出部の表面を被覆材の溶液により被覆し被覆溶液膜を形成する被覆工程と、
前記被覆溶液膜を乾燥させて被覆膜を形成する第１乾燥工程と、
前記被覆膜上に吸着膜材の溶液により吸着溶液膜を形成する膜形成工程と、
前記吸着溶液膜を乾燥させて前記吸着膜を形成する第２乾燥工程と、
を備える、匂いセンサの製造方法。
【０００８】
上記の課題を解決するために、本発明の例示的側面としての匂いセンサは、以下の構成を有する。
【０００９】
匂い物質を吸着する吸着膜と、
前記匂い物質が前記吸着膜へ吸着することに起因する吸着状態の変化を検出する検出部と、
を備える匂いセンサであって、
前記検出部は、金属酸化物又は窒化物の半導体素子を有し、
前記検出部の上に、被覆材が溶解された前記吸着膜が形成された、匂いセンサ。
【００１０】
本発明の更に他の例示的側面としての匂いセンサは、以下の構成を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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