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公開番号2024056924
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-23
出願番号2024022125,2023511737
出願日2024-02-16,2022-03-31
発明の名称円環状ガラス基板の製造方法、円環状ガラス基板、及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法
出願人HOYA株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C03B 33/04 20060101AFI20240416BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】磁気ディスク用ガラス基板の製造方法において、ガラス素板から円環状のガラス基板をより確実に分離できる技術を提供する。
【解決手段】
円環状ガラス基板(1)の製造方法は、ガラス素板(20)の表面(20a)に所定の円(C1)に沿ってレーザ光(L)を照射することにより、ガラス素板(20)に、円(C1)に沿って複数の欠陥(D)を含む分離線(C1)を形成することと、分離線(C1)が形成されたガラス素板(20)の、分離線(C1)の外側の部分(21)を内側の部分(22)よりも高温で加熱することにより、外側の部分(21)と内側の部分(22)とを分離することと、を含む。分離線(C1)は、隣り合う二つの欠陥が第1の間隔を隔てて周期的に形成される第1の領域と、隣り合う二つの欠陥が前記第1の間隔より短い間隔を隔てて形成される第2の領域とを含む。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
円環状ガラス基板の製造方法であって、
ガラス素板の表面に所定の円に沿ってレーザ光を照射することにより、前記ガラス素板に、前記所定の円に沿って複数の欠陥を含む分離線を形成することと、
前記分離線が形成されたガラス素板の、前記分離線の外側の部分を、前記分離線の内側の部分よりも高温で加熱することにより、前記外側の部分と前記内側の部分とを分離することと、を含み、
前記分離線は、隣り合う二つの欠陥が第１の間隔を隔てて周期的に形成される第１の領域と、隣り合う二つの欠陥が前記第１の間隔より短い間隔を隔てて形成される第２の領域とを含む、円環状ガラス基板の製造方法。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記第２の領域の長さは、前記所定の円の周長の１２．５％以下である、請求項１に記載の円環状ガラス基板の製造方法。
【請求項３】
前記第１の間隔より短い間隔は、前記第１の間隔の７０％以下である、請求項１又は２に記載の円環状ガラス基板の製造方法。
【請求項４】
前記所定の円の周長は前記第１の間隔の整数倍ではない、請求項１～３のいずれか一項に記載の円環状ガラス基板の製造方法。
【請求項５】
前記ガラス素板の前記表面に、前記所定の円と同心且つ前記所定の円よりも径が短い第２の円に沿ってレーザ光を照射することにより、前記ガラス素板の前記分離線よりも内側に、前記第２の円に沿って複数の欠陥を含む第２の分離線を形成することをさらに含み、
前記第２の分離線は、隣り合う二つの欠陥が第２の間隔を隔てて周期的に形成される第３の領域と、隣り合う二つの欠陥が前記第２の間隔よりも短い間隔を隔てて形成される第４の領域とを含み、
前記第２の間隔は前記第１の間隔よりも小さい、請求項１～３のいずれか一項に記載の円環状ガラス基板の製造方法。
【請求項６】
前記所定の円に沿って１周を超えるように前記レーザ光を一定周期で照射することにより前記分離線を形成する、請求項１～５のいずれか一項に記載の円環状ガラス基板の製造方法。
【請求項７】
円環状ガラス基板の製造方法であって、
ガラス素板の表面に所定の円に沿ってレーザ光を照射することにより、前記ガラス素板に、前記所定の円に沿って複数の欠陥を含む分離線を形成することと、
前記分離線が形成されたガラス素板の、前記分離線の外側の部分を、前記分離線の内側の部分よりも高温で加熱することにより、前記外側の部分と前記内側の部分とを分離することと、を含み、
前記複数の欠陥が、前記所定の円上で所定間隔を隔てて周期的に形成された複数の第１の欠陥と、少なくとも一組の隣り合う二つの前記第１の欠陥の間に位置する、第２の欠陥とを含む、円環状ガラス基板の製造方法。
【請求項８】
前記所定の円に沿って１周を超えるように前記レーザ光を一定周期で照射することにより前記分離線を形成する、請求項７に記載の円環状ガラス基板の製造方法。
【請求項９】
前記複数の欠陥は、複数組の隣り合う二つの前記第１の欠陥の間にそれぞれ位置する、複数の前記第２の欠陥を含み、
複数の前記第２の欠陥は、前記レーザ光が前記所定の円に沿って１周を超えて照射されるときに形成され、前記所定間隔を隔てて周期的に形成されたものである、請求項８に記載の円環状ガラス基板の製造方法。
【請求項１０】
前記所定間隔は、前記所定の円の周長が前記所定間隔の整数倍にならないように設定される、請求項７～９のいずれか一項に記載の円環状ガラス基板の製造方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、レーザ光を用いて形状を加工することにより円環状ガラス基板を製造する円環状ガラス基板の製造方法、当該製造方法により製造された円環状ガラス基板、及び磁気ディスク用ガラス基板の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
今日、パーソナルコンピュータ、ノート型パーソナルコンピュータ、ＤＶＤ（ＤｉｇｉｔａｌＶｅｒｓａｔｉｌｅＤｉｓｃ）記録装置、あるいはクラウドコンピューティングのデータセンター等には、データを記録するためのハードディスク装置が用いられる。ハードディスク装置では、円環状の非磁性体の磁気ディスク用ガラス基板に磁性層が設けられた磁気ディスクが用いられる。
【０００３】
従来、このような磁気ディスク用ガラス基板の製造方法において、ガラス素板から円環状ガラス基板を分離する技術が知られている（特許文献１）。この技術では、まず、ガラス基板の元となるガラス素板の面に、所定の円環形状に沿ってレーザ光を照射することにより、前記所定の円環形状に沿った欠陥を形成する。これにより、前記ガラス素板の面には、前記所定の円環形状に対する外側部分と内側部分とが形成される。そして、前記ガラス素板の前記外側部分を、前記内側部分よりも高温で加熱することにより、前記ガラス素板の前記外側部分が、前記内側部分に対して相対的に熱膨張し、前記外側部分と前記内側部分との間に隙間が形成される。この結果、前記ガラス素板の前記外側部分と前記内側部分とを分離することができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開第２０２０／０２２５１０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、上記技術では、前記ガラス素板の前記外側部分を前記内側部分よりも高温で加熱しても、前記外側部分と前記内側部分との間に前記隙間が形成されず、前記外側部分と前記内側部分とを分離できない場合があった。また、前記外側部分と前記内側部分との間に隙間が形成され、前記外側部分と前記内側部分とを分離できたとしても、前記外側部分の端面及び前記内側部分の端面の少なくとも一部に欠け（チッピング）が生じる場合があった。
【０００６】
本発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法において、ガラス素板から円環状のガラス基板をより確実に分離できる技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の第１の態様に従えば、円環状ガラス基板の製造方法であって、
ガラス素板の表面に所定の円に沿ってレーザ光を照射することにより、前記ガラス素板に、前記所定の円に沿って複数の欠陥を含む分離線を形成することと、
前記分離線が形成されたガラス素板の、前記分離線の外側の部分を、前記分離線の内側の部分よりも高温で加熱することにより、前記外側の部分と前記内側の部分とを分離することと、を含み、
前記分離線は、隣り合う二つの欠陥が第１の間隔を隔てて周期的に形成される第１の領域と、隣り合う二つの欠陥が前記第１の間隔より短い間隔を隔てて形成される第２の領域とを含む、円環状ガラス基板の製造方法が提供される。
【０００８】
本発明の第１の態様に従う円環状ガラス基板の製造方法において、前記第２の領域の長さは、前記所定の円の周長の１２．５％以下であってもよい。
【０００９】
本発明の第１の態様に従う円環状ガラス基板の製造方法において、前記第１の間隔より短い間隔は、前記第１の間隔の７０％以下であってもよい。
【００１０】
本発明の第１の態様に従う円環状ガラス基板の製造方法において、前記所定の円の周長は前記第１の間隔の整数倍ではなくてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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