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公開番号2024055598
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-18
出願番号2022162661
出願日2022-10-07
発明の名称製品検査装置
出願人株式会社東京ウエルズ
代理人個人,個人,個人
主分類G01N 21/956 20060101AFI20240411BHJP(測定;試験)
要約【課題】チップ製品中の複数の対象の検査を精度良く行うのに有利な製品検査装置を提供する。
【解決手段】第1照明装置11は、鉛直線Lvに対して第1角度θ1を成す方向に第1検査光を出射し、第2照明装置12は、鉛直線Lvに対して、第1角度θ1よりも大きな第2角度θ2を成す方向に、第1検査光とは異なる波長を有する第2検査光を出射する。撮像装置13は、第1検査光及び第2検査光が照射されたチップ製品Qの撮影画像を取得する。画像処理装置14は、撮影画像中の第1検査光の画像成分に基づいてチップデバイスWの状態を検出し、撮影画像中の第2検査光の画像成分に基づいてキャリアテープ7の状態を検出し、撮影画像中の第1検査光の画像成分及び第2検査光の画像成分の両方に基づいて、トップテープ17のうちの少なくとも一部の状態を検出する画像処理を行う。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
キャビティを有するキャリアテープと、キャビティ内に位置するチップデバイスと、前記チップデバイスを覆うように前記キャリアテープに取り付けられるトップテープと、を含むチップ製品を検査する製品検査装置であって、
鉛直線に対して第１角度を成す方向に第１検査光を出射する第１照明装置と、
鉛直線に対して、前記第１角度よりも大きな第２角度を成す方向に、前記第１検査光とは異なる波長を有する第２検査光を出射する第２照明装置と、
前記第１検査光及び前記第２検査光が照射された前記チップ製品の撮影画像を取得する撮像装置と、
前記撮影画像中の前記第１検査光の画像成分に基づいて前記チップデバイスの状態を検出し、前記撮影画像中の前記第２検査光の画像成分に基づいて前記キャリアテープの状態を検出し、前記撮影画像中の前記第１検査光の画像成分及び前記第２検査光の画像成分の両方に基づいて、前記トップテープのうちの少なくとも一部の状態を検出する画像処理を行う画像処理装置と、
を備える製品検査装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記トップテープは、前記キャリアテープに対して熱圧着されており、
前記画像処理装置は、
前記トップテープのうち前記キャリアテープに対して熱圧着されている部分の状態を、前記撮影画像中の前記第２検査光の画像成分に基づいて検出し、
前記トップテープのうち前記キャリアテープに対して熱圧着されていない部分の状態を、前記撮影画像中の前記第１検査光の画像成分及び前記第２検査光の画像成分の両方に基づいて検出する
請求項１に記載の製品検査装置。
【請求項３】
前記画像処理装置は、前記撮影画像を基準画像と比較することで、前記チップデバイスの状態、前記キャリアテープの状態及び前記トップテープの状態のうちの少なくともいずれか１つ以上を検出する請求項１又は２に記載の製品検査装置。
【請求項４】
前記画像処理において、
前記第１検査光の画像成分の前記基準画像に基づいて、前記チップデバイスの状態が検出され、
前記第２検査光の画像成分の前記基準画像に基づいて、前記キャリアテープの状態が検出され、
前記第１検査光の画像成分及び前記第２検査光の画像成分の両方の前記基準画像に基づいて、前記トップテープのうちの少なくとも一部の状態が検出される
請求項３に記載の製品検査装置。
【請求項５】
外部からの外乱光を遮断するカバー本体部と、外部からの前記外乱光の通過を許容する開口部と、を有する光遮断カバーを更に備え、
前記撮像装置は、前記カバー本体部により包囲される前記チップ製品の前記撮影画像を取得し、
前記画像処理は、前記開口部を通過する前記外乱光が前記撮影画像に及ぼす影響を低減する処理を含む、
請求項１又は２に記載の製品検査装置。
【請求項６】
前記画像処理によって検出される前記チップデバイスの状態、前記キャリアテープの状態及び前記トップテープの状態のうちの少なくともいずれか１つ以上が異常を示す場合にアラームを発するアラーム装置を更に備える請求項１又は２に記載の製品検査装置。
【請求項７】
前記第１検査光は、赤色光を含み、
前記第２検査光は、緑色光を含み、
前記第１角度は、０°～４５°であり、
前記第２角度は、７５°～９０°である
請求項１又は２に記載の製品検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、チップ製品を検査する製品検査装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
キャリアテープ及びトップテープを使って複数のチップ部品の各々を個別的に梱包するテーピング装置が知られている（特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－４１１１８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
トップテープ及びキャリアテープがお互いに接合されて、多数のチップ部品が個別的にトップテープ及びキャリアテープによって密閉されることで、チップ製品が作られる。
【０００５】
このようにして製造されるチップ製品の状態は、チップ製品の撮影画像を解析することで検査可能である。このような検査において用いられるチップ製品の撮影画像は、白色光（例えば白色ＬＥＤ光）をチップ製品に照射しつつ当該チップ製品を撮像することで取得されることが多い。
【０００６】
このようにして取得されるチップ製品の撮影画像は、チップ製品中の複数の対象（例えばチップ部品、キャリアテープ及びトップテープ（キャリアテープに対するトップテープの熱圧着部を含みうる））のすべての検査に適した照明環境で撮像されたものではない。一般に、チップ製品の撮影画像は、当該チップ製品中のチップ部品の検査に適した照明条件下で撮像取得されることが多い。この場合に得られるチップ製品の撮影画像は、チップ部品の検査には適しているが、チップ製品中のチップ部品以外の部分の検査には必ずしも適していない。
【０００７】
例えば白～黒の濃度範囲で撮像取得されるチップ製品の撮影画像に基づいて、キャリアテープ、トップテープ（キャリアテープに熱圧着されていない部分及び熱圧着されている部分）、及びチップ部品の各々の検査を行うことがある。この場合、チップ製品の撮影画像がトップテープのシール状態の検査（熱圧着部分の検査）に適してない照明環境下で撮像取得されると、当該撮影画像を使ったシール状態検査において誤判定が多くなる傾向がある。
【０００８】
またチップ製品が外乱光によって照らされている状態で撮像が行われる場合、撮影画像が外乱光の影響を受けるため、撮影画像の画質が安定せず、結果的に、検査での誤判定を招く。
【０００９】
本開示は上述の事情に鑑みてなされたものであり、チップ製品中の複数の対象に関する検査を精度良く行うのに有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本開示の一態様は、キャビティを有するキャリアテープと、キャビティ内に位置するチップデバイスと、チップデバイスを覆うようにキャリアテープに取り付けられるトップテープと、を含むチップ製品を検査する製品検査装置であって、鉛直線に対して第１角度を成す方向に第１検査光を出射する第１照明装置と、鉛直線に対して、第１角度よりも大きな第２角度を成す方向に、第１検査光とは異なる波長を有する第２検査光を出射する第２照明装置と、第１検査光及び第２検査光が照射されたチップ製品の撮影画像を取得する撮像装置と、撮影画像中の第１検査光の画像成分に基づいてチップデバイスの状態を検出し、撮影画像中の第２検査光の画像成分に基づいてキャリアテープの状態を検出し、撮影画像中の第１検査光の画像成分及び第２検査光の画像成分の両方に基づいて、トップテープのうちの少なくとも一部の状態を検出する画像処理を行う画像処理装置と、を備える製品検査装置に関する。
（【００１１】以降は省略されています）

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