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公開番号2024037646
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-03-19
出願番号2022177303
出願日2022-11-04
発明の名称除電器および除電システム
出願人株式会社キーエンス
代理人個人,個人
主分類H05F 3/04 20060101AFI20240312BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】管理の負担を増加させることなく、製品の製造状況を厳格に管理することが可能な除電器および除電システムを提供する。
【解決手段】除電器200は、イオン発生部、イオン制御部、測定値取得部233、データ生成部234および不揮発性記憶部を備える。イオン発生部は、イオンを発生させる。イオン制御部は、イオン発生部を制御する。測定値取得部233は、イオン制御部による制御に関連する測定値を取得するとともに、測定値が取得された測定時刻を取得する。データ生成部234は、測定値と測定時刻とに基づいて履歴データを生成する。不揮発性記憶部は、履歴データを記憶する。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
イオンを発生させるイオン発生部と、
前記イオン発生部を制御するイオン制御部と、
前記イオン制御部による制御に関連する測定値を取得するとともに、前記測定値が取得された測定時刻を取得する測定値取得部と、
前記測定値と前記測定時刻とに基づいて履歴データを生成するデータ生成部と、
前記履歴データを記憶する不揮発性記憶部とを備える、除電器。
続きを表示（約 960 文字）【請求項２】
前記履歴データは、第１の時間の間隔で取得された前記測定値と前記測定時刻とが対応付けられた第１のデータを含む、請求項１記載の除電器。
【請求項３】
前記第１の時間よりも短い第２の時間の間隔で前記履歴データを記憶する揮発性記憶部をさらに備え、
前記不揮発性記憶部は、前記第１の時間が経過するごとに、当該第１の時間内における所定の時刻に前記揮発性記憶部に記憶された前記履歴データを前記第１のデータとして記憶する、請求項２記載の除電器。
【請求項４】
前記不揮発性記憶部は、前記第１の時間が経過するごとに、当該第１の時間内に前記揮発性記憶部に記憶された前記履歴データにおける前記測定値の特徴値をさらに記憶する、請求項３記載の除電器。
【請求項５】
前記特徴値は、最大値および最小値の少なくとも一方を含む、請求項４記載の除電器。
【請求項６】
前記履歴データは、所定のイベントが発生したときに取得された前記測定値と前記測定時刻とが対応付けられた第２のデータを含む、請求項１記載の除電器。
【請求項７】
所定の時間の間隔で前記履歴データを記憶する揮発性記憶部をさらに備え、
前記不揮発性記憶部は、イベントの発生時刻を含む一定の期間に前記揮発性記憶部に記憶された前記履歴データを前記第２のデータとして記憶する、請求項６記載の除電器。
【請求項８】
前記揮発性記憶部は、当該揮発性記憶部に割り当てられた所定の記憶領域の全部に前記履歴データが記憶された場合、最先に記憶された前記履歴データに上書きして、最新の前記履歴データを記憶する、請求項３～５および７のいずれか一項に記載の除電器。
【請求項９】
前記履歴データは、前記測定値に関する所定のイベントが発生したときの日時を示す第３のデータを含む、請求項１～７のいずれか一項に記載の除電器。
【請求項１０】
前記イオン発生部により発生されたイオンを所定の方向に送るファンをさらに備え、
前記測定値は、イオン量と、前記ファンの回転速度とを含む、請求項１～７のいずれか一項に記載の除電器。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、除電対象物を除電する除電器および除電システムに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体デバイスまたは液晶表示装置等の製造ラインにおいて、製造に用いられる各部品が帯電していると、静電破壊が生じたり、当該部品に異物が付着したりすることにより製品の歩留まりが低下する可能性がある。各部品が帯電することに起因する歩留まりの低下を抑制するために、除電器が用いられる。
【０００３】
特許文献１に記載された除電装置（除電器）においては、電極針から発生するプラスイオンおよびマイナスイオンがファンにより対象物体に吹き付けられる。また、除電装置においては、接地線に接続された検出抵抗の信号により、イオンバランスが保持されるように、電極針に接続される正負の高電圧発生回路の出力電圧が制御される。これにより、被除電物に蓄積された電荷が除去される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開平１０－２８９７９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
近年、製造ラインにおいて、製品の除電状況等の製造状況を厳格に管理することが要求されている。しかしながら、製品の製造状況を厳格に管理すると、管理に伴う負担が増加する。
【０００６】
本発明の目的は、管理の負担を増加させることなく、製品の製造状況を厳格に管理することが可能な除電器および除電システムを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一局面に従う除電器は、イオンを発生させるイオン発生部と、前記イオン発生部を制御するイオン制御部と、前記イオン制御部による制御に関連する測定値を取得するとともに、前記測定値が取得された測定時刻を取得する測定値取得部と、前記測定値と前記測定時刻とに基づいて履歴データを生成するデータ生成部と、前記履歴データを記憶する不揮発性記憶部とを備える。
【０００８】
本発明の他の局面に従う除電システムは、上記の除電器と、前記除電器に接続可能な制御装置とを備え、前記除電器は、ネットワークに接続される第１の通信部をさらに備え、前記制御装置は、前記ネットワークに接続される第２の通信部と、前記不揮発性記憶部に記憶された前記履歴データを、前記ネットワークを介して取得するデータ取得部とを備える。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれば、管理の負担を増加させることなく、製品の製造状況を厳格に管理することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本発明の一実施の形態に係る除電システムの構成の概略を説明するための図である。
帯電検出システムの簡易的な構成を示すブロック図である。
図１のイオンバランスセンサの構成を説明するためのブロック図である。
イオン検出回路の具体的な構成の一例を示す回路図である。
図１の除電器の構成を説明するためのブロック図である。
図１の除電器の構成を説明するためのブロック図である。
表示部、操作部および表示灯の配置の一例を示す図である。
除電器制御部の構成を説明するための除電器のブロック図である。
図８の除電器記憶部に記憶される履歴データを説明するための図である。
第１階層画面の一例を示す図である。
風量調整画面の一例を示す図である。
風量調整画面における風量の設定の変更例を示す図である。
第１モニタ画面の一例を示す図である。
イベント表示領域の詳細を説明するための図である。
第２モニタ画面の一例を示す図である。
第１イベント履歴画面の一例を示す図である。
第２イベント履歴画面の一例を示す図である。
第３イベント履歴画面の一例を示す図である。
イベント詳細画面を表示させるための手順を説明するための図である。
第２階層画面の一例を示す図である。
設定画面の第１の例を示す図である。
設定画面の第２の例を示す図である。
設定画面の第３の例を示す図である。
設定画面の第４の例を示す図である。
設定画面の第５の例を示す図である。
図１の制御装置の構成を説明するためのブロック図である。
履歴画像の一例を示す図である。
除電器において行われる時刻設定処理の一例を示すフローチャートである。
除電器において行われる一時記憶部制御処理の一例を示すフローチャートである。
除電器において行われる除電器記憶部制御処理の一例を示すフローチャートである。
制御装置において行われる制御装置管理処理の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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