特許ウォッチ

公開番号2025176985
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-05
出願番号2024083433
出願日2024-05-22
発明の名称静電チャック
出願人TOTO株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20251128BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】放電を防止しながらも、冷媒流路の引き回しの自由度を高めることのできる静電チャック、を提供する。
【解決手段】静電チャック10は、貫通穴140が形成された誘電体基板100と、誘電体基板100に接合され、冷媒の通る冷媒流路250が内部に形成されたベースプレート200と、ベースプレート200に固定された部材であって、貫通穴440が、貫通穴140に繋がるように形成されている絶縁部材400と、を備える。絶縁部材400は、誘電体基板100側の端部を含む部分である第1部分410と、第1部分410と隣り合う部分である第2部分420と、を有する。上面視において、第1部分410の外形は第2部分420の外形よりも大きい。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
被吸着物が載置される載置面を有し、前記載置面に対し垂直な第１貫通穴が形成された誘電体基板と、
前記誘電体基板に接合され、冷媒の通る冷媒流路が内部に形成されたベースプレートと、
前記ベースプレートに固定された部材であって、前記載置面に対し垂直な第２貫通穴が、前記第１貫通穴に繋がるように形成されている絶縁部材と、を備え、
前記絶縁部材は、
前記誘電体基板側の端部を含む部分である第１部分と、
前記載置面に対し垂直な方向において前記第１部分と隣り合う部分である第２部分と、を有し、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、
前記第１部分の外形が前記第２部分の外形よりも大きいことを特徴とする静電チャック。
続きを表示（約 330 文字）【請求項２】
前記第１部分と前記第２部分とが、互いに別体の部材として構成されていることを特徴とする、請求項１に記載の静電チャック。
【請求項３】
前記絶縁部材は、前記誘電体基板とは反対側の端部を含む部分である第３部分、を更に有し、
前記載置面に対し垂直な方向から見た場合において、前記第３部分の外形は、前記第２部分の外形よりも大きく、
前記第２部分と前記第３部分とが一体の部材として構成されていることを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。
【請求項４】
前記第１部分における前記第２貫通穴の内径が、前記第２部分における前記第２貫通穴の内径よりも小さいことを特徴とする、請求項２に記載の静電チャック。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は静電チャックに関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
例えばエッチング装置のような半導体製造装置には、処理の対象となるシリコンウェハ等の基板を吸着し保持するための装置として、静電チャックが設けられる。静電チャックは、吸着電極が設けられた誘電体基板と、誘電体基板を支持するベースプレートと、を備え、これらが互いに接合された構成を有する。吸着電極に電圧が印加されると静電力が生じ、誘電体基板上に載置された基板が吸着され保持される。
【０００３】
エッチング等の処理中においては、基板の温度を適切な温度に維持する必要がある。このため、ベースプレートの内部には、冷媒を通すための冷媒流路が形成される。基板からの熱は、誘電体基板及びベースプレートを介して冷媒へと伝えられ、冷媒と共に外部へと排出される。
【０００４】
また、例えば下記特許文献１に記載されているように、静電チャックには、誘電体基板とベースプレートとの全体を貫くよう貫通穴が設けられる。このような貫通穴としては、例えば、リフトピンを挿通するためのリフトピン穴や、シリコンウェハと誘電体基板との間に不活性ガスを供給するためのガス穴等が挙げられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００５－３４７５５９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
説明の便宜上、上記貫通穴のうち誘電体基板に設けられている部分のことを、以下では「第１貫通穴」とも称する。また、上記貫通穴のうちベースプレートに設けられている部分のことを、以下では「第２貫通穴」とも称する。
【０００７】
第２貫通穴の内面において金属が露出していると、第１貫通穴を通じた経路で放電が生じてしまう可能性がある。このため、第２貫通穴は、ベースプレートに固定された絶縁部材を貫くように形成されることが多い。
【０００８】
放電を防止するためには、上面視における絶縁部材の外形は大きい方が好ましい、しかし、絶縁部材の外形を大きくし過ぎると、ベースプレートの内部における冷媒流路の引き回しが制約を受けてしまう。
【０００９】
本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、放電を防止しながらも、冷媒流路の引き回しの自由度を高めることのできる静電チャック、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
上記課題を解決するために、本発明に係る静電チャックは、被吸着物が載置される載置面を有し、載置面に対し垂直な第１貫通穴が形成された誘電体基板と、誘電体基板に接合され、冷媒の通る冷媒流路が内部に形成されたベースプレートと、ベースプレートに固定された部材であって、載置面に対し垂直な第２貫通穴が、第１貫通穴に繋がるように形成されている絶縁部材と、を備える。絶縁部材は、誘電体基板側の端部を含む部分である第１部分と、載置面に対し垂直な方向において第１部分と隣り合う部分である第２部分と、を有する。載置面に対し垂直な方向から見た場合において、この静電チャックでは、第１部分の外形が第２部分の外形よりも大きい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許