特許ウォッチ

公開番号2025167829
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2024072773
出願日2024-04-26
発明の名称感光性樹脂組成物、硬化膜および電子装置
出願人住友ベークライト株式会社
代理人個人
主分類G03F 7/004 20060101AFI20251030BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】フラックスの濡れ性が向上した硬化膜を得ることが可能な感光性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂と、界面活性剤と、感光剤とを含む感光性樹脂組成物であって、方法1で作製される硬化膜に対し、飛行時間型二次イオン質量分析を行ったとき、硬化膜上に界面活性剤(B)由来のピークが検出される感光性樹脂組成物。(方法1)感光性樹脂組成物を、シリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した後、120℃で3分間プリベークし、膜厚10μmの塗膜を得る。塗膜に対し、ライン・アンド・スペースパターンのマスクを介して、i線を照射量500mJ/cm²で照射して露光処理を施し、露光処理を施した塗膜に対しアルカリ現像液で、23℃、100秒現像した後、純水で60秒リンスし、オーブン中で230℃90分間硬化し、幅25μmの開口部を有する硬化膜を得る。
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、界面活性剤（Ｂ）と、感光剤（Ｃ）とを含む感光性樹脂組成物であって、
下記方法１で作製される、幅２５μｍの開口部を有する硬化膜の表面に対し、飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）を行ったとき、前記硬化膜上に前記界面活性剤（Ｂ）由来のピークが検出される感光性樹脂組成物。
（方法１）前記感光性樹脂組成物を、８インチシリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分間プリベークし、膜厚１０μｍの塗膜を得る。次いで、得られた塗膜に対し、幅２５μｍのライン・アンド・スペースパターンのマスクを介して、ｉ線を照射量５００ｍＪ／ｃｍ
２
の条件で照射して露光処理を施し、次いで、露光処理を施した塗膜に対しアルカリ現像液（２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液）で、２３℃、１００秒現像した後、純水で６０秒リンスし、その後、オーブン中で２３０℃９０分間硬化し、幅２５μｍの開口部を有する硬化膜を得る。
続きを表示（約 1,900 文字）【請求項２】
前記方法１の硬化膜上における前記界面活性剤（Ｂ）由来のピーク強度（Ｘ
１
）と、下記方法２の硬化膜上における前記界面活性剤（Ｂ）由来のピーク強度（Ｘ
２
）との比（Ｘ
１
／Ｘ
２
）が０．０１以上０．３０以下である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
（方法２）前記感光性樹脂組成物を、８インチシリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分間プリベークし、膜厚１０μｍの塗膜を得る。次いで、得られた塗膜をオーブン中で２３０℃９０分間硬化し、硬化膜を得る。
【請求項３】
前記界面活性剤（Ｂ）が、シリコン系界面活性剤（Ｂ１）およびフッ素系界面活性剤（Ｂ２）からなる群から選択される一種または二種以上を含む、請求項１または２に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項４】
前記シリコン系界面活性剤（Ｂ１）がポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン（ｂ）を含む、請求項３に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項５】
前記方法１により作製される硬化膜の表面に対し、飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）を行ったとき、前記ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン（ｂ）に由来するＣ
３
Ｈ
９
Ｓｉ
＋
のピークが検出され、
前記硬化膜の表面から深さ方向１ｎｍ以内においてＣ
３
Ｈ
９
Ｓｉ
＋
のピーク強度（Ｘ
１
）が５０以上１１００以下である、請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項６】
下記方法２により作製される硬化膜の表面に対し、飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）を行ったとき、前記ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン（ｂ）に由来するＣ
３
Ｈ
９
Ｓｉ
＋
のピークが検出され、
前記硬化膜の表面から深さ方向１ｎｍ以内においてＣ
３
Ｈ
９
Ｓｉ
＋
のピーク強度（Ｘ
２
）が３５００以上１５０００以下である、請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
（方法２）前記感光性樹脂組成物を、８インチシリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分間プリベークし、膜厚１０μｍの塗膜を得る。次いで、得られた塗膜をオーブン中で２３０℃９０分間硬化し、硬化膜を得る。
【請求項７】
前記方法１により作製される硬化膜の表面に対し、飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）を行ったとき、前記フッ素系界面活性剤（Ｂ２）に由来するＦ
－
のピークが検出され、
前記硬化膜の表面から深さ方向１ｎｍ以内においてＦ
－
のピーク強度（Ｘ
１
）が５０００以上５０００００以下である、請求項３に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項８】
下記方法２により作製された硬化膜の表面に対し、飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）を行ったとき、前記フッ素系界面活性剤（Ｂ２）に由来するＦ
－
のピークが検出され、
前記硬化膜の表面から深さ方向１ｎｍ以内においてＦ
－
のピーク強度（Ｘ
２
）が１０００００以上５０００００以下である、請求項３に記載の感光性樹脂組成物。
（方法２）前記感光性樹脂組成物を、８インチシリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分間プリベークし、膜厚１０μｍの塗膜を得る。次いで、得られた塗膜をオーブン中で２３０℃９０分間硬化し、硬化膜を得る。
【請求項９】
前記ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン（ｂ）の、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによって測定される、ポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）が１０００以上５０００以下である、請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
【請求項１０】
前記ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン（ｂ）の、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによって測定される、ポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）と数平均分子量（Ｍｎ）の比（Ｍｗ／Ｍｎ）が１以上１０以下である、請求項４に記載の感光性樹脂組成物。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、感光性樹脂組成物、硬化膜および電子装置に関する。
続きを表示（約 3,100 文字）【背景技術】
【０００２】
電子装置を構成する永久膜として、感光性樹脂組成物を露光して得られる硬化膜が利用されることがある。このような感光性樹脂組成物に関する技術としては、例えば、特許文献１に記載のものが挙げられる。
【０００３】
特許文献１には、高い感度を維持しつつ、耐薬品性に優れる感光性樹脂組成物を提供することを目的とし、（Ａ）下記（１）および（２）の少なくとも一方を満たす重合体を含む重合体成分、（１）（ａ１）酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位、および（ａ２）架橋性基を有する構成単位、を有する重合体、（２）（ａ１）酸基が酸分解性基で保護された残基を有する構成単位を有する重合体、および（ａ２）架橋性基を有する構成単位を有する重合体、（Ｂ）光酸発生剤、（Ｃ）芳香族複素環化合物、および、（Ｄ）溶剤、を含み、前記（Ｃ）芳香族複素環化合物が、分子量が１０００以下であり、芳香環中に少なくとも１つの窒素原子を含み、且つ芳香環中に少なくとも２つの配位原子を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１６－１８９００６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、フラックスの濡れ性が向上した硬化膜を得ることが可能な感光性樹脂組成物を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、以下に示す感光性樹脂組成物、硬化膜および電子装置が提供される。
【０００７】
［１］
アルカリ可溶性樹脂（Ａ）と、界面活性剤（Ｂ）と、感光剤（Ｃ）とを含む感光性樹脂組成物であって、
下記方法１で作製される、幅２５μｍの開口部を有する硬化膜の表面に対し、飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）を行ったとき、前記硬化膜上に前記界面活性剤（Ｂ）由来のピークが検出される感光性樹脂組成物。
（方法１）前記感光性樹脂組成物を、８インチシリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分間プリベークし、膜厚１０μｍの塗膜を得る。次いで、得られた塗膜に対し、幅２５μｍのライン・アンド・スペースパターンのマスクを介して、ｉ線を照射量５００ｍＪ／ｃｍ
２
の条件で照射して露光処理を施し、次いで、露光処理を施した塗膜に対しアルカリ現像液（２．３８質量％テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液）で、２３℃、１００秒現像した後、純水で６０秒リンスし、その後、オーブン中で２３０℃９０分間硬化し、幅２５μｍの開口部を有する硬化膜を得る。
［２］
前記方法１の硬化膜上における前記界面活性剤（Ｂ）由来のピーク強度（Ｘ
１
）と、下記方法２の硬化膜上における前記界面活性剤（Ｂ）由来のピーク強度（Ｘ
２
）との比（Ｘ
１
／Ｘ
２
）が０．０１以上０．３０以下である、［１］に記載の感光性樹脂組成物。
（方法２）前記感光性樹脂組成物を、８インチシリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分間プリベークし、膜厚１０μｍの塗膜を得る。次いで、得られた塗膜をオーブン中で２３０℃９０分間硬化し、硬化膜を得る。
［３］
前記界面活性剤（Ｂ）が、シリコン系界面活性剤（Ｂ１）およびフッ素系界面活性剤（Ｂ２）からなる群から選択される一種または二種以上を含む、［１］または［２］に記載の感光性樹脂組成物。
［４］
前記シリコン系界面活性剤（Ｂ１）がポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン（ｂ）を含む、［３］に記載の感光性樹脂組成物。
［５］
前記方法１により作製される硬化膜の表面に対し、飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）を行ったとき、前記ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン（ｂ）に由来するＣ
３
Ｈ
９
Ｓｉ
＋
のピークが検出され、
前記硬化膜の表面から深さ方向１ｎｍ以内においてＣ
３
Ｈ
９
Ｓｉ
＋
のピーク強度（Ｘ
１
）が５０以上１１００以下である、［４］に記載の感光性樹脂組成物。
［６］
下記方法２により作製される硬化膜の表面に対し、飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）を行ったとき、前記ポリエーテル変性ポリジメチルシロキサン（ｂ）に由来するＣ
３
Ｈ
９
Ｓｉ
＋
のピークが検出され、
前記硬化膜の表面から深さ方向１ｎｍ以内においてＣ
３
Ｈ
９
Ｓｉ
＋
のピーク強度（Ｘ
２
）が３５００以上１５０００以下である、［４］または［５］に記載の感光性樹脂組成物。
（方法２）前記感光性樹脂組成物を、８インチシリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分間プリベークし、膜厚１０μｍの塗膜を得る。次いで、得られた塗膜をオーブン中で２３０℃９０分間硬化し、硬化膜を得る。
［７］
前記方法１により作製される硬化膜の表面に対し、飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）を行ったとき、前記フッ素系界面活性剤（Ｂ２）に由来するＦ
－
のピークが検出され、
前記硬化膜の表面から深さ方向１ｎｍ以内においてＦ
－
のピーク強度（Ｘ
１
）が５０００以上５０００００以下である、［３］に記載の感光性樹脂組成物。
［８］
下記方法２により作製された硬化膜の表面に対し、飛行時間型二次イオン質量分析（ＴＯＦ－ＳＩＭＳ）を行ったとき、前記フッ素系界面活性剤（Ｂ２）に由来するＦ
－
のピークが検出され、
前記硬化膜の表面から深さ方向１ｎｍ以内においてＦ
－
のピーク強度（Ｘ
２
）が１０００００以上５０００００以下である、［３］または［７］に記載の感光性樹脂組成物。
（方法２）前記感光性樹脂組成物を、８インチシリコンウエハ上にスピンコーターを用いて塗布した後、ホットプレートにて１２０℃で３分間プリベークし、膜厚１０μｍの塗膜を得る。次いで、得られた塗膜をオーブン中で２３０℃９０分間硬化し、硬化膜を得る。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、フラックスの濡れ性が向上した硬化膜を得ることが可能な感光性樹脂組成物を提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本実施形態の感光性樹脂組成物を含む電子装置の一例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の実施形態について、詳細に説明する。なお、本明細書中、数値範囲の説明における「ａ～ｂ」との表記は、特に断らない限り、ａ以上ｂ以下であることを表す。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許